空气阻尼加速度计加速度计

空气阻尼加速度计,对于微机械结构中加速度的测量，一般是通过测量微机械结构电容的变化以间接的反映加速度大小的。电容的两个电极之间的空隙通常填充着空气，起到阻尼的作用。本案例采用如下的线性化的雷诺方程对加速度计进行求解：,MEMSModuleStructuralMechanicsPlaneStrainTransientanalysisMEMSModuleStructuralMechanicsFilmDampingTransientanalysis,按住Shift键，点击左侧工具栏的Rectangle/Square按钮，分别绘制两个矩形草图。点击ZoomExtents按钮进行草图缩放。,在Multiphysics菜单下选择PlaneStrains（smpn）模块，在Physics菜单下选择Subdomains在区域设置窗口左边按住Ctrl键选择区域1和2，在右边Material标签下点击Load按钮,在左侧材料库中找到Silicon，点击确定按钮，返回Subdomains设置窗口,点击右侧Load标签，在Fy中输入9.8*rho_smpn,点击右侧Damping标签，选择Nodamping,在Physics菜单下选择BoundarySettings，出现边界条件设置窗口，在窗口左侧选择1号边，窗口右侧Constraintcondition选择Fixed，对1号边进行固定。,左侧栏目选择5、8号边，右侧栏目选择Load标签，在Fx和Fy右边方框中分别输入F_x_mmfd和F_y_mmfd,在Multiphysics菜单下选择FilmDamping（mmfd），在Physics菜单下选择BoundarySettings，出现边界条件设置窗口。在窗口左侧选择第5、8号边，右侧dx、dy分别输入u和v。,设置阻尼耦合参数：OptionsIntegrationCouplingVariablesBoundaryVariables,左侧栏目选择第5号边，右侧Name和Expression分别输入force_bot和-ny*pf*thickness_smpn选择8号边，右侧的Name和Expression分别输入force_top和-ny*pf*thickness_smpn,Solve菜单下选择SolverParameters，在右侧时间步长设置方框中输入0:1e-5:4e-3,点击TimesStepping标签，在TimesStepstakenbysolver的下拉菜单中选择Intermediate,中仿信息科技有限公司是专业从事工程仿真分析软件和咨询服务的提供商，业务包括项目咨询和专业软件的集成和实施等。公司自成立至今，已为国内外数百家企业、高校及科研院所提供专业软件系统及项目咨询等服务，服务领域涉及教学科研、机械工业、土木工程、生物医学、航空航天、材料科学、化学化工、冶金科学、汽车工业、电子电器、虚拟仪器等众多行业。中仿科技和国内外众多信息化企业有着长期的紧密合作关系，我们已成为瑞典COMSOL、美国ALGOR、加拿大GEO-SLOPE、英国Thermotech、美国XYZ等世界著名软件公司在华的核心合作伙伴。公司将坚持不懈，及时为国内外客户提供全球最前沿最顶端的科技服务。中仿科技拥有一支优秀的技术团队，公司90%以上的员工均具有某一行业的专业背景，80%以上的技术支持拥有硕士或博士学位。我们将竭诚为客户提供专业的工程解决方案和高质量的专业工程应用服务，帮助客户优化产品设计流程、降低开发成本，从而提高产品质量，保持竞争优势。中仿科技将始终怀着谦虚、诚实、敬业的态度，秉承关注客户需求、提升客户价值的核心理念，始终遵循客户满意为止的服务准则，真诚地