裂片机操作书明中文

2003年4月10日改版裂片机操作书明书MOTEL: OBM-90T株式会社 OPTO SYSTEM CO.,LTD本社610-0313 京都府京田边市三山木野神100：0081-774-68-4440 7：0081-774-68-4444目 录0安全使用设备11设备构成21-1设备的构成21-2设备的主要部分31-3操作面板42设备运转42-1设备启动42-2各轴手动操作52-3手动裂片与自动运行7（1）加工件的准备与安装7（2）加工件平行的调出8（3）受台槽宽的确定与登录9（4）手动裂片10（5）自动运行12（6）有关裂片刀下降位置13（7）有关设定1、设定2133机械方面的调整143-1裂片刀的更换143-2摄像头的调整164设备操作结束165机能设定一览表175-1操作面板175-2控制画面的构成195-3各画面内容20（1）主画面表示20（2）参数变更方法21（3）SET1（设定1）SET2（设定2）22（4）Speed1（设定1速度设定）Speed2（设定2速度设定）23（5）JOG1（设定1JOG设定）JOG2（设定2JOG设定）24（6）ACCEL1（设定1加减速设定）ACCEL2（设定2加减速设定）25（7）SET（设定）26（8）文檔操作276设备点检维护消耗品的更换280. 安全使用设备为安全使用设备，请预先了解以下的注意事项，并以此操作设备。 请不要在用本设备加工Wafer以外的产品。 在充分理解本设备的操作后、并对操作内容进行确认后再开始进行操作。在操作过程严禁将手伸入裂片区内。 本设备的电器配线电气线路组件等（电机驱动器等）禁止随意拨动、调整。 本设备应在20C左右的室内环境条件中使用 请勿将液体或带有腐蚀性的气体等置于本设备上。同时，室内湿度的增大将对设备产生损害。 切勿使设备发生重力冲击；不要将重物置于设备上面。 关闭设备电源时请按照使用说明书中记载的顺序正确关闭电源。不正确的电源关闭方式将会造成软件损坏或资料丢失。11. 设备构成 1-1 设备构成 本设备构成如下：漏电保护器脚轮控制用PC下置摄像头及传动总成操作面板下置摄像头光源控制用PC机键盘控制用PC机监视器下置摄像头用监视器指示灯塔裂片主体部21-2 设备的主要部分 本页图片为设备主要部分，上图为裂片动作的主要部分；下图为下置摄像头及传动总成部分。 黄色箭头表示由电机驱动各轴的动作方向。裂片刀Z轴电机击锤裂片刀SUPPORTGAP平台旋转方向平台前后移动下置摄像头下置摄像头传动总成31-3 操作面板 操作面板的各个按键的说明汇总在5.机能设定一览表的5-1操作面板中，请仔细阅读该表。紧急停止 按键各轴的动作方向按键各轴的动作电机按键绿：ON红：OFF蜂鸣器ORG操作面板2. 设备运转2-1 设备启动 向设备各电源部接入电源使设备呈可运转状态时，按照以下顺序操作。漏电保护器的把手推上按下操作面板上ON键按下操作面板上ORG键（ORG指示灯闪烁）当设备全体得到电源后，控制用PC自动启动PC启动稍候控制用PC机监视器上显示出控制软件的初期画面及“DO ORIGIN RETURN！”的提示。操作面板的蜂鸣器连续鸣响。操作面板的ORG按键灯闪烁。设备的各驱动电机轴进行原点复归动作在原点复归动作过程中严禁将手伸入设备内部原点复归完成原点复归动作中当“RETURN TO ORIGIN”表示示，原点复归动作过程中的驱动轴的名称也同时表示。操作面板的蜂鸣器以一声长鸣音通知原点复归完成。操作面板上“ORG”按键灯关闭控制用PC监视器屏幕显示“MANUALMODE 原点复归完了后可以进行各轴的手动操作。 若进行自动运行时，应预先进行各参数的设定，此后方可进行自动运行。42-2 各轴手动操作各轴MODE下手动操作时有效按键及机能如下 各轴MODE下手动操作轴MODE移动按键动作形式Hi/LOW的变更备注SUPPORT红圈内受台整体向箭头方向移动（操作者反方向）X红圈内受台整体向箭头方向移动（操作者反方向）GAP红圈内受台的GAP向箭头方向移动。（受台合闭）X闭合后按键失效不会发生过度闭合红圈内受台的GAP向箭头方向移动。（受台打开）CAMERACAMERA摄像头向设定的中心位置移动。Hi按键即使不按下仍快速移动。摄像头向左方向移动摄像头向右方向移动5轴MODE移动按键动作形式Hi/LOW的变更备注RING工作台向箭头方向移动（操作者反方向）工作台向箭头方向移动（操作者方向）工作台左旋转工作台右旋转CUTTERcutter上升位置CUTTERDown Address向待机位置下降裂片刀在下降过程中严禁将手伸入裂片区内。各设定的ADDRESS值不得与受台发生干涉。在检查确认设定值后方可开始操作Down AddressCUTTERCut Address位置下降Cut AddressCUTTER或者 单键Down Address待机位置上升Cut Address 或Down AddressCUTTER或者 单键向CUTTER上升位置处上升62-3 手动裂片及自动运转 （1）工件的准备与安装在粘贴在偏平环上经过划片后的Wafer表面贴上保护膜后安装在工作台上。在前工序贴片时，为便于较顺利地调出平行，建议如下图所示，Wafer的平面首先尽可能地与扁平环一边处于平行状态。两个面尽可能平行扁平环与Wafer的方向（例）粘贴在扁平环上的Wafer表面覆盖保护膜使用软布等将气泡赶出将工作台移至面前，同时旋转工作台将扁平环固定把手移至图中所示位置处按下操作面板上“SETPOSI”按键，工作台将移动到预先设定的工件安装位置来。贴有保护膜面向下，扁平环的前端、右端分别靠紧各端的定位块。压住扁平环，左手拉出固定把手，当扁平环的前端、右端确实靠紧定位块后，松回固定块把手。定位块特别要注意定位块与扁平环端面是否有间隙。当间隙存在时裂片过程中十字线与划痕的平行性则很难保持。固定把手7（2）工件的平行调出 在工作台上安装好工件后，以以下的顺序调出平行。工作台移至中心位置移动工作台及摄像头以使在摄像头的视野范围内可以看到工作台的旋转中心在5-3 个画面内容 （7）SET设定中的Y Center 与 CAM Center为正确设定之例。CENTERCAMERA移至中心CAMERAMODE摄像头监视器的十字线与Wafer的划线取得平行。差角由工作台旋转进行补正RING粗调整MODEHi或工作台前后微调整以使监视器十字线附近的划线与十字线重合MODE或微调整MODE或CAMERA监视器视野围内左右移动摄像头，微调工作台角度，以使划线更为平行于十字线。Camera左右移动MODE或RING平行的微调左右移动摄像头，检查划线与十字线的重合状态。可利用Hi机能，高速移动Camera进行平行的确认。若取得平行 进入裂片若未取得平行 再次微调调整8（3）受台槽宽的确定与登录 受台槽宽的确定与登录按以下的顺序进行。该顺序仅以对芯片约1.5倍的槽宽为例进行说明。（通常在1.31.7倍左右为适宜宽度）移动受台(SUPPORT)监视器上部的阴影移到红色箭头处为止。移动受台(SUPPORT)。当受台影像到达距监视器显示白横线1各芯片位置时停止SUPPORTMODE或移动监视器被横线下方的受台。当槽宽约为芯片的1.5倍时停止移动受台(GAP)监视器下部的阴影，到红色括号的宽度左右位置。在Teaching Mode状态下，使用 Mode 作槽宽微调（参照注1）GAPMODE或GAP 注：必须在TEACH状态，控制PC的提示窗口上显示GAP名及Add时方能登录。按下登录按键 GAP位置则被登录。MemoryTeach Mode的解除(参照注2)移动受台(SUPPORT)监视器上映出的槽宽调整到红色括号的位置时停止。再次使用SUPPORT MODE将监视器所示的槽宽与横白线取中。SUPPORTMODE或Teach Mode下，选择MODE，对槽宽微调(参照注3)SUPPORTCHIP SIZE的约1.5倍注：必须在TEACH状态，控制PC的提示窗口上显示SUPPORT名及Add时方能登录。按下登录按键 support位置则被登录。MemoryTeach Mode 的解除(参照注2)注 1）TEACH MODE 各轴的设定位置的ADDRESS进行登录时的模式。按下此键后，各轴动作模式按键灯闪烁，即可确定各个位置；所后按下MEEMORY键后，则将设定的位置完成登录。注2）闪烁中的TEACH 键按下，TEACH模式册被取消。住3）TEACH模式下，各轴均以低速运动，位置确定精度提高。9（4）手动裂片为防止裂片刀与受台发生干涉或裂片刀由上升位置向下降待机位置移动时触及Wafer，手动裂片之前应首先确认DOWN ADDRESS及CUT ADDRESS值设定后再进行。平行调出及受台槽宽确定、登录后，首先按以下顺序确定CUT ADDRESS并手动试作裂片动作。前后移动调整工作台。使Wafer的划线与间监视器十字线重合。裂片刀上升位置裂片刀下降待机位置裂片刀下降位置距SHEET上面约0.51.5mm为理想位置裂片刀由上升位置向下降待机位置移动。CUTTERCUTTER裂片刀下降位置裂片刀由下降待机位置 向裂片下降位置移动CUTTERCUTTER裂片刀由下降待机位置向下降位置移动裂片刀下降至Wafer裂开为止TEACH模式下（CUTTER MODE）至Wafer裂开位置点动按键缓缓下降。由待机位置缓缓下降TEACH CUTTER 接下页10接上页停止在Wafer裂开的位置处。按下 键登录下降位置MEMORY同时TEACH MODE解除裂片刀由下降待机位置上升CUTTER或仅用移动到下一条划线处由下降待机位置作一次裂片动作CUTTER裂片刀向下降待机位置上升CUTTER或仅用移动到下一条划线处由下降待机位置作一次裂片动作CUTTER裂片刀向下降待机位置上升CUTTER或仅用以下重复标记的动作11（5）自动运行 自动运行是指当设定了起始、结束位置，按下START键后设备开始自动运行的状态。 在选用自动运行模式之前请首先进行（1）（4）的操作、同时设定Y PITCH值，在上述动作结束后，自动运行的设定与开始按照以下的顺序进行。自动运行开始位置的裂片线与十字线的位置重合 裂片起始位置十字线 按下STRAT P 键 按下START键后自动运行开始自动运行停止位置与十字线的位置重合STOP P按键STOP按键暂停自动运行RESET键解除自动运行的设定结束位置通常设定在最后一线后的2、3条线处。自动运行的操作自动运行暂停时（START 按键闪烁时）RING MODE下可以将裂片线与白横线间的位差进行补正操作。 同时，在CAMERA MODE下可以左右移动CAMERA对裂片状况进行确认。12（6）裂片刀的下降位置裂片刀的下降位置的最大值为 CUT ADDRESS+CUT DEPTH。（5-3 各画面详细的（3）SET1（设定1）与SET2（设定2）的CUT DEPTH项）使用CUT DEPTH时参照下图的关系请注意使用。上升位置绿色：下降待机位置蓝色：下降位置红色：下降位置+CUT DEPTH裂片刀的位置（7） 设定1设定2 裂片由以下3种MODE。黄字表示MODE内容绿字表示1 ONLY设定1条件下，横、竖裂片线均为裂片条件内必须以绿字1表示2 ONLY设定2条件下，横、竖裂片线均为裂片条件内必须以绿字2表示1 AND 2一侧为设定1条件，另一侧为设地点那个2条件，两个条件连续进行裂片裂片时分别显示设定条件1设定条件2裂片条件方向黄字使用条件绿字表示含义 进行各切换时操作以下按键F7 1 OR 2 1AND22ONLY1 ONLY 12 1AND2提示表示的 与 切换：STOP按键+90按键（表示切换的同时工作台旋转90 时START P，STOP P应分别在设定1，设定2时设定，其后可进行自动运行133. 机械调整 3-1 裂片刀的更换 裂片刀更换时请按照以下顺序进行。进行更换时必须关闭设备的总电源。ab4颗螺丝松开a上面用于固定的4颗螺丝。A 与b进行交换。b轻轻固定裂片刀，使其为自由状态。1）左旋松开止动螺丝b2）松开此螺母1.5mm2mm的间隙裂片刀的左右上部的止动部的螺母松开，旋转螺丝，使其与裂片刀之间形成一定的间隙。14受台(GAP)向最下方移动受台的移动由此轴控制b边察看间隙边将裂片刀下降。当裂片刀接触到受台是停止下降下降转动此轴裂片刀下降用手转动裂片刀的电机轴，裂片刀慢慢下降当接触到受台、电机轴不能转动的程度时，将4颗固定螺丝轻轻拧紧后，旋拧止动螺丝，使螺丝的端部顶住裂片刀。（注意：止动螺丝不要过渡拧紧）b切实固定刀上升紧固此螺丝时注意止动螺丝不要旋转。向上托住此处(左右同样)旋转电机上轴使裂片刀上升，与止动螺丝的下端轻轻接触。用手托住裂片刀的两端，随后拧紧用于固定裂片刀的4颗螺丝。裂片刀的刀口部分较为锐利，因此向上托起裂片刀时一定托在两端。3Wax Press Machine1set 945,000.00 裂片刀安装后是否与受台平行的检查：手动旋转裂片刀电机，裂片刀与受台将将接触时用厚薄规检查其间隙。 裂片刀更换后:1.开启电源，进入Oringin原点复归动作。2. 应充分注意裂片刀的待机位置及裂片位置，及时进行设定修改。153-2 摄像头的调整 摄像头Y轴的调整：受台上不要放置任何障碍物的状态下，裂片刀降到下降位置，可在监视器画面上看到裂片刀的刃口部的影像，调整Y轴使刃口与十字线重合。摄像头Y轴的调整：将Wafer置于工作台上，调整Z轴使监视器上的焦距重合。摄像头Z轴止动螺丝摄像头Z轴微调用止动螺丝摄像头Y轴止动螺丝摄像头Y轴微调用止动螺丝摄像头Y轴微调。调整摄像头中心的Y方向位置与刃口重合时使用。摄像头Z轴微调。调整摄像头焦距与Wafer高度重合时使用。4. 设备操作结束控制软件结束按下键盘F10 提示 Y不结束软件时按N确认PC监视器表示为DOSMODE。操作面板的OFF键按下漏电保护器扳手扳下漏电保护器把手前面板165.机能设定一览表紧急停止键 5-1 操作面板蜂鸣器击槌力度调节按键名称机能备注 ON电力的接入OFF电力的关闭START自动运转开始闪烁时运转暂停闪烁时按下后运转继续STOP自动运转停止RESET解除Error表示自动运行暂停时(START按键闪烁时)按下此键可解除自动运转模式。ORG各轴的原点复归1or 2Wafer的Breaking设定的选择/切换与快捷键F7同机能CENTERTable前后轴向中心位置移动向设定的中心位置移动MEMORYTEACH MODE时各轴Add的记忆TEACH时记忆的数据自动存入裂片条件的文档中HAMMERHAMMER动作每按一次动作一下。击槌力度调节钮可调节击槌力度SETPOSI向工作台前后轴的工件交换位置的移动向设定的位置移动90Table 旋转90每按一次该键左右交替旋转。按设定的脉冲数旋转。按住STOP键同时按此键，工件的Breaking条件（设定1侧or设定2侧）的设定也可以改变。TEACHTEACH MODE按键键灯闪烁时：TEACH MODE键灯熄灭时：TEACH MODE解除（可进行自动运行/手动运运行）INDEXTable前后方向的PICTH送进模式只有RING灯亮时有效。按一次键则按设定的PICTH值移动一次SUPPORT受台(SUPPORT)前后移动模式17按键名称机能备注GAP槽宽移动的动作模式CAMERACAMERA左右移动的模式RINGTable前后及旋转的动作模式CUTTERCUTTER上下移动的动作模式各轴动作模式时的移动方向Hi各轴(注：参照备注栏)的高速/低速移动的切换CUTTER上下动作没有高/低速的区别亮灯时：高速熄灯时：低速START P自动运转开始位置的登录登录内容：Table前后轴开始位置 Camera左右轴开始位置STOP P自动运转结束位置的登录登录内容：Table前后轴结束位置 Camera左右轴结束位置紧急停止键各轴动作停止按键向右旋转解除紧急停止状态及时解除后但各轴不会动作。紧急停止解除后恢复原画面时，按提示按下RESET键，并必须作原点复归。击槌强度HAMMER捶击强度的调整蜂鸣器提示音响185-2 控制画面的构成 控制软件的基本内容如下：当前设定提示窗口计数窗口当前各轴Add裂片使用条件控制软件结束设定设定1，2切换设定2设定1退出速度设定选择设定2加减速设定设定2 JOG 设定设定2速度设定设定1加减速设定设定1速度设定设定1 JOG 设定文档操作选择文档读出文档保存退出文档删除195-3 个画面内容 （1） 主画面表示当前设定提示窗计数窗当前各轴Add裂片使用条件d各快捷键表示部内容详细备注当前设定表示当前裂片方向的设定值F1：SET1(或F3：SET2)设定内容的表示计数窗上端数字：设定的最大裂片线数下端数字：自动运行中当前裂片线数提示窗Error 提示表示/当前动作状态的表示各轴当前Add表示电机轴的当前AddY Add：TableY轴(单位：脉冲=um) Add：TableY轴(单位：脉冲)裂片使用条件表示裂片使用的条件快捷键表示文档与各种设定向操作画面移动按键F1：SET1=切换至设定1画面F2：未被使用F3：SET2=切换至设定2画面F4：未被使用F5：SPEED=切换至速度设定画面。不能使用快捷键。F6：FILE=进入文档操作选择画面。F7：1OR2=设定1，2的切换F8：SET=进入设定画面F9：未被使用F10：END=控制软件结束20键盘快捷键及各键功能F1：SET1=切换至设定1画面F2：未被使用F3：SET2=切换至设定2画面F4：未被使用F5：SPEED=切换至速度设定画面。不能使用快捷键。F6：FILE=进入文档操作选择画面。F7：1OR2=设定1，2的切换F8：SET=进入设定画面F9：未被使用F10：END=控制软件结束（2）参数变更方法参数的变更由操作键盘上输入数值执行。此后说明的各设定画面中，变更项目由键盘上的箭标按键进行选择、Enter键确定，随后即可在选择的项目中输入变更数据。数值输入后再次按Enterj键确认，数值即被变更。若取消选择了变更项目并按下了Enter键，同时亦输入数据的操作时，请不要继续按下Enter键，改按Esc键即可解除上述操作。各设定画面由其所对应的快捷键按下后表示；返回主画面时按Esc键。Esc键Enter键快捷键21（3）SET1（设定1）与SET2（设定2）下图为设定1的画面表示。设定1与设定2的设定项目、内容相同。项目内容输入范围单位备注CUT TIMES自动运装时最大裂片线数1999次DOWN ADDRESS上刃的下降待机位置0mCUT ADDRESS上刃的下降位置0限位开关mF8+ SET确定限位HAMMER TIMES自动运转时击槌击打数099次/CutCUT PER LINE对1LINE上刃的下降次数099Cut/LineY PITCHTABLE前后方向的Pitch送进量09999mSupport Address自动运转时Supptort的位置099999脉冲不要数值直接输入GAP ADDRES自动运行时GAP的位置09999脉冲不要数值直接输入TIMER（UP）自动运转时上刃在待机位置的停止时间0999msecTIMER（DOWN）自动运转时上刃在下降位置的停止时间0999msecCut depth包含Y START POSI设定的自动运转开始时工作台的位置。099999脉冲不要数值直接输入Y STOP POSI设定的自动运转停止时工作台的位置。099999脉冲不要数值直接输入CAM START POSI设定的自动运转开始时摄像头位置099999脉冲不要数值直接输入CAM STOP POSI设定的自动运转停止时摄像头位置099999脉冲不要数值直接输入 ADDRESS工作台旋转电机的当前位置099999脉冲不要数值直接输入CTUT DEPTH上刃由下降位置开始的送进量099m由CUT ADD的下降量22（4） SPEED1（设定1速度设定）与SPEED2（设定2速度设定） 下图所示为设定1的界面，设定1与设定2的表示界面、设定内容相同。项目内容输入范围单位备注CUT HIGH上刃上下移动的高度199999脉冲/sec单位时间内向电机发出的脉冲值。如果变更数值时切勿输入过大的数值，输入值应在设备出厂时的设定值附近，但设定后必须注意设备的动作。Y HIGH工作台前后高速移动199999 HIGH工作台高速旋转199999CAM HIGHCAMERA左右高速移动199999CUT LOW工作台前后移动的初速度110000Y LOW工作台前后移动的初速度110000 LOW工作台旋转的初速度110000CAM LOWCAMERA左右移动初速度11000023（5） JOG 1（设定1JOG设定）与JOG2（设定2JOG设定） 下图所示为设定1的界面，设定1与设定2的表示界面、设定内容相同。项目内容输入范围单位备注CUT JOG上刃上下移动的手动低速移动时的速度设定199-发给电机的下一信号为止的待机间隔。（没有单位标度）数值越小JOG的速度越慢。Y JOG工作台前后移动的手动低速移动时的设定199 JOG工作台旋转移动的手动低速移动时的设定199CAM JOGCamera左右移动时的手动移动速度的设定199SUPPORT JOG首台的手动低速移动速度的设定199GAP JOGGAP的手动低速移动的速度设定19924（6）ACCEL 1（设定1加减速设定）与ACCEL2（设定2加减速设定）下图所示为设定1的界面，设定1与设定2的表示界面、设定内容相同。项目内容输入范围单位备注CUT SLOWUP上刃上下移动的加速设定值199-数值越小加减速度越大Y SLOWUP工作台前后移动的加速设定值 SLOWUP工作台旋转移动的加速设定值CAM SLOWUPCAMERA左右移动的加速设定值CUT SLOWDW上刃上下移动的减速设定值Y SLOWDW工作台前后移动的减速设定值 SLOWDW工作台旋转移动的减速设定值CAM SLOWDWCAMERA左右移的加减速设