无尘洁净室尘埃粒子检测标准操作规程

1、5.3.55.3.45.3.25.3.1GMP 质量管理 （ 9）文件编号： ZL/SOP/ZK/02100洁净室尘埃粒子检测标准操作规程目的：阐述洁净室（区）中悬浮粒子的测试方法，用以规范员工的检测操作。范围：适用于公司内部生产洁净区尘埃粒子检测工作责任：生产车间、生产部、质量管理部、QC检验室主任、检验员。测依据：内容：5.1仪器：光散射粒子计数器和滤膜显微镜。光散射粒子计数器用于粒径0.5 m；滤膜显微镜用于粒径5 m的悬浮粒子的计数。使用光散射粒子计数器时应严格按照仪器说明书操作。5.2测定标准洁净度悬浮粒子最大允许数立方米（a）静态 (b)动态 (b)频次级别 0 5 m(d) 5

2、m 051 m(d) 5 m100 级3500135001一次月10000 级350013500002000一次月100000 级3500002000350000020000一次月300000 级350000020000不作规定不作规定5.3测试方法仪器开机 , 预热至稳定后, 方可按说明书的规定对仪器进行校正。采样管口置采样点采样时，在确认计数稳定后方可开始连续读数。采样管必须干净、严禁渗漏。采样管的长度应根据仪器的允许长度，除另有规定外，长度不大于1.5m 。5.3.6计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下，以免产生专业文档供参考，如有帮助请下载。GMP 质量管理 （ 9）文件编

3、号： ZL/SOP/ZK/02100测量误差。5.3.7必须按照仪器的检定周期，定期对仪器作检定，以保证测试数据的可靠性。5.4测试规则5.4.1测试条件5.4.1.1 温度和湿度：洁净室的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应，温度控制在 18 26，相对湿度控制在 45 65%之间为宜。5.4.1.2压差：空气洁净度不同的洁净室（区）之间的压差应5Pa，空气洁净度级别要求等高的洁净室（区）对相邻的空气洁净度级别低的洁净室（区）一般要求呈相对正压。5.4.2测试状态：有静态测试和动态测试。5.4.2.1静态测试时室内空调系统已处于正常运行状态，测试人员不得多于 2人。尘埃粒子数必须符合规定

4、。5.4.2.2动态测试时已处于正常生产状态，所产生粒子不影响最终产品的作业，可允许超出标准，但当操作完成10分钟后，粒子水平必须恢复到以洁净区尘粒最大允许数范围之内，应定期监控动态条件下的洁净状况。5.4.2.3测试报告中应标明测试时所采用的状态。5.4.3测试时间：对单向流，测试应在净化空调系统正常运行时间不少于30 分钟后开始。5.4.4悬浮粒子计数5.4.4.1采样点数目及其布置5.4.4.1.1采样点数目及其布置应根据产品的生产及工艺关键操作区设置。5.4.4.1.2采样点布置要求均匀，避免采样点在某局部区域过于稀疏。5.4.4.1.3采样点一般在工作台面上0.2m 高度的平面上均匀

5、布置。5.4.4.2采样点的限定：对于任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目不得少于2 个，总采样次数不得少于5 次。每个采样点采样次数可以多于 1 次，但不同采样点的采样次数可以不同。专业文档供参考，如有帮助请下载。GMP 质量管理 （ 9）文件编号： ZL/SOP/ZK/02100最少采样点数目2洁净度级别面积m100100001000009t6.312.922.352.132.021.941.901.86-注：当采样点多于9 点时，不需要计算UCL。5.6结果评定：判断悬浮粒子洁净度级别应依据下述二个条件。5.6.1每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级别界限，即Ai 级别界限。5.6.2全部采样点的粒子浓度平均值的均值的95%置信上限必须低于或等于规定的级别界限，即UCL级别界限。5.7当连续三次样品测试结果超过警戒指标, 或单位 样品的 结果特别高时，应着手