ESD防护要求规范

1、.一、目的为避免静电敏感元器件在生产、运输、储存、检测等过程中受到静电释放的影响，从而产生短路、电阻漂移、开路、工作性能退化等不良现象。特建立此程序文件，以保证产品品质，增加可靠性，减低不良率，节省产品工时成本，降低维修费用。同时，提高员工对esd的认识，加强员工自觉防止esd现象之观念，促进生产管理水平之提高。二、适用范围 本程序文件适用于供应链esd运作及维护管理。三、定义 4.1 esd：electronic static discharge，原意是指静电释放，即通过带静电区域直接接触或感应而引起的静电电荷在不同电势物体上的转移。后指静电防护，即避免静电释放的发生。 4.2 esds：e

2、lectronic static discharge sensitive device，静电敏感元件。 通常分为两类： i类敏感度元件的敏感电压为1v 1999v，ii类敏感度元件的敏感电压为2000v 4999v。 4.3 防静电工作区：由各种防静电设施、器件及明确的区域界限形成的工作场地。 4.4 静电敏感度：electrostatic sensitivity，元器件所能承受的静电放电电压值。四、分类 根据ansi/esd-s5.2 class m1标准，如下： 级静电敏感区：放电：01999v 静电测量：200v 特殊静电防护区静电测量：100v（针对客户指定特殊的光器件产品或其他高等级

3、esd产品的储存和装配区域等） 级静电敏感区：放电：20003999v 静电测量：500v 级静电敏感区：400015999v 现规定hyt制造车间敏感级别为： i级区域 smt、部件装配部、电子原料仓； （针对特殊客户需求，如飞博创光电产品的生产、储存等，smt、电子原料仓采用“特殊静电防护区”等级，静电测量： 100v；部件装配部采用“级静电敏感区” 等级，静电测量：200v） ii级区域 终端包装部。 5.1 公司内部由双色斑马线围起的区域为防静电工作区 5.2 根据材料的导电性，将防静电工作区内使用的材料分为以下四类： 五、职责 设备组工程师负责esd总线接地有效并定期进行点检； 技术

4、员定期对各工位进行静电电压测试并记录，发现异常及时通知相关工程师处理； 生产主管、拉长督促生产员工穿好防静电工衣、工帽、工鞋并戴好防静电手腕带，并对手腕带进行定期测量，确保工作 有效，发现异常及时通知相关人员处理； 保安组负责督导外来人员进入制造中心车间前穿戴防静电工衣及鞋套。 质量保证部负责对esd防护执行情况进行稽核。六、程序 7.1 环境技术要求 7.1.1 防静电工作区应保持洁净，避免有灰尘堆积或漂浮的状态发生 7.1.2 保持车间内相对湿度在规定的范围内40%70% 7.1.3 在不对产品造成有害影响的前提下，允许使用增湿设备喷洒制剂或水，以增加环境湿度 7.2 防静电工作区技术要求

5、 7.2.1 i级区域要求 7.2.1.1 防静电工作区应清楚标明区域界限以及警示标志 7.2.1.2 要求使用防静电地板（抗静电地板）或在普通地面上铺设防静电地垫，并保证有效接地。 禁止直接使用木制地板或铺设毛、麻、化纤地毯及普通地板革. 7.2.1.3 天花板及墙壁建议使用抗静电型材料制品，一般情况下允许使用石膏制品或石灰涂料， 禁止使用普通塑料制品 7.2.1.4 应有独立可靠的接地装置，接地电阻一般应小于4欧姆，为保证人员安全，应加装 欧姆限流电阻。 接地应满足以下要求：esd线不得直接接在电源零线上, esd线不得与防雷地线共用。 使用三相五线制供电，其大地线可以作为esd地线，但需

6、保证电源地线与零线不能搭接 esd线不能直接与机器外壳相连，若使用机器外壳固定，必须保证esd线与机器外壳绝缘 7.2.1.5 要求使用以下设备进行必要的esd防护： 防静电安全工作台 防静电腕带 防静电容器（料盒、料箱、运输车） 防静电工衣 防静电工鞋 防静电工帽 防静电烙铁（如需使用烙铁） 离子风机 7.2.2 ii级区域要求 7.2.2.1 防静电工作区应清楚标明区域界限以及警示标志 7.2.2.2 一般情况下允许直接使用自流坪地板，禁止使用木制地板或铺设毛、麻、化纤地毯及普通 地板革。 接地应满足以下要求： esd线不得直接接在电源零线上 esd线不得与防雷地线共用。 使用三相五线制供

7、电，其大地线可以作为esd地线，但需保证电源地线与零线不能搭接 esd线不能直接与机器外壳相连，若使用机器外壳固定，必须保证esd线与机器外壳绝缘 7.2.2.4 要求使用以下设备进行必要的esd防护： 防静电安全工作台（特殊工位） 防静电腕带 防静电容器（电子料盒、pcb箱）七、作业程序及内容8.1、作业内容：8.1.1、通论各类型之晶体皆有其抗静电能力。实际上芯片在达到能承受静电压值的14以后, 这些芯片就会产生”衰退”的现象。这些衰退的芯片在后续制程中或是在 pc 板组装时,如果再经静电影响将会提前失效。所以我们会发现芯片在测试时是好的,可是再经第二次测试时,却有不良品出现的现象。所以在

8、任何时刻,任何制程皆须注意静电破坏之问题。8.1.2、作业要求8.1.2.1来料及仓库管理a) 所有电子元器件及pcba半成品均需要使用防静电周转箱或防静电包装袋进行周转或储存；b) 胶管或袋上需有明显防静电标识；c) 对未使用完毕的电子器件，必须使用esd保护处理（装入esd包装中，并放入esd防护箱中），对于有湿敏要求的电子元器件必须使用真空包装。d) 检验及点料人员作业须戴静电环或防静电手套。e) 对l,c,r类零件可不做esd防护要求(供货商特别要求除外),其它d,q,ic等具有晶体管之电子零件均需作好esd防护动作(如摆置时铺设防静电桌垫)。 f) 对于光电器件及其组件的晶体管、阻容

9、件、ic、osa等等级如下： g) 电子原料仓使用的货架必须有esd保护，且温度控制在：1828，环境湿度：4060、开封存放湿度：2040之间，并每天做好记录。h) 对于仓库esd防护区域进行明显的区域标识管理，进行esd区域的人员必须穿防静电工衣8.1.2.2制程管理a) 工厂内所有作业人员包括外来访问人员，进行工厂esd防护区域内，必须穿esd防护工衣。且作业人员须戴静电环或防静电手套,静电环应以导线接地,人员未作静电防护措施禁止接触电子零件与 pcb半成品。b) 桌面应铺设防静电桌垫,桌垫应以导线接地且桌垫上不可铺有胶袋纸张等绝缘品。c) 每个作业工位，包括维修工位必须配备esd接地线

10、，以便作业人员随时使用d) pcb 放置于无防静电桌垫之桌面时,需以防静电泡棉置于其下。在制造测试阶段尤须注意 eos/esd 的防范。e) 在芯片烧录等高esd防护等级区域，必须配备离子风机。f) 对smt、芯片烧录区域等高esd防护区域，制造人员每天使用静电测试仪对esd区域内的环境进行点检，esd防护标准为：100v，并记录于表单一生产线静电电压测试记录表，ipqc每天进行抽检；g) 工厂内实行esd标识化管理。8.1.2.3设备管理 b) 每月设备工程师需对厂内所有设备外壳，铬铁头及电源地线的连接进行确认c) 每月设备工程师需对客户特殊指定产品线别（如光器件等高esd防护线别）的接地线

11、进行保养与维修，接地线与大地铜排之间阻抗4；厂内其他线别设备工程师需每季度对接地线进行保养与维修，内容包括：外观检查、通断测试、关键铜排连接确认，并作好保养记录；d) 每年设备工程师需对厂内所有铜排进行进行点检，内容包括铜排与大地的连接、铜排的阻抗值8.1.2.4运送、出货a) pcba半成品在周转、搬运及储存过程中，均使用防静电箱进行储存b) pcb及pcba半成品必须使用防静电包装带包裹保护c) 对于特殊esd产品出货时，必须根据客户需求进行特殊包装处理8.2、静电环 导电鞋之测试静电环,导电鞋是利用最为广泛之器具,其导线是否正常,皆足以影响其功效,故应列为每次上班检查之项目。于各班开线前

12、应以手环测试器和导电鞋测试仪检验之。并遵循各相关作业之程序书填写相关窗体。所有之静电敏感性材料和其制成品在取置运送之过程时人员必须注意5.3 离子风扇之测试8.3、离子风扇之测试离子风扇系平衡其所涵盖之控制范围内之正,负离子平衡达到保护零组件之目的,量测以静电压测试仪对准待测物约25mm之距离读取屏幕上出现数字；以每天量测一次。测试数据记录于附件一：“静电测试记录表”。对离子风扇也需进行定期点检，方法如下：先找两普通塑料片相互摩擦(或塑料片与衣服相互摩擦)使塑料片产生1kv以上的静电压,然后迅速将其塑料片靠近离子风扇(约1530cm处)；同时注意静电压测试仪的检测数据是否会逐渐降100v标准值

13、内；以每天量测一次。测试数据记录于附件一：“静电测试记录表”。8.4、作业常规8.4.1所有人员(包括厂商及客户)进入生产车间时必需穿静电衣，静电鞋，戴静电帽，且通过esd检测，否则严禁进入车间。8.4.2静电衣帽、静电鞋不可穿出厂区外。8.4.3工位固定的人员在作业时必须配戴静电手套和静电环,(若戴静电手套会影响作业,请改用静电手指套)如果需离开工位进行作业时；则必须戴上静电手套,返回工位时应及时戴上静电手套和静电环,静电手环需紧贴皮肤8.4.4工位不固定的人员(如：工程,品保,研发,在线组长,领班等)在触摸产品时,必须戴上静电手套或静电静电手环。8.4.5插件人员在作业时必须戴上静电环,如

14、离开工位进行作业时,需戴上静电手套。8.4.6物料员在发料时必须配戴静电环和静电手套；电子原料仓和电子半成品仓的人员在触摸产品时必须戴上静电手套。 8.4.7拉长每天上班前对作业员佩戴的静电手环进行巡检，巡检结果记录于防静电带点检表(附件三)内。巡检过程中如有发现静电手套脏污或破损现象,请及时给予更换。ipqc检验人员每天对以上点检内容进行稽核。8.4.8公司所有的产品或湿敏组件在离开esd防护区时必须做好静电屏蔽动作 (装入屏蔽袋并放入静电箱中)请勿使用不防静电和静电放电物质来贮存,所有容易产生静电或静电放电的物品(如：塑料袋,梳子未经esd人员确认严禁带入esd防护区内。8.4.9为保证桌垫防静电性能及接地扣接地是否良好故制定桌垫保养：a) 作业人员每天在开线前先清洁导电桌垫。b) 桌垫务必保持干净，人员严禁在桌垫上乱写乱划、