单晶炉安全操作规范

1、单晶炉安全操作规范Through the process agreeme nt to achieve a uni fied action policy for differe nt people, so as tocoord in ate acti on, reduce bli ndn ess, and make the work orderly.编制：审核：批准：单晶炉安全操作规范简介：该制度资料适用于公司或组织通过程序化、标准化的流程约定，达成上下级或不 同的人员之间形成统一的行动方针，从而协调行动，增强主动性，减少盲目性，使工作 有条不紊地进行。文档可直接下载或修改，使用时请详细阅读内容

2、。1、开机安全检查单晶炉开机、装料前，应对电气、机械、液压等部分进 行检查，使单晶炉电极处于无电压输出，各机械传动安全可 靠；1）检查主加热器处于关闭状态（是否切断主回路的空 开？）；2）欧陆表输出设定为 0 ;3）上炉膛、炉盖、付室的机械联接部位螺丝无松动现 象；4）检查上、炉膛、炉盖付室的液压升降应正常；2、装炉时安全事项在开机检查正常情况下，可以装炉，同时在控制柜现眼 位置悬挂禁止合闸警示牌；3、抽真空安全事项1）开真空泵前，应检查真空泵房，确保对应本设备的真 空泵及管道处于无其他人员操作状态；2）按真空泵操作规程正确操作；3） 抽真空过程中，应检查各环节的密封圈处于正常，应 无脱落、装

3、反等现象；4）在单晶炉真空状态过程中，严禁用手或其他物品碰触 或堵漏气处，以免造成人身或设备损害，如发现漏气，应按 停炉恢复常压规程操作；4、装炉、装料、拆炉、清炉、清理真空泵及真空管道过 程的安全事项1）按工艺操作规程进行正确操作；2） 必须在主加热器处于关闭状态、欧陆表输出设定为 0 的状态下操作；3）在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌；4） 禁止操作人员身体处于液压可升降部件如炉盖、炉膛 下方，以免液压控制失灵造成人身伤害，如确需在上述部件 下操作，必须设置足够强度和能保证足够安全空间的支撑部 件来支撑因故障时升降部件的下坠而不致于伤及人身；5）清理真空泵及真空管道时， 必须在真空泵停止

4、运行的状态下进行，在对应控制柜显眼位置处悬挂维修警示牌或禁 止合闸警示牌，以防其他人员误开启真空泵，造成人身伤害；6）炉体内清洁时，必须打开炉盖、上升上炉膛并偏移至 合适位置，使操作人员操作空间处于敞开状态，避免操作人 员处于缺氧环境状态下工作；5、加热器加热过程安全事项在上述检查准备工作就绪，且符合工艺操作规程的前提下，才能开启加热器。1）开启加热器前，必须检查冷却水路开启、 水压正常，否则严禁开启加热器；2） 开启加热器，必须缓慢增加输出电压或加热功率；严 禁超功率或过电流运行；3）在加热器工作过程中，如发现电极打火、过电流等现 象或报警，应按直拉应急方案处置，严禁强行升温；4）如遇上述故

5、障，应及时报修，由专职维修人员进行维 修，严禁拉晶操作人员擅自修理；6、单晶炉的维修维护安全事项1 ）单晶炉在维修过程中，必须在显眼位置处悬挂维修警 示牌；2） 严禁拉晶操作工擅自拆装大型机械部件，以免造成人 身伤害；设备专职维修人员在拆装上述部件时，也必须采取 相应的安全措施；3）严禁拉晶操作工拆装 220V及以上的电器、线路，必 须由专职维修人员进行维修，专职维修人员维修时，必须穿电工鞋进行操作，以免造成电击危险。4）炉体内维修、维护时，必须打开炉盖、上升上炉膛并 偏移至合适位置，使维修人员操作空间处于敞开状态，避免维修人员处于缺氧环境状态下工作；5） 禁止维修人员身体处于液压可升降部件如炉盖、炉膛