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第三章 集成电路中的无源元件,一、集成电路电阻：,1、电阻结构 基区扩散电阻 发射区扩散电阻 基区沟道电阻 外延层电阻 外延层沟道电阻 离子注入电阻 多晶硅电阻 N阱电阻 MOS电阻,集成电路中电阻1,基区扩散电阻,集成电路中电阻2,发射区扩散电阻,集成电路中电阻3,基区沟道电阻,集成电路中电阻4,外延层沟道电阻,集成电路中电阻5,MOS中多晶硅电阻,集成电路中电阻6,2、电阻修正,电阻端头修正 拐角的修正 横向扩散修正 薄层电阻值修正,3、电阻版图尺寸的确定,提高电阻的比值精度,用标准电阻组合实现不同阻值,电阻的寄生效应,二、集成电路中的电容,1、电容结构pn结电容MOS电容MOS感应沟道电容金属电容多晶硅电容,集成电路中电容1,发射区扩散层隔离层隐埋层扩散层PN电容,集成电路中电容,MOS电容,2、电容器的寄生效应,三、集成电路中的连线,1、连线的寄生电容,2、连线的寄生电阻,4、互连线寄生效应的影响,

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