PECVD设备简介

1、PECVD设备简介,PECVD全称,PECVD：Plasma Enhanced Chemical Vaper Deposition 等离子体增强型化学气相沉积,机台组成,机台由三部分组成: Automated cassette load station (ACLS) (optional) （Port1、Port2、Port3、Port4） Mainframe Remote support system equipment located in a service area outside the clean room,ACLS,The ACLS 是 cleanroom 和 mainframe

2、的交界 把白玻璃从 cassettes 传送到 mainframe loadlocks， 把完成制程的玻璃从 mainframe 传送回 cassettes 包含 ATM robot controller 和 operator control module,Mainframe 组成,主体 Double Dual Slot Loadlock（DDSL） Transfer Chamber（TC） Process Chambers (PC) Gas Panel 控制制程气体流入 process chambers Mainframe control tower Houses the mainframe

3、 power distribution（配电箱） DC power supplies（直流电供应） VME（VersaModule Eurocard bus） controller（集成电路板,Mainframe,Gas Panel,Mainframe Control Tower,Transfer Chamber,DDSL,Process Chambers,Double Dual Slot Loadlock,Transfer Chamber,View windows,Process Chamber,RPSC,机台保养（PM,PM： Preventative Maintenance 预防性保养

4、Daily（日点检） Weekly（周保） Monthly （月保） Quarterly （季保） Half-yearly （半年保） Annually （年保,Daily Preventive Maintenance,点检各Chamber冷却水流量，CDA、purge N2压力，DI water（Deionization Water 去离子水）水位、电阻值等，是否在规格之内 绕机台检查有无泄漏处，查看Pump Warning message,Weekly Preventive Maintenance,测各Chamber的Leak rate, Base pressure,是否在规格之内 MQC

5、 (machine quality control ): Thickness, U%, particle数量,以及量膜边，是否在规格之内,Monthly Preventive Maintenance,数据备份 马达上油 更换Pad Flowcal,Quarterly Preventive Maintenance,清Scrubber RF calibration 更换DI water及Filter,Half-yearly Preventive Maintenance,PC开腔，wet clean 更换Grounding 更换PC Lid O-ring, Gas line O-ring , TC Lid O-ring Spacing calibration,Annual Preventive Maintenance,机台断电，解决各种问题,装机,Tier 0：机台定位，开孔，hook up Tier 1：subfab & fab水电气的连接；送特气； leak rate； interlock check；hand off；throttle valve,