ESD管理手册S

1、版本变更记录版本变更内容描述批准人批准日期A初版发行（恒信静电中心培训专用）目录1 目的2 适用范围3 名词解释4 功能权责5 生产流程6 管理要求6.1基本原理6.2修正6.3静电敏感件6.4 ESD培训6.5产品认可6.6符合性验证6.7接地6.8人员接地6.9 EPA6.9.1 区域界定6.9.2人员管控6.9.3绝缘体管控6.9.4孤立导体管控6.10包装6.11标记7 持续改进8 相关程序文件及记录表单9 参考文件1 目的公司按照ANSI/ESD S20.20和IEC 61340-5-1标准实施静电防护管理，其目的在于：1）减少静电对产品的损害，提高产品品质，提高客户满意度。2）明确

2、静电防护措施和实施要求，为公司各部门和生产环节的防静电建立统一规则。3）建立规范要求供应商和其他协作/服务公司提供满足期望的产品或服务。4）通过二方、三方稽核，获得客户/机构认可，持续改进提高静电防护水平。2 适用范围本ESD管理手册适用于公司所有静电放电敏感元器件的生产过程，也适用于外协厂方、供应商和合作方等与静电敏感件相关各方，同时也适用于公司产品的最终用户的静电放电 防护控制。本ESD管理手册适用于静电放电敏感度大于等于人体模型（HBM）100伏和带电器件模型（CDM）200伏以及孤立导体（Insulated conductor）35伏的电气或电子零件、装置和设备等的制造、维修、组装、安

3、装、包装、标签，服务、测试、检验或其它处理活动。若今后 处理的静电放电敏感元器件的敏感电压值低于三种模型中任何一种，应立即重新评估控制 荐，修正控制措施和要求限值，变更本ESD管理手册后继续实施。3 名词解释本ESD管理手册中使用的名词参考 ANSI/ESD ADV1.0-2014，为使用人员理加容易理解和实施，结合公司惯用语，对手册中常用的名词作出解释。AC equipme nt grou nd，交流设备接地：交流设备电源线中地线的接地。Auxiliary Grou nd ，辅助接地：单独使用交流设备接地以外的接地，包括专设的弱电接地， 静电接地。Complia neeverificatio

4、 n，符合性验证：测试表明性能没有超过初始选择的限值，即指监测、稽查、点检。Co nductive material (resista nee)，导体材料(电阻)：表面电阻或体积电阻小于1*10E4欧姆的材料，即指导静电材料。Dissipative materials，耗散材料：表面电阻或体积电阻大于等于1*10E4 欧姆且小于1*10E11欧姆的材料，即指消散性静电材料。Electrostatic discharge (ESD)，静电放电：高静电场快速自发的静电电荷转移，也指防静 电。Electrostatic discharge (ESD) protective workstation，E

5、SD 保护工作站：一个处理静电放电敏感器件的工作区域，配备必要的防护材料和设备来限制静电放电对静电敏感器件的 损害。Electrostatic discharge sen sitivity (ESDS)，静电放电敏感性：静电放电导致器件失效。Electrostatic discharge susceptible (ESDS) item，静电放电敏感器件：有静电放电敏感级别的的电子电气零件、装置、元件、组件或设备。Electrostatic field ，静电场：一个因存在电荷而有引力或斥力的空间。Electric field shielding materials，静电屏蔽材料：表面电阻或体积

6、电阻小于 1*10E3欧姆的材料。ESD protected area (EPA)，静电放电防护区：定义的一个区域，为控制静电级别配备必 要的防护材料、工具和设备来最大限度地减少损害ESD敏感器件。即指静电保护区，防静电区域。Grou ndable poi nt，可接地点：指定或假设防静电物品或设备上适当的接地位置。In sulative materials，绝缘材料：表面电阻或体积电阻大等于1*10E11欧姆的材料。Resista nee to ground，点对地电阻：表面一个电极和地之间的电阻。Sleeve-to-sleeve resista nee，袖对袖电阻：一件展开的工作服两个袖口

7、之间的电阻。Surface resista nee，使用规定结构的两个电极接触一个材料的表面，直流电压与电流的比 值。Un protected area （UPA），非防护区：EPA的外面的区域。即指非 EPA，非防静电区，静电保护区。Volume resista nee ，体积电阻：使用规定结构的两个电极分别接触一个材料的两对面，直 流电压与电流的比值。4. 功能权责3.1 ESD小组组织架构（如图）3.2权责说明3.2.1 ESD工作组组长由公司任命。负责协调 ESD工作组内各成员的工作以及协调 其他相关部门支持ESD管理体系的良好运行，持续验证和改进使其满足体系的适宜性、 充分性和有效性

8、。3.2.2 ESD工作组副组长由公司ESD工程师担任，负责协助组长协调小组工作，监查ESD管理体系运行情况，通过日常验证和年度内审等方法持续发现ESD管理体系运行的问题，提供纠正措施持续保障 ESD管理体系运行符合公司需求。5. 生产流程及EPA区域（如图）6. 管理要求6.1基本原理A. EPA内所有导体（包括人体）应该接地。如果特殊情况不能接地，应将所有导体（包括人体）相连来建立了一个等电位平衡，只要系统中所有物体都处在同一个电位上， 就可以在高出地电位“零伏特”时仍然可以维持静电保护。B. EPA内必要的非导体（处理过程需要的绝缘体）因为不能通过接地方式进行放电， 采用电离化中和是为这

9、些非导体（例如电路板材料以及器件的封装）消除静电最佳 方式，应该对必要的非导体可能产生静电放电危害做出评估来保证实施措施的合理性（见本手册EPA绝缘体管控章节）。C. 在静电保护区内周转静电放电敏感件时，使用低带电并耗散静电的材料；在静电 保护区外运送静电放电敏感件时，应使用低带电且耗散静电的防护材料密封起来， 推荐使用低带电且静电场屏蔽的材料。6.2 修正（例举）修正声明1:公司ESD管理手册不包含依据ANSI/ESD S20.20标准的人员接地章节。 基本原理：已建立全自动化装配过程，人员与ESDS器件不可能有交互。修正声明2 :公司防静电工作台测量方法中“地”修正为“地面”，上限值仍然符

10、合ESD S20.20符合性验证限值要求。基本原理：防静电工作台接地电阻按TR53-01-15测试阻值为台垫阻值+接地扣阻值 +接地线阻值+接地系统阻值；修正后工作台接地电阻为台垫阻值+接地扣阻值+接地线阻值+接地系统阻值+地面阻值，比TR53-01-15测试方法增加了地面的的阻 值，测量值应大于TR53-01-15测试方法的测量值，此值若符合 S20.20限值要求， 则TR53-01-15测试方法的测量值应符合 S20.20限值要求。实测数据：（可以通过较大量的实测数据和结论来论证上面的结论）6.3静电敏感件公司使用的微电子线路，分立半导体，厚膜、薄膜电阻，混合器件，印刷电路板及压电晶体等等

11、都是静电敏感件，敏感特性由供应商根据IQC/SQE要求提供（需提供 HBM、CDM、MM （ Isolated con ductor ）三类模型的敏感电压值），IQC/SQE负责根据公司生产的产品动态列明ESD敏感件清单，当发现敏感度小于适用范 围（人体模型（HBM）100伏和带电器件模型（CDM）200伏以及孤立导体（Insulatedconductor）35 伏）电压时，应立即通知 ESD小组负责人，由ESD小组组织评估采 取额外的控制要素及调整要求限值。6.4 ESD培训ESD培训工作依据公司质量管理体系的培训管理程序文件执行。641培训内容642培训计划人力资源部统一组织的视频教学和讲

12、师课堂形式的培训，培训内容包括 ESD基础知识、防护用品、操作规范的培训，培训后随堂进行ESD考试，80分为合格，合格者方允许到 EPA上岗。初次培训及考核记录统一交由人事部门按质量管理体系的记录管理程序归档保存。岗前培训，新员工在 EPA上岗后独自操作前，由产线小组长负责安排岗前培训，加强ESD防护意识，小组长负责人员培训评价， 合格者方允许独自操作。 评价记录由各部门按质量管理体系的记录管理程序归档保存。6.5产品认可6.5.1产品认可方法质量管理体系的记录管理程序保存测试报告并接收产品。或者：质量管理体系的记录管理程序保存自测报告和来料检验记录。或者：质量管理体系的记录管理程序保存来料检

13、验记录，合格则接收产品。质量管理体系的记录管理程序负责保存记录，合格则接收产品，不合格者不得继续使用，按 质量管理体系的不合格品管理程序处理。所有测试报告和测试记录根据 ESD小组验证周期（1年）提交到ESD工作组副组长完成年度体系运行验证（内审）。项目测试方法要求限定频率检验比例检测人员记录表防静电服/帽ANSI/ESD STM2.1Rs-s1x10 11 QRp-p1x10 11 Q新购5-10%IPQC来料检验记录表防静电鞋ANSI/ESD STM9.1Rp-g1.0x109Q新购5-10%IPQC来料检验记录表脚筋带ESD SP9.2Rp-g1x109 Q新购5-10%IPQC来料检验

14、记录表防静电手套/手指套ANSI-ESD SP15.1Rp-p1x10 11 Q新购5-10%IPQC来料检验记录表防静电地面ANSI/ESD STM7.1Rp-p1x109 QRp-g1x109 Q新购新安装100%IPQCESD组员来料检验记录表点检记录表防静电工作台 防静电货架 移动设备（推车）ANSI/ESD S4.1Rp-p1x109 QRp-g1x109 Q新购新安装100%IPQCESD组员来料检验记录表点检记录表防静电工作椅ANSI/ESDSTM12.1Rp-g1x109 Q新购5-10%IPQC来料检验记录表手腕带接地连接件（非监测）ANSI/ESD S6.1R2 Q新安装5

15、-10%ESD组员点检记录表监测报警器产品说明书是否正常新安装5-10%ESD组员点检记录表烙铁ANSI/ESD S13.1Rt-g2 Q 尖端电压 20 mV尖端泄漏电流10mA新购5-10%IPQC来料检验记录表离子风扇ANSI/ESD STM3.1-35VVoffset35V衰减时间10S新购100%IPQC来料检验记录表静电毛刷等工具/、ESD测试作业指导书Rp-p1x109 Q新购5-10%IPQC来料检验记录表包装材料周转用品ESD S541Rp-p1x1011 QRp-g1x1011 Q新购5-10%IQC来料检验记录表防静电手腕带ANSI/ESD S1.1R 内1x 10 7q

16、0.8 X106 QvR 腕带线1.2 X106Q新购5-10%IQC来料检验记录表6.6符合性验证质量管理体系的监视和测量管理程序和符合性验证测试要求定期进行测试并记录，由测试人员所在部门保存测试记录。质量管理体系的测量仪器校验管理程序校准检定，以保证测试数据的准确性。质量管理体系的不合格品管理程序处理。所有测试记录根据 ESD小组验证周期（1年）提交到ESD工作组副组长完成年度体系运行验证（内审）。项目测试方法要求限定频率检验比例检测人员记录表防静电鞋ESD TR 53鞋章节Rp-g3.5x107q每日100%ESD组员综合测试仪点检防静电手腕带ESD TR 53腕带章节Rp-g3.5 X

17、107Q每日100%ESD组员综合测试仪点检监视报警器产品说明书是否正常3个月100%ESD组员点检记录表手腕带接地连 接件（非监测）ESD TR 53接地系统早节R2 Q1个月100%ESD组员点检记录表烙铁ESD TR 53焊接烙铁早节Rt-g10 Q1个月100%ESD组员点检记录表包装材料ESD TR 53包装章节Rp-g1x1011 Q3个月5%ESD组员点检记录表静电毛刷等工具/、ESD测试作业指导书Rp-g1x109 Q6个月5%ESD组员点检记录表离子风风扇ESD TR 53离子化设备章节-35VVoffset35V衰减时间10S1个月100%ESD组员点检记录表防静电服/帽E

18、SD TR 53服装章节Rp-p1x10 11 Q6个月5%ESD组员点检记录表防静电地面ESD TR 53地面章节Rp-g1x108 Q3个月100%ESD组员点检记录表防静电工作台防静电货架防静电台垫ESD TR 53工作表面早节Rp-g1x109 Q3个月100%ESD组员点检记录表移动设备（推 车、货架）ESD TR 53移动设备早节Rp-g1x109 Q1个月100%ESD组员点检记录表防静电工作椅ESD TR 53座椅章节Rp-g1x109 Q3个月100%ESD组员点检记录表注：公司防静电工作台测量方法中“地”修正为“地面”。6.7接地项目测试方法要求限定频率检验比例检测人员记录

19、表接地体ESD测试作业指导书10 Q1年100%ESD组员点检记录表接地线ESD测试作业指导书1 Q新安装1年100%ESD组员点检记录表设备接地电阻ESD测试作业指导书1 Q新安装1年100%ESD组员点检记录表6.8人员接地项目测试方法要求限定频率检验比例检测人员记录表鞋/地面系统ANSI/ESDSTM97.1Rp-g1x109 Q新安装100%ESD组员点检记录表（同时满足）ANSI/ESDSTM97.2峰值电压100V6.9 EPA所有处理没有防静电保护覆盖或包装的ESDS器件的区域均应设置为EPA，处理包含所有静电放电敏感元器件的生产过程。区域设定包括工厂一楼仓库电子料区域，一楼进料

20、检验电子料检验区域，一楼包装车间，二楼生产车间，二楼维修室， 但生产车间内办公区域，更衣室，休息室，茶水间，卫生间，非 ESD物料存放区域 等设为UPA（非EPA），具体见公司车间平面图（区域随生产可能变更，以 EPA界定 线为准）。6.9.2人员管控绝缘材料测试章节测量出其静电场强后，根据距离和静电场强进行管控。6.10包装6.11标记6.11.3 EPA 标记图示4 （EPA入口）图示5 （EPA地胶）7持续改进1.1 ESD小组应组织定期/不定期稽核。1.2稽核过程发现的不符合情况及潜在问题应总结分析，应按不符合、纠正预防与持续改进程序制定适宜措施保证 ESD管理体系的良好运行。8相关程

21、序文件及记录表单ESD敏感件清单文件管理程序记录管理程序培训管理程序监视和测量管理程序测量仪器校验管理程序ESD测试作业指导书不合格品管理程序不符合、纠正预防与持续改进程序9参考文件除非特别指明，以下文献的最新版本，修正或校正，作为本标准的部分特别补充。ESD ADV1.0, ESD Association s Glossary of Terms 术语ANSI/ESD S1.1, Wrist Straps 手腕带ANSI/ESD STM2.1, Garme nts工作服ANSI/ESD STM3.1, Io nizatio n离子化ANSI/ESD SP3.3, Periodic Verification of Air loni zers空气电离器监测ANSI/ESD S4.1, Worksurfaces-Resistanee Measurements工作表面-电阻测量ANSI/ESD STM4.2, ESD Protective Worksurfaces-Charge Dissipatio n Characteristics 防静电工作表面-消电特性ANSI/ESD S6.1, Grou nding 接地