xx县含氟电子特种气体申请报告

1、xx县含氟电子特种气体项目申请报告一、项目建设背景从全球看，世界多极化、经济全球化、文化多样化、社会信息化深入发展，新一轮科技革命和产业变革蓄势待发。同时，国际金融危机深层次影响还在继续，全球贸易增长乏力，TPP和TTIP设置更高标准的自由贸易和投资规则，外部环境不稳定不确定因素增多，世界经济仍处在深度调整期。从国内看，我国已成为全球第二大经济体，经济实力、科技实力、国防实力和国际影响力达到新高度，经济发展呈现出速度变化、结构优化、动力转换等新特征。同时，也面临诸多矛盾叠加、风险隐患增多的严峻挑战，发展不平衡、不协调、不可持续问题仍然存在，经济增长新动力不足和旧动力减弱的结构性矛盾依然突出。地

2、区站在了新的历史起点，正处在追赶超越阶段，势能潜能加速释放，科教实力雄厚、自然资源富集、文化积淀厚重等优势在未来竞争中将更加凸显。同时，长期积累的深层次矛盾和结构性问题依然存在，发展短板仍未有效突破，经济下行压力持续加大，促改革、调结构、惠民生、防风险任务繁重。电子特种气体（简称电子特气），是指用于半导体、平板显示及其它电子产品生产的特种气体。在整个半导体行业的生产过程中，从芯片生长到最后器件的封装，几乎每一个环节都离不开电子特气，而且所用气体的品种多、质量要求高，所以电子气体又有半导体材料的“粮食”之称。虽然电子特气成本仅占IC材料总成本的56%，但在很大程度上决定了最终产品性能的好坏，因此

3、电子特气的质量高低成为制约电子行业发展的重要因素。随着半导体和平板显示产业向中国大陆转移的加速，预计电子特气行业将迎来国产替代的历史性机遇。全球范围来看，随着全球半导体市场规模在2018年的高增长，全球集成电路用电子气体的市场规模达到45.1亿美元，市场规模较上年同比增加了15.9%，但从整体来看，2013-2018年的平均增速稍低，仅为6.3%。国内范围来看，2018年，我国电子气体市场规模达到了121.6亿元，较上年同比增加了11.2%，2013-2018年的增速达13.3%。目前电子气体的本土化率较低，国产化市场空间较大。半导体制程过程中用到的83种电子气体，其中有35%已经实现本土化，

4、还有35%正在本土化，30%还未进行本土化。半导体产业用的7种大宗气体仍被国外公司垄断。目前全球电子气体市场中含氟系列电子气体约占其总量的30%左右，含氟电子气体是电子信息材料领域特种电子气体的重要组成部分，主要用作清洗剂、蚀刻剂，也可用于掺杂剂、成膜材料等。典型的传统含氟电子气体包括CF4、C2F6、C3F8、C4F8、C4F6、CHF3、SF6、NF3等，由于传统含氟气体大气寿命和GWP较高，对臭氧层破坏较大，在京都议定书框架内面临逐步减量甚至禁用，开发新型、安全、环保的含氟电子气体已成为近年来国内外研究和产业化热点，目前新型低GWP含氟气体主要包括COF2、ClF3、F2等。四氟化碳是用

5、量最大的等离子刻蚀气体。四氟化碳（CF4）又称四氟甲烷，具有较好的溶氧性，其高纯气及其配高纯氧气的混合气是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、低温制冷、气体绝缘、泄漏检测剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂、润滑剂及制动液等方面也有大量应用。如果OLED新工艺得到突破，四氟化碳的需求将会显著增加，2021年大陆四氟化碳需求量将超过3000吨，2025年有望超过8000吨。目前我国半导体工厂的四氟化碳50%来自于日本，国内四氟化碳主要生产厂家包括科美特，华特气体等。电子级高纯

6、六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂。六氟化硫广泛应用于微电子技术领域，用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。六氟化硫低温下较易等离子化，含氟原子较多，反应性强，用于预蚀刻步骤中以除去单晶硅上的氧化层。在平板显示领域，作为清洗剂（等离子源），六氟化硫可用于去除玻璃基板上的沉积层（包括半导体层和氮化硅层）和清洗蚀刻工艺之后的反应腔。由于六氟化硫在钨的回刻方面有独特的优势，虽然蚀刻速度低于四氟化碳，但在集成电路中仍有一定份额。随下游半导体、电子器件等市场的快速发展，我国电子特气市场规模不断增大，特种含氟电子气体也取得了长足发展。电子级六氟化硫的主要生产企业均集中在中国。三氟化氮是

7、优良的蚀刻剂和清洗剂。在电子工业中,三氟化氮被广泛应用于集成电路、液晶显示器、太阳能薄膜和面板电池等的蚀刻和清洗。对于硅和钨化合物，高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性，蚀刻时在蚀刻物表面不留任何残留物，比用碳氟化合物等离子体蚀刻沉积在硅表面的聚合物更少。2018年全球三氟化氮市场用量达到2.83万吨，预计到2021年全球三氟化氮市场需求量在4万吨左右。2018年中国大陆三氟化氮市场用量为7405吨，随着半导体、显示面板行业生产及消费重心逐渐向中国大陆转移，加上生产三氟化氮的主要原料均由国内供给，两头在内的供应链格局决定了三氟化氮生产应用向国内转移是大势所趋，预计2021年国内三氟化氮需求将

8、达到近1.6万吨，占全球约40%，2018-2021年CAGR约28.7%。八氟环丁烷化学性能稳定、无毒无害、温室效应潜能（GWP）值低、消耗臭氧指数（ODP）值为零，是一种绿色环保型特种气体。八氟环丁烷的应用范围非常广泛，近年来被大量用作制冷剂代替禁用的氯氟烃类化合物，此外也常用于气体绝缘介质、溶剂、喷雾剂、发泡剂、大规模电路蚀刻剂、热泵工作流体以及生产C2F4和C3F6单体的原料等。高纯八氟环丁烷（5N以上）用于超大规模集成电路蚀刻剂和清洗剂。针对八氟环丁烷的制备和纯化，国外研究起步较早，如美国杜邦公司、日本大金工业株式会社、日本昭和电工株式会社、日本旭硝子公司、俄罗斯基洛夫工厂等均已实现

9、工业化生产。近年来随着我国化学、电子等工业的迅速发展，八氟环丁烷的需求量逐年上升，其制备及纯化工艺研究受到了更多的关注，应用前景十分广阔。二、项目及性质1、项目名称：含氟电子特种气体项目2、承办单位名称：xx（集团）有限公司3、项目性质：新建4、项目建设地点：xx5、项目联系人：谭xx主要经济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积153333.00约230亩1.1总建筑面积266758.12容积率1.741.2基底面积85866.48建筑系数56.00%1.3投资强度万元/亩383.652总投资万元115562.952.1建设投资万元90221.582.1.1工程费用万元77971.602.

10、1.2工程建设其他费用万元9295.952.1.3预备费万元2954.032.2建设期利息万元1240.812.3流动资金万元24100.563资金筹措万元115562.953.1自筹资金万元64917.543.2银行贷款万元50645.414营业收入万元207900.00正常运营年份5总成本费用万元168117.726利润总额万元38727.757净利润万元29045.818所得税万元9681.949增值税万元8787.7710税金及附加万元1054.5311纳税总额万元19524.2412工业增加值万元67255.3613盈亏平衡点万元86031.16产值14回收期年5.96含建设期12个

11、月15财务内部收益率18.35%所得税后16财务净现值万元26001.73所得税后三、项目承办单位公司在“政府引导、市场主导、社会参与”的总体原则基础上，坚持优化结构，提质增效。不断促进企业改变粗放型发展模式和管理方式，补齐生态环境保护不足和区域发展不协调的短板，走绿色、协调和可持续发展道路，不断优化供给结构，提高发展质量和效益。牢固树立并切实贯彻创新、协调、绿色、开放、共享的发展理念，以提质增效为中心，以提升创新能力为主线，降成本、补短板，推进供给侧结构性改革。四、原则1、需求导向。发挥市场配置资源的决定性作用，注重需求侧政策支持和引导，营造公平公正的竞争环境，加快推进新产品新服务的应用示范

12、，将潜在需求转化为企业能够切实盈利的现实供给，培育符合市场需求新消费新业态，进一步激发市场活力。2、产业联动，协同发展。统筹协调产业与关联产业联动发展，培育关联生产性服务业，促进产业成链发展，提升产业发展水平，增强行业发展的整体性和协调性，扩大高端产品服务供给，加快产业和产品向价值链中高端跃升。3、深化改革，开放发展。加快重点产业领域的供给侧改革，充分发挥市场对产业资源配置的决定性作用。探索建区域产业协同发展的体制机制，积极参与“一带一路”建设，鼓励企业“走出去”，发展更高层次的开放型经济。4、因地制宜，科学发展。充分结合各区域经济社会发展水平、资源条件，分地区、分类型制定科学合理的工作路线，

13、指导推动产业现代化发展。5、开放融合。树立全球视野，对标国际先进，把握“一带一路”重大战略契机，聚焦产业重点领域，探索发展合作新模式，在全球范围配置产业链、创新链和价值链，更大范围、更高层次上参与产业竞争合作，走开放式创新和国际化发展的道路。五、项目建设规模（一）项目建设选址本期项目选址位于xx，占地面积约230亩。项目拟定建设区域地理位置优越，交通便利，规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备，非常适宜本期项目建设。（二）项目产品及服务规模项目建成后，形成年产xx含氟电子特种气体的经营能力。（三）建筑物建设规模本期项目建筑面积266758.12，其中：生产工程147346.88，仓储工程68

14、976.55，行政办公及生活服务设施31166.25，公共工程19268.44。六、项目方向及定位以产业转型升级为发展主线；以质量效率型、集约增长型为主要发展方式；以创新驱动为主要发展途径。促进区域产业总体保持中高速增长，产业迈向中高端水平，实现产业发展质量和效益全面提升。七、建设周期及实施进度12个月。八、总投资规划（一）建设投资估算本期项目建设投资90221.58万元，包括：工程建设费用、工程建设其他费用和预备费三个部分。1、工程费用工程建设费用包括建筑工程投资（含土地费用）、设备购置费、安装工程费等；工程建设其他费用包括：建设管理费、勘察设计费、生产准备费、其他前期工作费用，合计7797

15、1.60万元。（1）建筑工程投资估算根据估算，本期项目建筑工程投资为35405.52万元。（2）设备购置费估算设备购置费的估算是根据国内外制造厂家（商）报价和类似工程设备价格，同时参照机电产品报价手册和建设项目概算编制办法及各项概算指标规定的相应要求进行，并考虑必要的运杂费进行估算。本期项目设备购置费为40177.68万元。（3）安装工程费估算本期项目安装工程费为2388.40万元。2、工程建设其他费用本期项目工程建设其他费用为9295.95万元。3、预备费本期项目预备费为2954.03万元。（二）建设期利息按照建设规划，本期项目建设期为12个月，其中申请银行贷款50645.41万元，贷款利率

16、按4.9%进行测算,建设期利息1240.81万元。（三）流动资金流动资金是指项目建成投产后，为进行正常运营，用于购买辅助材料、燃料、支付工资或者其他经营费用等所需的周转资金。流动资金测算一般采用分项详细测算法或扩大指标法，根据企业流动资金周转情况及本项目产品生产特点和项目运营特点，该项目流动资金测算参照同行业流动资产和流动负债的合理周转天数，采用分项详细测算法进行测算。根据测算，本期项目流动资金为24100.56万元。（四）项目总投资本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总投资115562.95万元，其中：建设投资90221.58万元，占项目总投资的78.07

17、%；建设期利息1240.81万元，占项目总投资的1.07%；流动资金24100.56万元，占项目总投资的20.85%。（五）资金筹措与投资计划本期项目总投资115562.95万元，其中申请银行长期贷款50645.41万元，其余部分由企业自筹。九、财务分析1、项目达产年预期营业收入（SP）：207900.00万元（含税）。2、年综合总成本费用（TC）：168117.72万元。3、项目达产年净利润（NP）：29045.81万元。4、财务内部收益率（FIRR）：18.35%。5、全部投资回收期（Pt）：5.96年（含建设期12个月）。6、达产年盈亏平衡点（BEP）：86031.16万元（产值）。十、

18、保障措施(一)完善投入机制进一步加大专项资金对产业重点项目的支持力度。对重大项目，有关部门要在各方面给予重点支持。创新投入机制，发挥多层次资本市场融资功能，多渠道引导企业、社会资金积极投入产业领域。(二)加大管理支持力度以体制机制创新为突破口，进一步深化行政审批制度改革，运用大数据、云计算、物联网等信息化手段，提升部门服务管理效能，加快推动部门职能从项目管理向平台、生态和网络优化转变。创新部门对高技术产业发展支持方式，重点支持要素市场、知识产权、人才培养、成果转化等创新环境建设，竞争类产业技术创新由企业依据市场需求自主决策。(三)建立并完善知识产权和品牌保护机制强化企业品牌意识，加强自主品牌建

19、设，重点扶持一批在品牌创建、技术研发、市场营销网络建设方面具有优势的企业。加强知识产权保护，严厉打击侵犯知名品牌合法权益的行为，在工商登记、商标注册、域名注册、市场监管等环节提供支持和服务，为知名品牌的创建创造良好的市场环境。(四)严格监督考核积极推进完善产业相关法律法规，依法构建产业管理体系。推动建立公开、公平、公正、有效管用的监督检查机制。定期开展产业发展状况调查和评估。组织大中型企业、上市公司发布年度社会责任报告，提高中小企业责任意识，充分发挥社会监督、舆论监督作用。建设投资估算表单位：万元序号工程费用名称建筑工程费设备购置费安装工程费其他费用合计所占比例1工程费用35405.52401

20、77.682388.4077971.6086.42%1.1建筑工程费35405.5235405.5239.24%1.2设备购置费40177.6840177.6844.53%1.3安装工程费2388.402388.402.65%2工程建设其他费用9295.959295.9510.30%2.1土地出让金3222.513222.513.57%2.2其他前期费用6073.446073.446.73%3预备费2954.032954.033.27%3.1基本预备费1547.511547.511.72%3.2涨价预备费1406.521406.521.56%4建设投资合计90221.58100.00%固定资产

21、投资估算表单位：万元序号工程费用名称建筑工程费设备购置费安装工程费其他费用合计所占比例1工程费用35405.5240177.682388.4077971.6088.36%1.1建筑工程费35405.5235405.5240.12%1.2设备购置费40177.6840177.6845.53%1.3安装工程费2388.402388.402.71%2固定资产其他费用6073.446073.446.88%3预备费2954.032954.033.35%3.1基本预备费1547.511547.511.75%3.2涨价预备费1406.521406.521.59%4建设期利息1240.811240.811.4

22、1%5固定资产投资88239.88100.00%6固定资产投资合计88239.88100.00%流动资金估算表单位：万元序号项目第1年第2年第3年第4年第5年第6年第7年第8年第9年第10年1流动资产99134.02123917.52132178.69165223.36165223.36165223.36165223.36165223.36165223.361.1应收账款44610.3155762.8859480.4174350.5174350.5174350.5174350.5174350.5174350.511.2存货34696.9143371.1446262.5457828.185782

23、8.1857828.1857828.1857828.1857828.181.2.1原辅材料10409.0713011.3413878.7617348.4517348.4517348.4517348.4517348.4517348.451.2.2燃料动力520.45650.56693.94867.42867.42867.42867.42867.42867.421.2.3在产品15960.5819950.7221280.7726600.9626600.9626600.9626600.9626600.9626600.961.2.4产成品7806.809758.5110409.0713011.3413

24、011.3413011.3413011.3413011.3413011.341.3现金7930.729913.4010574.3013217.8713217.8713217.8713217.8713217.8713217.871.4预付账款11896.0814870.1015861.4419826.8019826.8019826.8019826.8019826.8019826.802流动负债84673.68105842.10112898.24141122.80141122.80141122.80141122.80141122.80141122.802.1应付账款30482.5338103.16

25、40643.3750804.2150804.2150804.2150804.2150804.2150804.212.2预收账款54191.1567738.9472254.8790318.5990318.5990318.5990318.5990318.5990318.593流动资金14460.3418075.4219280.4524100.5624100.5624100.5624100.5624100.5624100.564流动资金增加14460.343615.081205.034820.115铺底流动资金29740.2137175.2639653.6149567.0149567.0149567

26、.0149567.0149567.0149567.01总投资及构成一览表单位：万元序号项目指标占总投资比例1总投资115562.95100.00%1.1建设投资90221.5878.07%1.1.1工程费用77971.6067.47%1.1.1.1建筑工程费35405.5230.64%1.1.1.2设备购置费40177.6834.77%1.1.1.3安装工程费2388.402.07%1.1.2工程建设其他费用9295.958.04%1.1.2.1土地出让金3222.512.79%1.1.2.2其他前期费用6073.445.26%1.2.3预备费2954.032.56%1.2.3.1基本预备费1547.511.34%1.2.3.2涨价预备费1406.521.22%1.2建设期利息1240.811.07%1.3流动资金24100.5620.85%项目投资现金流量表单位：万元序号项目第1年第2年第3年第4年第5年第6年第7年第8年第9年第10年1现金流入0.00124740.00155925.00166320.00207900.00207900.00207900.00207900.00207900.00