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1、第3章电容式传感器思考题答案1.试分析变面积式电容传感器和变间隙式电容的灵敏度 什么措施并应注意什么问题 ? 答:如图所示是一直线位移型电容式传感器的示意图。当动极板移动 x后,覆盖面积就发生变化,电容量也随之改变,其值为(a- x) /d=Co- b x/d?为了提高传感器的灵敏度可采取C= b电容因位移而产生的变化量为(1)C C C0其灵敏度为K -Cxd可见增加b或减小d均可提高传感器的灵敏度。直线位移型电容式传感器2. 为什么说变间隙型电容传感器特性是非线性的 答:下图为变间隙式电容传感器的原理图。图中 极板。当活动极板因被测参数的改变而引起移动时, 了两极板之间的电容量 Co?采取
2、什么措施可改善其非线性特征 ?1为固定极板,2为与被测对象相连的活动 两极板间的距离 d发生变化,从而改变设极板面积为A,其静态电容量为 C,当活动极板移动x后,其电容量为当xd时C7AC0 -11 d2X(1)xC0(1 7由式(1)可以看出电容量 C与x不是线性关系,只有当 xd时,才可认为是最近似线形 关系。同时还可以看出,要提高灵敏度,应减小起始间隙d过小时。但当d过小时,又容易引起击穿,同时加工精度要求也高了。为此,一般是在极板间放置云母、塑料膜等介电常数高的物质来改善这种情况。在实际应用中,为了提高灵敏度,减小非线性,可采用差动式结构。3. 有一平面直线位移差动传感器特性其测量电路
3、采用变压器交流电桥,结构组成如图所示。 电容传感器起始时 b1=b2=b=200mm, a1=a2=20mm极距d=2mm,极间介质为空气,测量电路 U1=3sin dtV,且u=uo。试求当动极板上输入一位移量厶x=5mm时,电桥输出电压 uo。解:根据测量电路可得C x 5u u0ui ui3sin t 750sin t/mVC o a 204. 变间隙电容传感器的测量电路为运算放大器电路,如图所示。C=200pF,传感器的起始电容量Cx0=20pF ,定动极板距离d0=1.5mm,运算放大器为理想放大器(即K“ ,Zi), Rf极大,输入电压u1=5sin g!V。求当电容传感动极板上输
4、入一位移量x=0.15mm使d减小时,电路输出电压 u0为多少?C。UiR=oUo解:由测量电路可得UoCoCoCx0d0do x200药亩 5sin t 45sin /V1.5 0.155.如图3-22所示正方形平板电容器,极板长度a=4cm,极板间距离 3=0.2mm .若用此变面积 型传感器测量位移 x,试计算该传感器的灵敏度并画出传感器的特性曲线.极板间介质为空气,08.85 10-12F/m。Co4 oa24 oa(a x)Cx Co解:这是个变面积型电容传感器,4 16 10 4 8.85 10 122 10Co kx 28.32 70.8xCx C04 ax)28.32 /pF(x的单位为米)4 a12 24 8.85 104 10
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