镀膜工艺简介AF,AG,AR

1、报告人：郭书召报告人：郭书召 日日 期期 ：2019/6/1 镀膜工艺简介镀膜工艺简介AF,AG,AR 1 二、真空蒸发镀膜 一、PVD的定义及分类 三、真空溅射镀膜 四、真空离子镀膜 五、AF、AG、AR简介 镀膜工艺简介镀膜工艺简介AF,AG,AR 2 PVDPVD的定义及分类的定义及分类 1.PVD的定义： l 从原料中发射粒子（经过蒸发、升华、溅射和分解等过程）； l 粒子输运到基片（粒子之间发生碰撞，产生离化、复合、反应， 能量的交换和运动方向的变化）； l 粒子在基片上凝结、成核、长大和成膜。 2.PVD的基本过程： 物理气相沉积是一种物理气相反应生长法。沉积过程是在真空或低气 压

2、气体放电条件下，即在低温等离子体中进行的。涂层的物质源是固 态物质，经过“蒸发或溅射”后，在零件表面生成与基材性能完全不 同的新的固体物质涂层。 3.PVD的分类： a.真空蒸发镀膜 b.真空溅射镀膜 c.真空离子镀膜 镀膜工艺简介镀膜工艺简介AF,AG,AR 3 泛指低于一个大气压的气体状态。与普通大气压状态相比，分子密度较为稀薄， 从而气体分子和气体分子、气体分子和器壁之间的碰撞几率要低一些。 真空蒸发镀膜是在真空条件下，用蒸发器加热蒸发物质使之汽化，蒸发粒子流 直接射向基片并在基片上沉积形成固态薄膜的技术。 括热蒸发和EB蒸发（电子束蒸发） 真空蒸发镀膜真空蒸发镀膜 1.真空的定义： 2

3、.真空蒸发镀膜的定义： 镀膜工艺简介镀膜工艺简介AF,AG,AR 4 真空蒸发镀膜真空蒸发镀膜 镀膜工艺简介镀膜工艺简介AF,AG,AR 5 真空蒸发镀膜真空蒸发镀膜 镀膜工艺简介镀膜工艺简介AF,AG,AR 6 热蒸发是在真空状况下，将所要蒸镀的材料利用电阻加热达到熔化温 度，使原子蒸发，到达并附着在基板表面上的一种镀膜技术。 特点：装置便宜、操作简单广泛用于Au、Ag、Cu、Ni、In、Cr等导体 材料。 真空蒸发镀膜真空蒸发镀膜 3.热蒸发原理及特点： 镀膜工艺简介镀膜工艺简介AF,AG,AR 7 热电子由灯丝发射后，被加速阳极加速，获得动能轰击到处 于阳极的蒸发材料上，使蒸发材料加热气

4、化，而实现蒸发镀膜。 特点：多用于要求纯度极高的膜、绝缘物的蒸镀和高熔点物 质的蒸镀 真空蒸发镀膜真空蒸发镀膜 4.E-Beam蒸发原理： 镀膜工艺简介镀膜工艺简介AF,AG,AR 8 真空蒸发镀膜真空蒸发镀膜 镀膜工艺简介镀膜工艺简介AF,AG,AR 9 给靶材施加高电压（形成等离子状态），使正荷电气体离子撞击靶材、 金属原子飞弹，而在样品表面形成金属皮膜的方法。 真空溅射镀膜真空溅射镀膜 1.真空溅射镀膜的定义： 镀膜工艺简介镀膜工艺简介AF,AG,AR 10 真空溅射镀膜真空溅射镀膜 镀膜工艺简介镀膜工艺简介AF,AG,AR 11 电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，

5、电离 出大量的氩离子和电子，电子飞向基片，氩离子在电场的作用下加速轰 击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉积在基 片上成膜。 真空溅射镀膜真空溅射镀膜 2.磁控溅射镀膜的定义： 镀膜工艺简介镀膜工艺简介AF,AG,AR 12 辉光放电是指在稀薄气体中，两个电极之间加上电压时产生的一 种气体放电现象。 真空溅射镀膜真空溅射镀膜 3.辉光放电的定义： 镀膜工艺简介镀膜工艺简介AF,AG,AR 13 直流溅射：适用于金属材料 射频溅射：是适用于各种 金属和非金属材料的一种 溅射沉积方法 真空溅射镀膜真空溅射镀膜 镀膜工艺简介镀膜工艺简介AF,AG,AR 14 真空溅射镀膜真空溅射

6、镀膜 4.真空溅射镀膜的优缺点： 镀膜工艺简介镀膜工艺简介AF,AG,AR 15 在真空条件下，利用气体放电使气体或蒸发物质离化，在气体离子或被 蒸发物质离子轰击作用的同时，把蒸发物或其反应物蒸镀在基片上。 离子镀把辉光放电、等离子体技术与真空蒸发镀膜技术结合在一起 真空离子镀膜真空离子镀膜 1.真空离子镀膜的定义： 镀膜工艺简介镀膜工艺简介AF,AG,AR 16 真空离子镀膜真空离子镀膜 2.真空离子镀膜的原理： 3.真空离子镀膜的特点： 镀膜工艺简介镀膜工艺简介AF,AG,AR 17 真空蒸镀、溅射镀膜和离子镀的比较 真空离子镀膜真空离子镀膜 镀膜工艺简介镀膜工艺简介AF,AG,AR AF

7、AF防指纹膜简介防指纹膜简介 AF镀膜产品特性： 1、防污性：防止指纹及油污不容易粘附、轻易擦除； 2、防刮伤：表面顺滑，手感舒服，不易刮花； 3、膜层薄：优异光学性能、不改变原有的纹理； 4、耐磨性：具有真度耐磨性能； AF镀膜产品应用领域： 手机、平板、车载、电视、LED等玻璃显示屏 镀膜工艺简介镀膜工艺简介AF,AG,AR AFAF生产工艺简介生产工艺简介 真空蒸镀：在真空条件下，采用一定的加 热蒸发方式蒸发镀膜材料（或称膜料）并 使之气化，粒子飞至基材表面凝聚成膜的 工艺方法。 真空溅镀：利用辉光放电将氩气(Ar)离子 撞击靶材表面，靶材的原子被弹出而堆积 在基板表面形成薄膜。 喷涂电

8、镀：利用高压将AF药水均匀喷涂在 基材表面形成薄膜。 镀膜工艺简介镀膜工艺简介AF,AG,AR 水接触角：110 油酸接触角：74 玻璃盖板水滴角9点测试，均匀性保证在2左右偏差 耐摩擦测试： 测试条件：使用0000#钢丝绒，1KG压力，接触面积10mm*10mm，摩擦速度30次/分钟， 摩擦行程40mm，摩擦次数3000次 摩擦后水接触角100，水滴角下降3 动摩擦系数： 测试方法：使用BEMCOT无尘布，面积10mm*10mm，负载100G，擦拭速度 500mm/min 动摩擦系数0.04 AFAF性能测试参数性能测试参数 水滴角测试仪摩擦测试仪动摩擦系数测试仪 镀膜工艺简介镀膜工艺简介A

9、F,AG,AR 耐汗液测试： 测试条件：汗液浸泡后的无尘布包裹，温度45，湿度55%，放置时间48H，水接 触角100 涂层厚度： 12-20nm 涂层硬度： 测试条件：使用7H三菱铅笔，1KG压力，摩擦速度60次/分钟，摩擦行程40mm，摩 擦次数1次 表面无划痕 AFAF性能测试参数性能测试参数 人工汗液摩擦测试仪摩擦测试仪 镀膜工艺简介镀膜工艺简介AF,AG,AR AR膜又称减反射膜又称增透膜， 主要功能:减少或消除透镜、棱镜、平面镜等光学表面的反射光，从而增加这些元 件的透光量。 减反射膜是应用最广、产量最大的一种光学薄膜，因此，它至今仍是光学薄膜技 术中重要的研究课题. 在很多应用领

10、域中，增透膜是不可缺少的，否则，无法达到应用的要求。 就拿一 个由18块透镜组成的35mm的自动变焦的照相机来说，假定每个玻璃和空气的界 面有4%的反射，没有增透的镜头光透过率为27%，镀有一层膜（剩余的反射为 1.3%）的镜头光透过率为66%，镀多层膜（剩余的反射为0.5%）的为85%。 ARAR抗（减）反射增透膜简介抗（减）反射增透膜简介 PSA AR PET HC 保护膜保护膜 离型膜离型膜 AR膜产品结构图 镀膜工艺简介AF,AG,AR AR镀膜产品特性： 1、高穿透：纳米级光学涂层技术能使玻璃的透光率增加2-3%，透光率可达95% 以上； 2、耐用：可在恶劣环境中保持25年； 3、防

11、止结露：大幅抑制玻璃产生结露； 4、防刮划硬度：镀膜后可增加1H硬度防刮划效果； 5、抗积水：水滴在表面水滴角可达110； 6、易清洁：表面污渍极易清理； AR镀膜产品应用领域： 手机、汽车挡风玻璃、太阳能电池板、室外大型广告屏等 ARAR抗（减）反射增透膜简介抗（减）反射增透膜简介 镀膜工艺简介镀膜工艺简介AF,AG,AR 光具有波粒二相性，即从微观上既可以把它理解成一种波、又可以把他理解成一束 高速运动的粒子（注意，这里可千万别把它理解成一种简单的波和一种简单的粒子 。它们都是微观上来讲的。 红光波的波长=0.750微米 紫光波长=0.400微米。 而 一个光子的质量是 6.63E-34

12、千克. 如此看来他们都远远不是我们所想想的那种宏观 波和粒子.) 增透膜的原理是把光当成一种波来考虑的，因为光波和机械波一样也具 有干涉的性质。 在镜头前面涂上一层增透膜(一般是氟化钙,微溶于水),如果膜的厚度等于红光（注 意：这里说的是红光）在增透膜中波长的四分之一时,那么在这层膜的两侧反射回去 的红光就会发生干涉,从而相互抵消,你在镜头前将看不到一点反光,因为这束红光已 经全部穿过镜头了. 为什么我从来没有看到没有反光的镜头? 原因很简单,因为可见光有“红、橙、黄、 绿、蓝、靛、紫”七种颜色，而膜的厚度是唯一的，所以只能照顾到一种颜色的光 让它完全进入镜头，一般情况下都是让绿光全部进入的，

13、这种情况下，你在可见光 中看到的镜头反光其颜色就是蓝紫色，因为这反射光中已经没有了绿光。膜的厚度 也可以根据镜头的色彩特性来决定。 ARAR抗（减）反射增透膜简介抗（减）反射增透膜简介 AR膜增透原理： 镀膜工艺简介AF,AG,AR 一：单层减反膜 为了减小表面反射光，最简单的途径是在基材表面上镀一层低折射率的薄膜。 理想的单层减反膜的条件是： 膜层的光学厚度为1/4波长 其折射率为入射介质和基片折射率乘积的平方根 在可见区，使用得最普遍的是折射率为1.52左右的冕牌玻璃。根据上面理论计算， 其理想的增透膜的折射率为1.23，但现能利用的薄膜的最低折射率是1.28(MgF2) 。 AR 膜的两

14、个主要的缺陷： 对于常用的玻璃基底，很难实现零反射 只能实现单一波长零反射，色中性差。 ARAR抗（减）反射增透膜简介抗（减）反射增透膜简介 AR膜增透的分类：AR 膜可以分为单层减反膜和多层减反膜 镀膜工艺简介AF,AG,AR 二：多层减反膜 在薄膜上镀两层以上反射材料的称为多层AR 膜，多层比单层有更好的性能，如 下图，左边是单层AR 膜，右边是多层AR 膜。 ARAR抗（减）反射增透膜简介抗（减）反射增透膜简介 AR膜增透的分类：AR 膜可以分为单层减反膜和多层减反膜 镀膜工艺简介AF,AG,AR AG镀膜产品特性： 1、反射红外线：降低红外线在玻璃表面的通透率来减少入室红外线光； 2、

15、增强透光率：在反射红外线光线的同时增强其他光源的透过，不影响室内采 光效果 3、防眩光：将光源发出的光通过漫反射改变反射强光对观察者的视觉刺激 AG镀膜产品应用领域： 1、手机、车载导航、电子黑板、电视屏幕、电脑屏幕、精密仪器仪表屏幕、医 疗设备窗口、液晶显示器视窗、电子产品视窗、笔记本触板、无线鼠标触板等； 2、高级画廊和美术馆的名贵字画的镜框，使字画和图片长期保存，永不褪色； 3、博物馆、档案馆等贵重文物保护。 AGAG防炫膜简介防炫膜简介 镀膜工艺简介镀膜工艺简介AF,AG,AR AG防眩光膜的工艺： 蚀刻AG处理 喷涂AG处理 镀膜AG处理 光学指标要求： 1、透过率(light tr

16、ansmittance)2：88%Min.(380700nm可见光波长范围)， 分光光度计测量。 2、光泽度(Gloss)： 1)测试仪器：WGG-60光泽度仪 2)测试方法：按下图所示，在原片上选取5个点进行光泽度测试，其中在每个点 上仪器每旋转90度读数一次，共二次，然后10次测试数据取平均值即得到该张 原片的光泽度数值。注意对于单面防眩玻璃须测试防眩处理面。 3)光泽度标准： a. 防眩玻璃光泽度采购规格有两种：10010和8010，IQC分别按10013和 8015的标准进行进料检验。 b. 尺寸20的常规尺寸玻璃要求同一片玻璃光泽度最大值与最小值之差10; 尺寸20的大尺寸玻璃要求同一片玻璃光泽度最大值与最小值之差20。 AGAG防炫膜简介防炫膜简介 镀膜工艺简介镀膜工艺简介AF,AG,AR AG防眩光膜的定义： AG防眩光膜行业术语叫偏光片表面处理，是偏光片表面处理的一种。通过对偏 光片的表面进行微细凹凸加工，防止光直射入眼睛，从而有效减少眩光和反射， 提高LCD（液晶显示器）的显示效果。 AG防眩光玻璃的市场应用： AG玻璃，又叫防眩光玻璃，英文名为Anti-glare glass，是对玻璃表面进行特 殊加工的一种玻璃。其特点是使原玻璃反光