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文档简介

1、20102012 年 MEMS 发展报告 RF MEMS 第一章 绪论 RF MEMS是指利用MEMS技术加工出来的尺寸在微米到毫米量级的射频器 件，能够对射频信号进行控制。和传统的射频器件相比，RF MEMS器件不仅尺 寸更小，更加容易与单片电路集成，性能上也有了大的提高（例如低插损、线 性、宽带、低功耗），可替代传统的 PIN 二极管和同类铁氧体产品。） 按照RF MEMS研究层面的不同，可以将其分为三类： 基本器件：微机械开关，可变电容，电感，谐振器。 组件层面：移相器，滤波器，压控振荡器。 系统层面：接收机，变波束雷达，相控阵天线。 RF MEMS器件的工作频率如下： （1）RF ME

2、MS开关、变容器和电感器，可工作在 DC120GHZ范围。 （2）微加工传输线、高 Q 谐振器、滤波器和天线，适合于 12200 GHz 范围。 （3）FBAR（薄膜体声谐振器）和滤波器，直到 3GHz都表现出优异的性 能和高 Q 值（ 2000 ）。 （4）RF微机械谐振器和滤波器，在 0.01200MHz性能较好并有高Q值 （ 8000 ）。 图1给出了 RF MEMS器件工作频率范围 Freque ncy in GHz 10 20406C Optimum opofathra ftAqtinty rviq* BAWBulk Koutk 训抽世 M E MS_ krOifrlect rorn

3、ec ha nical syiterni 图1 RF MEMS器件工作频率范围 图2给出了 RF MEMS技术的应用领域和范围；图3给出了 RF MEMS 开关的应用领域。 Applications MobHv plont CmtBWMr elerwiH：* vid IT WLAN and WPAM BM4 SUtiont Microww# comniuni- mtiont ATE and RF tnt AlAO- msrtPft 舸測Res Mjilitttry radio Hilivflffy p4i4d MEMS MEMS Inductor* C|wicAor 在谐振频率 点，开关的隔离度为-42dB。开关的谐振频率为24.5GHz, 2001年，朱健等人在 3000Q - cm的硅衬底上研制出一种DC20 GHZ勺射频微机械开关。2009年，南京 大学的郁元卫等人研制了一种高隔离度的串联开关，它由三个欧姆接触式开关 组成，在DC12

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