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电容式传感器的的位移特性实验电容式传感器的的位移特性实验 实验主要内容 1传感器简介 2实验的原理 3实验的仪器 4实验的步骤 5对实验总结 电容式传感器简介 v电容式传感器就是把被 测的机械量，如位移， 压力等转化为电容的变 化量。电容式传感器可 分为极距变化型，面积 变化型，介质变化型三 类。我们这次用的就是 面积变化型。 研究电容传感器的优缺点 优点 v结构简单 v价格便宜 v灵敏度高 v零磁滞 v真空兼容 v过载能力强 v动态响应特性较好 v对恶劣环境的适应性强 缺点 v输出存在非线性 v寄生电容和分布电容对灵敏 度和测量精度影响较大 v连接电路较复杂 实验原理 利用平板电容c= s/d和其他结构的的关系式 通过相应的结构和测量电路可以选择、s 、d中 三个参数，保持两个不变，而改变其中一个。 本次试验所用的变面积型电容器中，平板结构 对极距特别敏感，测量精度受到影响，而圆柱形 结构受极板径向变化的影响很小，且理论上有有 很好的线性关系。成为实际中最常用的结构。其 中线位移单组式的电容量c在忽略边缘效应时为 式中 l外圆桶与内柱覆盖部分的长度 r1、r2 外圆桶内半径和内柱外半径 当两圆筒相对移动 l时，电容变化量 c为 于是，可得其静态灵敏度为 可见灵敏度与r2/r1有关，r2与r1越接近，灵 敏度越高，虽然内外极桶原始覆盖长度l与 灵敏

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