安徽集成电路无尘车间设计施工要求

1、集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，该无尘车间对 环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他 工业洁净室，集成电路制造无尘车间有面积大、 洁净等级高、温湿度控制精度高 等特点。根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合高效送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统第一种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因

2、此操作灵活性很低。第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低, 而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐 成为最主要的净化设计方案FFU循环系统的特点是：整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风 通道组成，由FFU提供循环空气的动力，将新风、循环风混合后通过超高效过 滤器送入工艺层和工艺辅助层，静压层相对于工艺层为负压。此外，还有生产辅 助区为集成电路制造厂务设备区域， 包括电力供应、气体和化学品供应、超纯水 供应等。集成电路制造对无尘车间环境的控制有较为严格的要求。

3、不同的工艺制程对 洁净度的要求也各不相同，例如光刻要求在1级的微环境下，而化学机械研磨则 只要求1000级的环境即可。另外，集成电路制造洁净厂房对噪声、微振、照度等都有相关的规定和要求， 尤其是振动的控制，在洁净室的建筑结构设计上就要有所要求。好的洁净车间设计不仅能节省能源、降低运行成本、降低人力投入，而且可 以给生产提供安全可靠的保证。在 3种洁净系统中，FFU循环系统运行成本最低，洁净度安全性最高，因此集成电路洁净厂房多采用FFU循环系统。而洁净度要求越高，温湿度控制精度越高则洁净室投资和运行成本越高，因此在大环境洁净度或温湿度要求相对较低的情况下，将一些关键的工艺设备布置在较高洁净 度或

4、温湿度控制区域内是集成电路制造洁净厂房的设计趋势。集成电路制造是高能耗的产业，而洁净空调系统的能耗则占其中的30%以上，因此节能安全的洁净室设计和各种热能回收设计将是未来的发展方向。随着集成电路制造技术的不断升级， 主流大厂已经进入了纳米时代，集成电 路制造洁净厂房的设计建造和节能创新也需要不断提升，为先进制程产品生产提 供保障。父亲的格局决定家庭的方向一个家庭的福气运道，不是凭空出现的，它是家庭成员共同努力得来的。家庭要想和谐兴旺，首先要走对方向，父亲的格局就决定着家庭的发展方向。曾国藩曾说：谋大事者首重格局”心中格局的大小，决定了眼光是否长远，眼光是否长远又决定了事物的成败。家庭的发展不是

5、一个一蹴而就的过程，家庭需要经营，需要规划。由于社会分工的不同，父亲作为家庭中的男性，承担着家庭领导者的职能，是家庭权威”的代表。作为家庭列车的火车头，父亲的眼光要远，格局要大，只有父亲的格局大，才能确保家庭的发展方向不出错。老话说 不是一家人，不进一家门 ”人的一生中有大部分时间都在家庭中度过，观念、思想等都会通过家人间潜移默化的影响来传递。如果父亲有一个大格局，那在他的妻子、后辈子孙都 会受到好的影响。在家庭生活中，父亲有大格局，就是在家庭遭遇困难或变故时，不退缩，能够顶住压力。对待家庭小的损失不斤斤计较，不浑浑噩噩混日子，积极对待生活，对于家庭发展有大致的规划。蒙田曾说： 作为一个父亲，最大的乐趣就在于：在其有生之年，能够根据自己走过的路来启发教育子女。”一个父亲胜过一百个老师，父亲是孩子在人生中接触的第一个男性形象，他肩负着帮助孩子正确认识世界，了解社会的重任。父亲在教育孩子过程中有大格局，孩子才能健康茁壮成长， 才能为家