【2019年整理】硅片检验规程JY015

1、1 目的 为加强成品质量控制，规范成品检验方法及步骤，特制定此规程。 17范围 本文件规定了对成品进行检验的标准等。 本文件适用于硅片公司品管部硅片分选包装检验员。 18设备、工模具、材料 Manz硅片分选设备、PVC手套、标签打印机、工作台、包装盒、包装箱、封口胶带等。 19内容 4.1检验方式 4.1.1 外观 全检，即对全部生产的硅片外观逐件用肉眼进行检测，从而判断每一件产品是否合格。 4.1.2 电学及其他性能 抽检，每个硅块抽取 200片用Manz硅片分选设备对其导电类型、电阻率、厚度、TTV、少子寿命等进行检验。在 有特殊要求时，按一定比例对硅片的氧碳含量进行抽检。 4.2 检验步

2、骤 a）每个硅块抽取200片用Manz硅片分选设备对其导电类型、电阻率、少子寿命等进行检验； b）在抽检的200片当中如果有30及30片以上的硅片（导电类型、电阻率、厚度、TTV、少子寿命等不符合要求 硅片数的总计）不满足 4.3中相关要求，则对该硅块所有的硅片用Manz硅片分选设备进行检验，之后再对所 有硅片进行外观上的检验； c）在抽检的200片当中如果只有 30片以下的硅片（导电类型、电阻率、厚度、TTV、少子寿命等不符合要求硅 片数的总计）不满足 4.3中相关要求，则将这些硅片判定为导电类型不符、电阻率不符等，该硅块其他硅片 不再进行导电类型、电阻率、厚度、TTV、少子寿命等的检验，连

3、同抽检的200片硅片中剩下的硅片进行外观 上的全检； 例如：如某一硅块理论切片数为535片，抽检了 200片，当中有29片不满足4.3中相关要求。则将 29片判 定为导电类型不符、电阻率不符等，剩下的 171（ 200-29 ）片连同前面的335片（535-200 ）进行外观上的全 检； 编制： 校对： 审核： 标准化： 批准： 发送部门 份数J d）依据4.3中相关要求对硅片进行分类。 4.3 技术要求 按质量要求将硅片分为 A级硅片、B级硅片、C级硅片、D级硅片四级，如下表1。其中将硅片按电阻率分为 A1（ 0.5 3Q .cm）, A2 （36 Q .cm）2个类别，B级硅片按部分性能不

4、满足A级硅片要求分为B1,B2, B3,B4,B5,，B9共9种 类别；C级硅片指由清洗、检测和包装过程中产生的碎片， 经判定能将其划成一定尺寸的小规格硅片 （如125mm125mm , 其他检验参数符合 A级硅片标准。具体要求见下表。硅片公司按A级硅片生产，允许按用户要求提供 B级硅片或是C级硅 片。 表1太阳能多晶硅片质量等级分类方法 序 号 检验项目 A B C D 检测方 法 检验方式 A1 A2 B1、B2、B3B9 1 导电类型 P P 可划 片(不 合格 产 品)， 但在 划为 小规 格尺 寸 不 合 格 产 品， 即 不 满 足 A、 B、C 硅片分 选设备 抽检 2 隐裂、针

5、孔 无隐裂、无针孔 无隐裂、无针孔 硅片分 选设备 抽检 3 崩边 长度w 1 mm,深度 0.5 mm,每片崩 边总数w 2处； 长度w 1 mm深度w 0.5 mm每片崩边总数w 2 处； B1 1mmv崩边长度w 5mm 1mrx 深度w 2mm 1 v崩边总数w 3 目测 全检 4 TTV w 30 卩 m w 30 g m B2 30 g m TTVw 50 g m 硅片分 选设备 抽检 5 厚度 200 20 卩 m 200 20 g m B3 厚度偏差超过士 20 g m但小于士 40 g m 硅片分 选设备 抽检 6 尺寸 156 0.5 mm 156 0.5 mm B4 硅片

6、尺寸偏差超过 士 0.5mm但小于士 1.0mm 硅片分 选设备 抽检 (125 X 125) 硅片 后,其 他性 能符 合A级 硅片 标准 7 倒角 1 0.5 mm 45 土 10o 1 0.5 mm、45 10o B 倒角尺寸偏差超过 士 0.5mm但小于士 0.8mm 级 要 求 的 硅 片 均 归 为D 级 硅片分 选设备 抽检 8 线痕 深度w 8 g m 深度w 15 g m B6 15 g m 2 g s 2 g s B8 0.5 g s w少子寿命 v 2 g s 少子寿 命测试 仪 按硅块检验规程 进行抽检 续表1 说明： 1）A级硅片为优等品，A、B级硅片均为合格硅片，C

7、、D级硅片为不合格硅片； 2）B级硅片按公司制定的相关让步使用规定进行使用，C级、D级硅片按公司不合格品控制程序进行处理； 3） 凡涉及到“不明显”、“目测”字样的条款，其检验的光照条件依据GB50034-92工业企业照明设计标准中第 3.2.1条一般精细 作业中的要求，即识别对象最小尺寸0.6d1.0,视觉作业分类等级为IV乙，亮度对比为大，照度大小为200LUX（即需40W的 日光灯源，工作面距离灯源 50-70cm）。 4 ）凡涉及到“不明显”、“目测”字样的条款，检验时可以标片的方式辅助加以判定是否合乎要求。 序 号 检 验 项 目 A B C D 检 测 方 法 检 验 方 式 A1

8、 A2 11 表 面 质 量 状 况 硅片表面及侧面无凹坑， 无沾污，无氧化，无穿孔， 无裂纹，无划伤； 硅片表面及侧面无凹坑，无明 显沾污（表面沾污总面积小于 3mrf，每一百片单边侧面沾污 总面积小于20mrr）（判断时 参照沾污样本片进行判定）， 无氧化，无穿孔，无裂纹，无 划伤； B9-硅片表面有沾污但硅 片颜色不发黑；油点或其他赃 物不得有3处，每处沾污或其 他赃物面积w 1mm 可划片（不 合格产 品），但在 划为小规 格尺寸 （125 X 125）硅片 后，其他性 能符合A级 硅片标准 不合 格产 品， 即不 满足 A、B、 C级 要求 的硅 片均 归为 D级 目 测 全 检 1

9、2 弯 曲 度 80 卩 m w 80 卩 m w 80 卩 m 塞 尺 抽 检 13 氧 碳 含 量 氧含量w 8x1017atoms/cm3 ;碳含量 173 w 6.0 x10 atoms/cm 氧含量w 8x10”atoms/cm3 ； 碳含量w 6.0 x10 17atoms/cm3 .173 氧含量w 8x10 atoms/cm ；碳 含量w 6.0 x10 17atoms/cm3 氧 碳 含 量 测 试 仪 客 户 要 求 时 才 抽 检 4.4标志、包装 441 标志 在包装盒至少印有如下产品标志： a）企业名称； b）产品型号或标记； c）制造日期； d）质量认证书； e）硅锭编号； f）氧、碳含量； g）少子寿命； h）电阻率。 4.4.2 内包装 硅片采用EPS包装盒密封包装。包装盒上的标签要求粘贴整齐美观、向上并朝同一方向。封口时，封口胶要求美观 平整。 443外包装 外包装箱应标有小心