(精品)JEM2100透射电镜简易操作说明

1、 jem-2100 操作说明一、合轴操作1 照明系统合轴（1）.找亮：当打开灯丝，并且灯丝电流发射之后，应该在荧光屏上找到电子束，若打开灯丝后没有发现电子束，请进行以下操作：将放大倍数降低到 10k 左右，移动轨迹球，撤除所有光阑，基本上以上操作可以解决大多数没亮的情况若仍然找不到亮，则需调整 gun tilt进行找亮当然，也可以在用户模式下直接对 gun 进行清零操作 ntrl！正常情况下就能找到电子束了。 (2) 灯丝像调节:放大倍数为 x40k，将光斑用 beam shift 移动到屏幕中心，慢慢降低灯丝电流，并且用 brightness 旋钮将光斑聚到最小，随着灯丝电流下降，可以观察到

2、灯丝像出现。如图所示标准的六硼化阑灯丝像是均匀对称的四瓣花型的，若发现花瓣不对称，说明灯丝偏了，需要用 gun tilt调节到对称即可。调节完毕后将灯丝电流升高到正常数值，即稍能看到一点灯丝像阴影。（3）1、5 合轴：将束斑调到spotsize 5，用 beam shift 将束斑移动至屏幕中间，切换至 spotsize 1 ，用 gun shift 将偏移的束斑移动至屏幕中间，重复此过程直到当切换 spotsize1 到 5 时束斑基本上不发生偏移即可。（4）聚光镜消象散：观察各个束斑形状，如果发现束斑形状椭圆，则用 condstig键将束斑调圆即可。（5）加聚光镜光阑：聚光镜光阑红点位置表

3、示退出，其余的点的大小表示当前所加入的光阑孔大小，顺时针加入光阑至合适的孔径，一般用 1 号或 2 号光阑孔，加完后用 beam shift 将光斑移动至屏幕中心，这时顺时针转动brightness 将光斑放大到与屏幕同大，若光阑没有加正，则光斑不是均匀覆盖屏幕，即光斑补随brightness 同心放大，此时调节光阑前端和右侧的两个旋钮使光斑圆心与屏幕同心即可。 （6）样品高度调节：找一处样品，按下 image wobble x 或 y，观察图像震动，调节 z 键直至将图像震动幅度最小即可2 成像系统合轴（1） 电压中心调节：找一样品尖端处，将尖端移动到屏幕中间黑点处。按下 htwobble

4、让样品振颤，用 bright tilt调节样品尖端在振颤时不偏离屏幕中间黑点，即样品同心收缩即可。（2） 细聚焦：调节 obj focus 按钮，使要观察的样品调至正交处，可通过欠交，正交，过交现象来确认正交。找一处孔的边界，在欠交下，孔边缘会出现亮边，而在过交下，孔的边缘会出现黑边，介于欠、过交之间，无黑、亮边时就是正交处。（3） 物镜消象散：物镜象散的消法是在 x300k 以上找一处微栅，边缘有非晶颗粒，不断变化欠交和过交位置，观察非晶颗粒形状有无方向性拉伸，若有拉伸则说明有物镜象散，用 olstig 调节至无方向拉伸即可。 二、插拔样品杆插入样品杆时，先将杆插入样品室，手微微向里顶住，将开关拨至 pump 状态，然后等待样品室皮拉尼轨抽到 30 以下（绿灯亮了就可以了），然后顺时针转动样品杆一个小角度，此时样品杆会到第一个转换点，并被负压吸入样品室一小截，然后再次转动样品杆至转不动为止，再慢慢将样品杆完全送入样品室。拔样品杆前注意先将样品室位置归零，匀速拔除样品杆至拔不动为止，逆时针转至转不动，再拔一小段距离，再转回起始位置，将开关拨至 air 处放气，至皮拉尼值为 220以上，即可将杆拔出。 三、加高压将高压 ht 设置为 160kv 后点 ht on ，等高压加载完毕暗电流稳定后点自动升高压 auto ht 设步长 step 为 0.5 左右，时间为 10sec 目标电