ITO镀膜教材[谷风软件]

1、第一章 簡介第二章 玻璃玻璃簡介 玻璃製造流程 玻璃生產管理第三章 切割及裂片作業說明製程簡介 治具規格說明 製程操作說明及製程條件設定 機台故障排除停電處理程序 品質自主檢查 其它注意事項第四章 磨邊及倒角作業說明 製程簡介 治具規格說明 製程條件 機台操作及故障排除 品質自主檢查 其它注意事項第五章 清洗作業說明 製程簡介 洗淨配藥方法 製程條件 機台操作及故障排除 品質自主檢查 其它意事項第六章 拋光作業說明2.1拋光玻璃作業流程簡介2.2拋光原理2.3拋光玻璃之規格第七章 機台簡介與製程條件設定2.1拋光機台簡介2.2製程條件設說明第八章 拋光五大控制因素3.1 P.P的管理3.2 P

2、ad的管理3.3 template的管理3.4研磨劑的管理3.5振幅的管理第九章 機台操作與拋光作業注意事項4.1作業前之確認事項4.2機台操作4.3拋光作業注意事項4.4破片處理程序第十章 研磨劑測量及Pad修正6.1研磨劑測量6.2 Pad的修正第十一章 品質檢驗作業程序及標準5.1抽檢作業5.2品質檢驗作業第一章 前言1.1 LCD簡介l ：液晶螢幕顯示器(Liquid Crystal Display)。l ：液晶，遇電場會使液晶分子從平躺狀態旋轉成站立情況，使光線從無法穿透變成可穿透，進而產生明暗對比的情形。l 依其扭轉的程度可分為：(1)型(2)型(3)型，目前公司主要生產的為型及型

3、。l 以圖型來區分可分為：(1)七段式（適用於計算機、電子錶等）(2)點矩陣式（適用於電子字典、電腦等）。l 作動的原理為：組合兩片導電玻璃，之間灌入液晶，當導電玻璃通電時，上下兩片圖形、線路有重疊部分就會產生電場，改變液晶分子方向，即會顥示。 E l 玻璃基板：一般顯示器是使用鹼石灰玻璃作為基板，即俗稱的鈉玻璃。此平板玻璃是採用浮法方法製成，所以又稱浮法玻璃。所謂的浮法製程(Floating Process)就是熔融的玻璃抽出後先經過錫爐，然後回溫至室溫，此種方式產出的玻璃稱之為浮法玻璃。玻璃基板的一些特性，如表面凹凸、冷熱沖擊性、鈉離子釋出量等特性，對產品品質或製程加工性都有重要影響。l

4、玻璃基板規格：1. 厚度：一般為1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm等等。2. 外形尺寸：目前廠內比較常生產之尺寸為300*350、370*480。3. 表面的傷痕、氣泡及雜物：有些矩陣圖形，布線最小圖形為5-10um，因此在璃基皮上的缺陷也應小於5um，最近圖形越來越細，有時50um以下的傷痕和雜物都成了問題。4. 玻璃表面的凹凸：(A) 表面粗糙度：在1-2um的範圍內多次重覆出的凹凸，其變化通常比人眼的分辨率還小，這種微小的凹凸影響塗覆膜的特性、液晶取向和圖形邊緣的平整(B) 表面波紋：是週期在1mm以上的表面凹凸，通常有5-20mm的週期，這有可能成為不均勻顯示的背景。(C

5、) 翹曲：通常是在基板內出現1-2次的凹凸，翹曲過大的表面波紋在顥示製造過程中的約是，在操作機台上真空吸附基板時不得產生模糊現象；在有矩陣型時，在實施微細圖形的光刻工程中不得產生漏氣現象；不得出現干涉條紋背景等不均勻顯示對於上述各項，各種液晶顯示器所對應容估計值如下表：有源矩陣TNSTN表面粗糙度Ra100150200-300200-300平整度0.2um/20mm0.05um/20mm波紋型0.5um0.3um0.05um翹曲度100um500um500umit软件#第二章 玻璃 玻璃簡介是 Indium Tin Oxide 三個字的縮寫，中文為氧化銦錫；玻璃是在清潔的絕緣素玻璃表面上，以真

6、空鍍膜的方法依序鍍上層(二氧化矽)及層(氧化銦錫)；膜乃作為阻擋層，因玻璃基板中的鹼性成分會微量釋出，並滲入液晶中，進而造成液晶電阻率不降，另鈉離子會導電造成字肥現象，或使密封膠黏力下降等，故須先鍍上一層做為阻隔。薄膜的特性是在可見光區具有高度的穿透性與極佳的導電性，非常商合作為顯示器的透明導電極。玻璃結構如下圖所示：素玻璃ITO膜: 2x10-5mmSiO2膜: 2.5x10-5mml 膜的特性：1. 在常溫下具有良好的導性。2. 禁帶較寬，主要吸收在紫外光區，因而對可見光有良好的透過率。3. 膜耐鹼不耐酸，用鹽酸和硝酸的混合液極易蝕刻。4. 導電膜愈厚，則面阻抗值愈低；穿透率郤會因膜厚不同

7、而有極小值和極大值，膜厚約在1370處會出現穿透率的極大值。l 膜在顏色上的區分：無色：無色：淡黃色：紫色玻璃的應用：導電玻璃的應用範圍很廣泛，雖然在製作方法上有所差異，但都是作為顯示器的透明電極用，而顯示器應用於下游產業更是不勝枚舉，以表說明其應用範圍：產品面阻值產 品 類 別應 用 範 圍30040sq.多用於型，尤其是字型符號和小型點陣l 電子手錶、鬧鐘l 掌上型計算機l 家用電器上的顥示器l 儀表顯示l 電子帳簿l 攜帶型遊戲機l 太陽能電池4015sq.多用於型，可製作小型或大型點陣l 膝上型電腦l 攝影機l 小型液晶彩色電視機l 筆記型電腦10以下sq.多用於大面積型，以及其它平面

8、顯示器l l l l 膝上型電腦l 筆記型電腦l 液晶彩色電視l 導航顯示 玻璃製造流程：流程流程大片玻璃切割、裂片l 將大片玻璃切割成300X350mm尺寸磨邊、倒角l 將切割完之玻璃倒角，並清除所產生之微粒研磨拋光l 產品之玻璃表面須經過研磨處理玻璃清洗l 以高精密洗淨法完全洗淨玻璃SiO2及ITO鍍膜l 於真空系統內，依序鍍上SiO2與ITO膜品檢l 檢查並記錄產品之穿透率及阻抗特性包裝l 檢驗合格之產品以包裝機包裝第三章 切割及裂片作業說明製程簡介開箱素玻璃切割裂片磨邊針式輸送帶開箱：利用拔釘器及氣動工將木箱、釘子及螺絲鬆開素玻璃：拿取素玻璃置於切割平台切割：利用鎢鋼刀輪將由國外買入之

9、浮法玻璃用切割機切割成所需之尺寸，如購入之素玻璃尺寸為1225*1075，將它切割成12片350*300尺寸之玻璃供磨邊加工。裂片：依據鎢鋼刀輪在玻璃做表面X及Y軸上之切割刀痕，以人工方式施以一橫向力量使玻璃順著切割刀痕分離。針式輸送帶：將裂片完成之玻璃放置於針式輸送帶，準備進行磨邊、倒角作業。 玻璃規格說明目前公司生產之玻璃可依下列方式分類：依產品類別：1. 2. 依玻璃尺寸可分為：1. 2. 3. 依玻璃厚度可分為：1. 2. 3. 4. 素玻璃因供應廠商不同可分割的數量亦不相同，有4切、6切、9切及12切等區分，其外箱皆標示厚度、尺寸及開箱方向，玻璃由倉庫調撥進來時，須依規格、尺寸確實清

10、點。 製程條件設定、作業程序說明l 切割機各部位說明：操作盤：X-Y軸手動 進退速度控制急停原點燈鼓風刀輪使用鈕刀座下降刀座上升X玻璃尺寸設定手-自動X-Y運動計數器電控箱：電源ON電源OFFTIMER急停l 切割機參數設定：1. 空氣壓力總表：kgfcm2 。2. 刀頭分壓表：kgfcm2 。3. 切割速度：。l 切割前檢查步驟：1. 打開總電源之漏電斷器。2. 開啟電控箱電源ON。3. 切換至手動模式。4. 檢查X、Y軸是否位於機械原點。5. 檢查各空氣壓力表。6. 按下切割台輸送運轉、刷毛運轉和割台運轉，使平台清潔並確認運轉是否順暢。7. 設定玻璃尺寸。8. 下刀號數選擇。9. 調整刀座

11、之切割尺寸。(參考切割尺寸設定步驟)10. 調整刀輪高度。(參考刀輪更換、調整作業說明)11. 刀輪高度調好後，按刀上上降鈕，使刀頭全部上升。l 操作說明：1. 電控箱電源ON。2. 切換至手動模式。3. 手動狀態下做原點復歸。4. 確認原點軸、軸、X/Y連動燈亮。5. 切換至自動模式。6. 切割計數器歸。7. 起動切割台、裂片台之鼓風機。8. 踏下切割鼓風機踏板，使桌面浮起。9. 將刀頭切至使用位置。10. 將大玻璃放置於切割台上緊靠藍色PIN點，位置確認後踩下鼓風機踏板使玻璃吸附。11. 刀頭確認後，踩下切割踏板即可自動切割。12. 切割完成後踩下裂片台側之傳送踏板，即可將玻璃傳送至裂片台

12、。13. 裂片。14. 將裂片完成之玻璃放至針式傳送機上。15. 重覆上述步驟進行生產。16. 關機時將電控箱之電源Off。l 切割尺寸設定步驟：1. 用捲尺量測欲切割玻璃之正確尺寸，依最大使用效決定刀座切割尺寸之設定。2. 依玻璃軸尺寸設定軸頂PIN距離。2.1 鬆開Y軸頂PIN之固定螺絲。2.2 調整刻度尺寸和玻璃軸尺寸相同，並對齊固定座後緣。2.3 將螺絲固定，注意勿和刀座行進時有碰撞之虞。3. 將所有刀座之固定螺絲鬆開。4. 手動刀軸移近頂PIN旁來設定第一刀位置。4.1如前進時刀座會碰到頂PIN，請先將刀座向右移動。4.2 用尺量測頂PIN盤頂點和刀軸之距離。(保持10mm以上之安全

13、距離)4.3 設定好後將刀座固定螺絲鎖緊。5. 設定第二刀位置：5.1 將檢出器連結至第一刀位置。5.2 將尺寸顯示器按RESET鍵歸零。5.3 鬆開檢出器，移動至下一刀座並連結。5.4 依顯示器之尺寸調整刀座至設定位置，然後固定。5.5 厘米以下之微調可用檢出器之微調器進行。5.6 尺寸微調好後，將刀座固定螺絲鎖緊並放檢出器。6 將顯示器歸零，並依上述步驟完成其他刀座設定。7 Y軸刀座之切割尺寸設定方式同上所述。8 未使用之刀座取適當位置固定。9 如切出之玻璃尺寸有誤差時，可將檢出器再連結至刀座確認，可用刀座微調器做微調。l 尺寸設定標準：切割尺寸設定依系面或面有所不同：1. 磨系面：玻璃尺

14、寸 0.04mm。2. 磨面：玻璃尺寸 0.20mm 0.04mm。(299.96300.04)(299.96300.04)(369.96370.04)370*480300*400300*350磨系面尺寸設定(349.96350.40)(399.96400.04)(479.96480.04)(300.16300.24)(300.16300.24)(370.16370.24)370*480300*400300*350磨R面尺寸設定(350.16350.24)(400.16400.24)(480.16480.24)設定切割尺寸注意事項：1. 頂PIN固定後須使玻璃兩側能同時碰到4個點。2. 檢出器

15、移動時速度不宜太快，不可用東西敲打。3. 連結檢出器與刀座時，僅須輕輕鎖上固定螺絲即可。4. 刀痕太近玻璃邊緣時不利於裂片，尺寸設定時須注意。(第一刀與玻璃邊緣須有10mm以上安全距)l 刀輪更換、調整作業說明：1. 更換步驟1.1鬆張刀頭固定螺絲將刀頭取出。1.2鬆開刀輪軸擋片。1.3用針將軸退出，並取下舊刀輪。1.4將新刀輪換上，反程序裝回刀座。2. 手動將刀輪之刀軸移至切割平台方便作業之位置。3. 準備一片玻璃來當墊片。(厚度同欲切割之玻璃)4. 鬆開固定螺帽。5. 順時針旋轉高度調整螺帽一圈，使刀輪上升至不接觸玻璃的位置。6. 將玻璃墊片置於刀軸下方平台。7. 按下切割降鈕。8. 將量

16、錶吸附於平台上，探針頂在刀座上方。9. 逆時針慢慢旋轉高度調整螺帽使刀輪下降，並同時目測刀輪是否與玻璃接觸。9.1移動玻璃墊片來感受刀輪是否接觸玻璃。9.2接觸玻璃時刀頭會輕輕轉動，此時停止調整。10. 將量錶指針歸零。11. 將高度調整螺帽逆時針旋轉，下降0.4mm。(玻璃1.1mm時)12. 鎖緊固定螺帽並移開量錶。13. 調整完畢按下切割上升鈕。刀輪更換、調整注意事項：1. 刀輪轉動須順暢，不可調整過緊或過鬆。2. 刀輪軸須時常保養。3. 空壓不要太大避免玻璃切割痕過深或刀頭受力過大。刀頭分壓錶設定標準如下：l ：kgfcm2 。l ：kgfcm2 。4. 刀輪下壓高須按下列規定調整：l

17、 ：。l ：。5. 滾輪與玻璃間距隔調整確實，避免碰撞玻璃。 機台故障排除、停電處理程序l 機台故障排除 以下為幾個常發生之異常狀況發生原因及排除方式：1 原點燈不亮：可能是切割完後，軸及軸發生位移所造成。關掉控制電源，並且移動軸或軸，再開所控制電源，按原點復歸，若仍無法恢復正常須請工務查修。2 切割折斷桌面無法浮起：係因鼓風器切換開關閥門鬆脫，無法切換風量所致，須通知組長或工務查修。3 警報：係因電壓不穩而造成警報，須切掉控制電源及總電源重新開啟，若仍無法排除須通知組長或工務查修。4 切下降未同步：係因刀座氣缸經久未使用、潤滑不足所造成，由氣壓管內添加潤滑油，以及調整微調加大氣壓即可改善。l

18、 停電處理程序1. 計劃性停電：1.1 停止切割，將刀軸停在原點位置。1.2 將電源關閉。1.3 打開電控箱將總開關關閉。2. 臨時停電：2.1保持現狀並將電控箱內總開關關閉。3. 復機：3.1電控箱內總電開關打開。3.2電源開關打開。3.3確認刀軸原點正確。(原點燈亮) 品質自主檢查作業前切割人員須與裂片人員確認欲投產之玻璃規格，點檢機台各項條件是否符合標準始可開始作業。玻璃切割後，以游標卡尺確認尺寸，另檢查玻璃切割線條及是否有缺角不良等，確認無誤後方可開始生產，以下為切割品質檢驗項目、機台點檢、不良判定及調整方式：l 切割尺寸檢驗：1. 磨面切割尺寸檢驗公差：產品尺寸0.1mm。2. 磨面

19、切割尺寸檢驗公差：產品尺寸+0.20mm0.10mm。Exp.：磨面尺寸3000.10mm*3500.10mm。磨面尺寸300.200.10mm*350.200.1mm。l 點檢項目：項 目基 準頻 率機台空 壓50.5 kgfcm21次班刀頭壓力0.250.5 kgfcm21次班切割速度721次班頂PIN位置不可碰撞刀頭1次班原點位置原點燈亮1次班首件切割精度設定值0.04mm1次班切割深度亮度適中，無跳線、無玻璃絲1次班裂片狀況無缺角、破裂1次班切割面朝上1次班l 機台保養：保養項目保養時機保 養 方 式（使用器材）台面每日每日須保持台面無玻璃屑及檢視台面下的清潔毛刷是否正常動作。刀輪和刀

20、軸每日每切割40片大玻璃須用Air gun吹拭刀輪和刀軸上的玻璃絲，並檢視刀痕。氣壓表每日1. 每日去除氣壓總錶水氣，並保持氣壓在4 kgfcm2以上。2. 各刀輪氣壓分錶須保持0.250.5 kgfcm2之間。3. 若無法調整至上述條件時，檢查檢氣壓管路和零件是否有洩氣。鼓風機每日開機後檢測鼓風和吸風是否正常，並檢視鼓與吸的變換氣閥是否鬆脫。刀具導輪每週每週應做清潔潤滑乙次，保持導輪平整順暢，檢查固定螺絲是否鬆動。量尺和頂PIN每週以酒精擦拭清潔，並在滑塊與滑軌上黃油上乙次。傳動齒輪鍵條每週檢視齒輪和鍵條是否有異聲，振動和鬆脫及上黃油潤滑。滑塊與滑軌每二週每週擦拭後上黃油乙次，並檢視滑行是否

21、順暢和振動。刀座移動滑塊每二週光學移動滑塊每二週毛刷每月檢查毛刷馬達是否有異聲和振動，皮帶是否裂痕和鬆動，並在軸承上黃油潤滑。軸承每月用黃油補充槍按壓23次，潤滑軸承。機台每月每月應做機台內、外部清潔和防銹工作。l 切割不良判定及調整方式：不良項目狀態可能原因處理步驟切割過深切割高線很明顯或有玻璃絲產生1.氣壓過大2.刀輪不利l 1.10.7mm玻璃氣壓範圍：0.30.5kgfcm0.50.4mm玻璃氣壓範圍：0.250.5kgfcml 如氣壓尚在範圍內則調小氣壓值，再不行則更換刀輪。無法裂片或不易裂片用手難將玻璃扳開，或扳破裂1. 氣壓過小2. 刀輪不利l 將氣壓調大，如超過標準上限則更換刀

22、輪。無刀痕沒有切割痕跡，無法裂片1. 刀座高度不正確2.刀輪不轉動l 校正刀座下壓高度。l 檢查刀輪是否卡有異物，並用Airgun吹拭。裂片時有突起或刀痕斷續1.跳刀2.刀輪轉動不順l 用Airgun吹拭。l 刀輪規律性斷續表示刀輪缺角，須立即更換新刀輪。切割面不平整切割斷面不平整，嚴重時呈波浪狀1.氣壓過大2.高度不對3.刀輪不利l 調小氣壓。l 調整刀座高度。l 更換新刀輪。刀輪下刀點破裂刀輪接觸玻璃就破裂1.氣壓過大2.高度不對3.刀輪下刀點不對l 如切割0.5mm以下玻璃較易發生，故切割薄板時先將氣壓調小一點再作業。l 更換板厚時高度未調整好。l 刀輪下刀點不在玻璃上，須將校正原點修改

23、尺寸設定。 其它注意事項l 開箱備料1. 備料人員開箱前須注意OPEN方向，開箱後檢查第一片玻璃Tin面是否正確，遇外側標示不明，應會同組長做確認並確實做到首片檢查。2. 搬運玻璃時，須協同兩人以上共同進行，避免在運送過程中玻璃傾倒，造成玻璃破裂。3. 未曾作業的新尺寸玻璃須與倉庫和工程人員確認浮法方向及切割片數。4. 未切完的玻璃要移動前，最好用木板固定。l 切割作業1. 切割人員拿取玻璃時，應做首片檢查確認Tin面是朝上，放置於切割台面，並靠緊藍色PIN 點。2. 裂片人員首片檢查項目包括玻璃尺寸、切割狀態、刀輪氣壓值及確認切割機原點位置。3. 切割每半小時使用Air吹拭刀頭及刀軸，防止異

24、物。4. 切割不佳時，可試調整切割刀輪分壓壓力，但以不超過0.5 Kgfcm2為準。5. 切割完成後再傳送，裂片未完成前不可再觸動傳送踏板。6. 更換刀輪時，須注意刀輪切割方向，切勿反置，避免切割不良。7. 切割裂片人員於操作時須穿載尼龍手套及手術手套及護目鏡，避免意外傷害。8. 玻璃切割深度依玻璃厚度不同須做調整，調整方式為刀輪接觸玻璃後再下刀，下刀深度如下所示：條：條：條：條9.更換刀輪、玻璃尺寸須由合格之操作人員為之，更換完畢後應立即填寫更換記錄表。中国触摸屏网（ )您下载的该触摸屏技术文档来自于中国触摸屏网( / )What you are downloading are from China Touchscreen Site: