蚀刻工序作业指导书

1、蚀刻工序作业指导书1. 0目的建立详细的作业规范，籍以稳定品质，提升生产效率，并作为设备保养、员工操作的 依据，此文件同时也是本岗位新员工培訓之教材。2.0适用范围本作业规范适用于本公司蚀刻（含去膜、退锡）工序。3.0职责电镀班具体负责落实本指导书的实施及蚀刻设备的维护与保养。4.0作业内容4.1作业流程4.1.1内层（负片）蚀刻作业流程烤板检查蚀刻氨水洗压力水洗水洗退膜清洗烘干蚀检转 黑化工序4.1.2镀锡板蚀刻作业流程退膜一检查一蚀刻一氨水洗-压力水洗一水洗一强风吹干一自检一退锡一烘干 蚀检转下工序4.1.3镀金板蚀刻作业流程退膜一检查一蚀刻一氨水洗-压力水洗一水洗一强风吹干一自检一酸洗一

2、清洗 烘干蚀检转下工序4.1.3若外层线路使用负片菲林，其蚀刻流程同 4.1.1 o4.2蚀刻工序设备及物料清单蚀刻机、褪膜机、褪锡机、排骨架、猪笼架、放板台、去膜槽、水洗台、软毛刷、 蚀刻子液、褪铅锡药水、褪膜篮、NaOH氨水、柠檬酸、胶盆。4.3基本流程说明431退膜：通过强碱溶解表面油墨/干膜使之退去，露出所需之铜4.3.2蚀刻：在碱性强氧化剂的条件下，将线路板上之多余铜面除去。4.3.3退锡：去除蚀刻后图形上的抗蚀锡层。4.3.4酸洗：清洗金面轻微氧化，防止氧化加深。4.4工艺参数及操作条件槽名控制成份控制范围操作条件分析频率退膜NaOH2%5%喷淋室温2次/周退膜速度0.81.5m/

3、min蚀刻Cu2+130145g/L喷淋压力：A泵上压3.0 20.1 K g / cm1次/天Cl-160200g/L比重1.1901.2001次/班PH7.88.2控制成份控制范围放板速度1/4OZ:4.55m/minHOZ3.54.5m/min1OZ2.02.5m/min2OZ1.21.4m/min3OZ0.91.1m/min4OZ0.60.8m/min5OZ以上厚铜 板请工艺跟进制作。比重1.151.35输送速度1.03.0m/min4.5工艺维护4.5.1退膜槽配槽4.5.1.1 打开槽底排水开关和水泵，把废液抽至污水处理站，抽完后关闭 水泵。4.5.1.2 戴上长袖耐酸碱橡胶手套及

4、防护面具，关闭排水开关，注满清水；4.5.1.3 开启电源与泵浦，对整个槽体全面喷洒5mi n,然后关闭电源与泵浦；4.5.1.4 打开盖板，用清洗工具彻底清洗槽内壁；4.5.1.5 打开槽底排水开关，把废液排出，并用高压水枪冲洗干净；4.5.1.6 将槽内注入3/5槽体积的清水；4.5.1.7 另用一小槽注满水，加入9kg NaOH搅拌至完全溶解4.5.1.8 将泵浦电源打开，让水流动起來，再緩緩将NaO溶液倒入槽内；4.5.1.9 添加完成后，循环20min,使药水达到完全搅拌均勻； 4.5.1.10通知化验人取样化验，各项管控点都在要求范围之内后方可进行生产。4.5.2每月对蚀刻清洗维护

5、一次，步骤如下：4.5.2.1 戴上长袖耐酸碱橡胶手套及防护面具，接好回收管路；把母液抽至储存槽，盖上纸盖以避免PH值过低；4.522 用清水冲洗干净蚀刻槽，排掉废水；4.523 加入2/3槽体积的清水，然后再加入10ml/L的工业盐酸，再加水至 液位，开机循环搅拌30min；4.5.2.4 排掉盐酸清洗废液，用清水彻底清洗槽内、槽盖等部件；4.5.2.5 拆下上下喷嘴，清理干净后按原位置安装上去；4.5.2.6 在槽内注入4/5体积的清水，加入1/5槽体积的新液；4.5.2.7 檢查各视窗盖板是否盖好，确认 ok后，将循环泵浦与药水泵浦及 摆动开启，喷淋1小时；4.5.2.8 检查喷管、喷嘴

6、有无堵塞（并疏通堵塞的喷管、喷嘴）；4.5.2.9 将废液抽到废液储存槽，用碎布擦拭槽壁，并清理槽底残余的杂 质，及用高压水枪沖洗槽体（注意將水排干净）；4.5210 通过回收管道及回收泵浦将母液从储存槽抽回至蚀刻槽内； 4.5211打开循环泵浦与药水泵浦让药水循环起來，并适当添加一瓶純氨（2L）;4.5.2.12通知化验人取样化验，各项管控点都在要求范围之内后方可进行 生产。4.5.3退锡4.5.3.1 开缸a、用清水冲洗干净退锡槽；b、注入10L HNO开启喷嘴喷洒30min,检查喷嘴是否正常；c、直接排出废液，用清水冲洗干净；d、注入200L PC20001卩可开始生产。4.5.3.2

7、维护a、当比重达到1.35时，更换整缸药液。4.5.3.3 每月对退锡槽清洗一次，步骤如下：a、此操作在更换褪锡液时进行；b、用清水冲洗干净退锡槽内壁；c、拆下喷嘴进行清洗；d、向槽内加入清水至液位，开机循环清洗 30mi n；e、排除废液，按原位置装上喷嘴；f、配10%勺氢氧化钠溶液循环喷洒1小时；g、排除废液，用清水冲洗干净；h、配12%勺工业硝酸溶液循环喷洒30min；I、排除废液，将退锡母液抽回退锡槽；J、分析并调整各参数至工艺范围之内；K、循环10min后，即可生产。4.5.4酸洗4.541 酸洗液配置开缸a、用清水冲洗干净胶盆；b、加入100g柠檬酸，加入5L清水即可开始生产；c、

8、当有金板生产时才配制酸洗液。4.5.4.2 维护a、当班使用后即更换酸洗液。4.6生产前准备4.6.1检查各缸液位是否在标准位置。4.6.2检查药水槽温度是否达到设定范围，且分析各含量是否正常。4.6.3检查各水洗槽是否按时清洁换槽，确保水之清洁度。4.6.4检查喷嘴是否堵塞，泵浦压力是否正常。4.6.5检查滤网是否按时清。4.6.6检查输送传送齿轮是否正常。4.6.7检查全线管路是否正常，如有漏液需及时处理。4.6.8检查全线阀门位置是否正常。4.6.9检查控制系统是否正常，马达是否有异常。4.7生产注意事项4.7.1所有泵浦严禁无水空转。4.7.2检查吸水海棉是否充分湿润，并每班清洗 2次

9、。4.7.3每月检查一次金属部分是否松动腐蚀。4.7.4每周清洗过滤器一次。4.7.5每月全线保养一次。4.7.6退膜收集槽内的碎膜需及时清理。4.7.7开机前，需先放2片废板活化蚀刻药水。4.7.8每月做蚀刻速率、蚀刻因子测试。4.7.9生产每料号前需做首件检查。4.7.10生产时需频繁检查输送是否正常，有无卡板现象，并检查各压力表的压 力是否正常。4.7.11生产放板间距保证5cm以上，且均匀，充分利用输送面4.7.12添加药水时需戴耐酸碱橡胶手套、防护面具以免药水烧伤皮肤 4.7.13生产过程中，请勿将手或头伸入机器内。4.8返工板的处理4.8.1退膜返工板返工时输送速度比原速度需大 1m/mi n。4.8.2返工退膜时必须检查有无溶锡现象，并且返工退膜板必需尽快蚀刻以防止 板面氧化。4.8.3蚀刻不尽返工板需根据实际情况调整输送速度；若单面蚀刻不尽，则关闭 上喷嘴，蚀刻不尽的一面朝下