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1、AIA、1010*1101012110)121011200110)10WJ|1010)1晶向的本质是蓝宝石分子结构的问题:葢宝石俗称刚玉.硬虞仅次于全刚石.属于三方扉垂.六方箱版 冃前是IFD产业的上游衬底的主要忆料q这个是蓝主石的诗阳的晶体站內圉！其中黒岂的怎为氧妄子r白色洞亦为黑弯子*1101H201fnoo U2ioi帅*一11100上图为分子结构图，主要写了蓝宝石单晶六方晶系。2.蓝宝石晶向成像原理。蓝宝石在这种分子结构的情况下，会有不同方向的分子层面， 对X射线会有反射作用， 从而产生晶向。详细见下图：分子层形成 了 C面C WTiealUnit Cell of Sapphire分子

2、层形成 了 M面larflA pia 阳iR p aneTypical Orin:at(iA 屈jjrR A plane C place(VOS-；ja m-，Unit Cell of SapphireC AxilApiarsRpten* (W)A plane ；金1 C pJmre (ucTjcai Or&ntalifln分子层形成了 A面Unit Cell of SapphireUnit Cell of SapphireA pif)轴分子层形成 了 N面R piarfl (VC?1A plane馳C pJan# (20C-T/peal O*ntatcnUnit Cell of Sapphi

3、re3晶向值形成的原因:X射线在经过分子层后，会产生折射和反射。在特定的某个角度入射会让反射的X光呈现平行状态（如下图），接收器接受的X射线强度比较大，该角度称为晶向值。但由于各个面的 分子层间隙不同，所以产生的晶向值也不同。标准晶向值如下：C 面:20 50A 面:1855M面:34 06R 面:2616N面：21434分子晶向图在下图中可以直观的看出蓝宝石分子晶向。11(0001】5蓝宝石分子结构，对其物理性能的影响。a光学性能：C轴均有晶光性，其他轴具有负光性。（所以一般衬底行业都用 C向晶片。）b. 硬度：A向硬度明显高于 C向，具体表现在耐磨，耐刮，硬度高。（我们磨A向砂轮需要特制的，或者明显降低研磨效率。A向晶片大多用于作为窗口材料，如手表镜片）c. 切割时M面易开裂：C面为平面，最好切。 A面为Z型锯齿状面，比较好切。M面为阶梯锯齿状，不好切，容易切裂。切割示意图如下：6晶向对其其他性能的影响。未知，有其他的客户反馈，以OF面为底面2寸晶棒在R9点钟方向的晶棒不容易裂片，也有其他客户反馈，以 OF面为底面4寸晶棒在R3点钟方向的晶棒不容易裂片。个人觉得，因为蓝宝石的结构的对称性，

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