传感器与检测技术课件第七章-气敏、湿度、水份传感器2

1、第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 湿度传感器是能够感受外界湿度变化，并通过湿敏材料湿度传感器是能够感受外界湿度变化，并通过湿敏材料 的物理或化学性质变化将湿度大小转化为电信号的器件。的物理或化学性质变化将湿度大小转化为电信号的器件。 现在湿度检测已广泛应用与工业、农业国防、科技、生现在湿度检测已广泛应用与工业、农业国防、科技、生 活等各个领域。活等各个领域。 许多储物仓库湿度超过一定程度，物品易发生霉变或变许多储物仓库湿度超过一定程度，物品易发生霉变或变 质；居室湿度希望适中；纺织厂要求车间的湿度保持在质；居室湿度希望适中；纺织厂要求车间的湿度保持在 60%7

2、0%RH60%70%RH；农业生产中的温室育苗、食用菌培养、水果；农业生产中的温室育苗、食用菌培养、水果 保鲜等都需要对湿度进行检测和控制。保鲜等都需要对湿度进行检测和控制。 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 一、相对湿度和绝对湿度一、相对湿度和绝对湿度 1. 绝对湿度绝对湿度 单位体积空气内所含的水汽的质量，也就是空气中水汽的单位体积空气内所含的水汽的质量，也就是空气中水汽的 密度。严格指在一定温度和压力下，单位空间所含水蒸气密度。严格指在一定温度和压力下，单位空间所含水蒸气 的绝对含量或浓度。一般用一立方米空气中所含水蒸汽的的绝对含量或浓度。一般用一立方米

3、空气中所含水蒸汽的 克数来表示：克数来表示： )/( 3 mg V m A V H 式中，式中，mV为待测空气中水汽的质量，单位为待测空气中水汽的质量，单位g; V为待测空气的总体积，单位为为待测空气的总体积，单位为m3 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 一、相对湿度和绝对湿度一、相对湿度和绝对湿度 1. 绝对湿度绝对湿度 绝对湿度也可用水的蒸汽压表示。设空气水气密度为绝对湿度也可用水的蒸汽压表示。设空气水气密度为V， 根据理想气体的状态方程，得：根据理想气体的状态方程，得： RT MpV V 式中，式中，M水气的摩尔质量；水气的摩尔质量； R摩尔气体常数摩尔

4、气体常数 pV蒸气压力蒸气压力 T热力学温度热力学温度 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 一、相对湿度和绝对湿度一、相对湿度和绝对湿度 2. 相对湿度相对湿度 在许多与大气湿度有关的现象中，如农作物的生长、有机在许多与大气湿度有关的现象中，如农作物的生长、有机 物的发霉、人的干湿感觉等都与大气的绝对湿度没有任何关系，物的发霉、人的干湿感觉等都与大气的绝对湿度没有任何关系， 而主要与大气中的水气离饱和状态的远近程度有关。所谓饱和而主要与大气中的水气离饱和状态的远近程度有关。所谓饱和 状态是指在某一压力、温度下，大气中的水气含量的最大值。状态是指在某一压力、温度下

5、，大气中的水气含量的最大值。 若大于此值，其中的一部分水气必然凝结成水滴，而使水气密若大于此值，其中的一部分水气必然凝结成水滴，而使水气密 度保持在饱和状态。气温越低，饱和压强越小。度保持在饱和状态。气温越低，饱和压强越小。 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 一、相对湿度和绝对湿度一、相对湿度和绝对湿度 2. 相对湿度相对湿度 通常把被测气体中实际所含水气压力和该气体在相同温度通常把被测气体中实际所含水气压力和该气体在相同温度 下饱和水蒸气压的百分比称为相对湿度。下饱和水蒸气压的百分比称为相对湿度。 一般用符号一般用符号%RH（Relative Humidit

6、y）表示，无量纲。）表示，无量纲。 一般使用的湿度量程为一般使用的湿度量程为0100%RH。 RH P P H T N W T %100 PW为待测空气温度为为待测空气温度为T时的水气分压时的水气分压 PN为相同温度下饱和水气的分压为相同温度下饱和水气的分压 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 一、相对湿度和绝对湿度一、相对湿度和绝对湿度 3. 露点露点 降低温度可以使原先未饱和的水气变成饱和水气而产生结降低温度可以使原先未饱和的水气变成饱和水气而产生结 露现象。露点就是指：使大气中原来所含有的未饱和水气变成露现象。露点就是指：使大气中原来所含有的未饱和水气变成

7、 饱和水气所必须降低达到的温度值。饱和水气所必须降低达到的温度值。 因此只要测出露点就可以通过查表得到当时大气的绝对湿因此只要测出露点就可以通过查表得到当时大气的绝对湿 度。这种方法也可以用来标定湿敏电阻传感器。度。这种方法也可以用来标定湿敏电阻传感器。 露点与农作物的生长有很大关系；结露也严重影响电子仪露点与农作物的生长有很大关系；结露也严重影响电子仪 器的正常工作，必须予以注意。器的正常工作，必须予以注意。 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 氯化锂湿敏电阻是利用吸湿性盐类潮解，离子导电率发生氯化锂湿敏电阻是利用吸湿性盐类潮解，离子导电率发生 变化而制成的测

8、湿元件。它的结构是在条状绝缘基片的两变化而制成的测湿元件。它的结构是在条状绝缘基片的两 面，用化学沉积或真空蒸渡的方法作上电极，再沉渍一定面，用化学沉积或真空蒸渡的方法作上电极，再沉渍一定 配方的氯化锂配方的氯化锂-聚乙烯醇混合溶液，经一定时间的老化处理，聚乙烯醇混合溶液，经一定时间的老化处理， 即可制成湿敏电阻传感元件。即可制成湿敏电阻传感元件。 二、氯化锂湿敏元件二、氯化锂湿敏元件 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 在氯化锂（在氯化锂（LiCl）溶液中，）溶液中，Li和和Cl均以正负离子的形式存均以正负离子的形式存 在，而在，而Li对水分子的吸引力强，离子

9、水合程度高，其溶对水分子的吸引力强，离子水合程度高，其溶 液中的液中的离子导电能力与浓度成正比离子导电能力与浓度成正比。 当溶液置于一定温湿当溶液置于一定温湿 场中，若环境相对湿度高，溶液将吸收水分，使浓度降低，场中，若环境相对湿度高，溶液将吸收水分，使浓度降低， 因此，其溶液电阻率增高。反之，环境相对湿度变低时，因此，其溶液电阻率增高。反之，环境相对湿度变低时， 则溶液浓度升高，其电阻率下降，从而实现对湿度的测量。则溶液浓度升高，其电阻率下降，从而实现对湿度的测量。 氯化锂湿敏元件的电阻氯化锂湿敏元件的电阻湿度特性曲线如图示。湿度特性曲线如图示。 二、氯化锂湿敏元件二、氯化锂湿敏元件 吸附

10、脱附 15 7.0 6.5 6.0 5.5 5.0 4.5 4.0 405060708090 相对湿度 / %RH 电阻值的对数 / 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 二、氯化锂湿敏元件二、氯化锂湿敏元件 图图7-18 相对湿度计原理框图相对湿度计原理框图 43 2 5 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 三、半导体湿敏元件三、半导体湿敏元件 制造半导体陶瓷敏元件的材料，主要是不同类型的金属氧化物制造半导体陶瓷敏元件的材料，主要是不同类型的金属氧化物 负特性湿敏半导瓷负特性湿敏半导瓷 020406080100 相对湿度 / %R

11、H 106 105 104 103 电阻 / 1 2 3 1ZnOLiO 2V2O5系； 2SiNa 2OV2O5系； 3TiO 2MgOCr2O3系 020406080100 相对湿度 / %RH 80 100 120 140 160 180 200 220 电阻 / FeFe3 3OO4 4半导瓷的正湿敏特性半导瓷的正湿敏特性 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 三、半导体湿敏元件三、半导体湿敏元件 由于水分子中的氢原子具有很强的正电场，当水在半导由于水分子中的氢原子具有很强的正电场，当水在半导 瓷表面吸附时，就有可能从半导瓷表面俘获电子，使半导瓷瓷表面吸附

12、时，就有可能从半导瓷表面俘获电子，使半导瓷 表面带负电表面带负电 如果该半导瓷是型半导体，则由于水分子吸附使表面如果该半导瓷是型半导体，则由于水分子吸附使表面 电势下降，将吸引更多的空穴到达其表面，其表面层的电电势下降，将吸引更多的空穴到达其表面，其表面层的电 阻下降阻下降 1. 负特性湿敏半导体陶瓷的导电机理负特性湿敏半导体陶瓷的导电机理 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 若该半导瓷为型，则由于水分子的附着使表面电势下若该半导瓷为型，则由于水分子的附着使表面电势下 降，如果表面电势下降较多，不仅使表面层的电子耗尽，降，如果表面电势下降较多，不仅使表面层的电子

13、耗尽， 同同 时吸引更多的空穴达到表面层，有可能使到达表面层的空穴浓时吸引更多的空穴达到表面层，有可能使到达表面层的空穴浓 度大于电子浓度，出现所谓表面反型层，这些空穴称为反型载度大于电子浓度，出现所谓表面反型层，这些空穴称为反型载 流子。流子。 它们同样可以在表面迁移而表现出电导特性，使它们同样可以在表面迁移而表现出电导特性，使N型半型半 导瓷材料的表面电阻下降导瓷材料的表面电阻下降 不论是型还是型半导体陶瓷，其电阻率都随湿度的增不论是型还是型半导体陶瓷，其电阻率都随湿度的增 加而下降加而下降 三、半导体湿敏元件三、半导体湿敏元件 1. 负特性湿敏半导体陶瓷的导电机理负特性湿敏半导体陶瓷的导

14、电机理 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 正特性湿敏半导瓷的导电机理的解释可以认为这类正特性湿敏半导瓷的导电机理的解释可以认为这类材材 料的结构、电子能量状态与负特性材料有所不同料的结构、电子能量状态与负特性材料有所不同。当水分。当水分 子附着半导瓷的表面使电势变负时，子附着半导瓷的表面使电势变负时， 导致其表面层电子浓导致其表面层电子浓 度下降，但这还不足以使表面层的空穴浓度增加到出现反度下降，但这还不足以使表面层的空穴浓度增加到出现反 型程度，此时仍以电子导电为主。于是，表面电阻将由于型程度，此时仍以电子导电为主。于是，表面电阻将由于 电子浓度下降而加大，

15、这类半导瓷材料的表面电阻将随湿电子浓度下降而加大，这类半导瓷材料的表面电阻将随湿 度的增加而加大。通常湿敏半导瓷材料都是多孔的，表面度的增加而加大。通常湿敏半导瓷材料都是多孔的，表面 电导占的比例很大，故表面层电阻的升高，电导占的比例很大，故表面层电阻的升高， 必将引起总电必将引起总电 阻值的明显升高。阻值的明显升高。 三、半导体湿敏元件三、半导体湿敏元件 2. 正特性湿敏半导体陶瓷的导电机理正特性湿敏半导体陶瓷的导电机理 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 三、半导体湿敏元件三、半导体湿敏元件 半导体湿敏元件具有较好的热稳定性，较强的抗沾污能力、半导体湿敏元件

16、具有较好的热稳定性，较强的抗沾污能力、 能在恶劣能在恶劣 、易污染的环境中测得准确的湿度数据，而且响应快、易污染的环境中测得准确的湿度数据，而且响应快、 使用温度范围宽（可在使用温度范围宽（可在150以下使用）、可加热清洗等优点，以下使用）、可加热清洗等优点， 实用中占有很重要的地位。实用中占有很重要的地位。 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 三、半导体湿敏元件三、半导体湿敏元件 1.烧结型湿敏电阻烧结型湿敏电阻 其感湿体为其感湿体为MgCrMgCr2 2O O4 4-TiO-TiO2 2（氧化镁（氧化镁 复合氧化物复合氧化物- -二氧化钛）多孔陶瓷。二氧化钛

17、）多孔陶瓷。 MgCrMgCr2 2O O4 4属属P P型半导体，特点是感湿型半导体，特点是感湿 灵敏度适中，电阻率低，阻值湿度特灵敏度适中，电阻率低，阻值湿度特 性好。性好。 由于这种湿敏元件在由于这种湿敏元件在500500左右的左右的 高温短期加热时可去除油污、有机物高温短期加热时可去除油污、有机物 和尘埃等污染，所以在这种湿敏元件的感湿体外往往罩上一层加和尘埃等污染，所以在这种湿敏元件的感湿体外往往罩上一层加 热丝，以便对器件经常进行加热清洗，排除恶劣气氛对器热丝，以便对器件经常进行加热清洗，排除恶劣气氛对器 件的污染。件的污染。器件安装在一种高致密、具有疏水性的陶瓷片底座上。器件安装

18、在一种高致密、具有疏水性的陶瓷片底座上。 为了避免底座上测量电极为了避免底座上测量电极2 2、3 3之间因吸湿和玷污物而引起漏电，之间因吸湿和玷污物而引起漏电， 在测量电极在测量电极2 2、3 3周围设置了短路环。周围设置了短路环。 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 三、半导体湿敏元件三、半导体湿敏元件 2.涂覆膜型涂覆膜型Fe3O4湿敏电阻湿敏电阻 涂覆膜型涂覆膜型Fe3O4湿敏元件，湿敏元件， 一般采用滑石瓷或氧化铝陶瓷一般采用滑石瓷或氧化铝陶瓷 作为元件的基片。在基片上用丝作为元件的基片。在基片上用丝 网印刷技术或真空蒸镀工艺制成网印刷技术或真空蒸镀工艺

19、制成 梳状金电极。将纯净的黑梳状金电极。将纯净的黑Fe3O4 胶粒，用水调制成适当粘度的浆胶粒，用水调制成适当粘度的浆 料，然后将其涂覆在已制备好金料，然后将其涂覆在已制备好金 电极的基片上，经低温烘干后，电极的基片上，经低温烘干后， 引出电圾即可使用，其结构如图引出电圾即可使用，其结构如图 所示。所示。 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 三、半导体湿敏元件三、半导体湿敏元件 2.涂覆膜型涂覆膜型Fe3O4湿敏电阻湿敏电阻 优点：优点：在常温、常湿下性能稳定，在常温、常湿下性能稳定， 有较强的抗结露能力。在有较强的抗结露能力。在 全湿范围内有相当一致的湿敏全湿

20、范围内有相当一致的湿敏 特性。而且其工艺简单，价格特性。而且其工艺简单，价格 便宜。适用于精度要求不高，便宜。适用于精度要求不高， 测湿范围广，工作在室温附近，测湿范围广，工作在室温附近， 无油气及其他污染的场合。无油气及其他污染的场合。 缺点：缺点：有明显的湿滞效应，响应有明显的湿滞效应，响应 缓慢。缓慢。 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 四、热敏电阻式湿敏元件四、热敏电阻式湿敏元件 1.工作原理工作原理 图图7-23 热敏电阻湿度传感器热敏电阻湿度传感器 的电路构成原理的电路构成原理 它是利用潮湿空气和干燥空气它是利用潮湿空气和干燥空气 的热传导之差来测

21、量湿度的。的热传导之差来测量湿度的。 给两个珠形热敏电阻通以电流，给两个珠形热敏电阻通以电流， 自身加热至自身加热至200左右、一个左右、一个 封入干燥空气中（封闭式），封入干燥空气中（封闭式）， 另一个作为湿敏元件，共同组成另一个作为湿敏元件，共同组成 湿度传感器。湿度传感器。 电桥电路如右图。电桥电路如右图。 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 四、热敏电阻式湿敏元件四、热敏电阻式湿敏元件 1.工作原理工作原理 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 四、热敏电阻式湿敏元件四、热敏电阻式湿敏元件 1.工作原理工作原理 图图7-23

22、 热敏电阻湿度传感器热敏电阻湿度传感器 的电路构成原理的电路构成原理 先在干燥空气中调整电桥元件，先在干燥空气中调整电桥元件， 使电桥输出为使电桥输出为0。当暴露在湿空。当暴露在湿空 气中时，由于相应空气含有水蒸气中时，由于相应空气含有水蒸 气，传感元件的电阻气，传感元件的电阻R1发生变发生变 化，从而电桥的平衡被破坏。化，从而电桥的平衡被破坏。 此不平衡电压为绝对湿度的函数。此不平衡电压为绝对湿度的函数。 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 四、热敏电阻式湿敏元件四、热敏电阻式湿敏元件 2.特点特点 灵敏度高且响应速度快（灵敏度高且响应速度快（90%响应，约响

23、应，约12s）；）； 无滞后现象；无滞后现象； 不像干湿球湿度计需要水和纱布及其它维修保养；不像干湿球湿度计需要水和纱布及其它维修保养； 可连续测量（不需加热清洗）；可连续测量（不需加热清洗）； 抗风、油、尘埃能力强。抗风、油、尘埃能力强。 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 五、高分子式湿敏元件五、高分子式湿敏元件 有机高分子材料制成的湿度传感器，主要是利用其吸湿有机高分子材料制成的湿度传感器，主要是利用其吸湿 性与涨缩性。性与涨缩性。 某些高分子电介质吸湿后，介电常数明显改变，制成了某些高分子电介质吸湿后，介电常数明显改变，制成了 电容式湿度传感器；电容式湿

24、度传感器； 某些高分子电解质吸湿后，电阻明显变化，制成了电阻某些高分子电解质吸湿后，电阻明显变化，制成了电阻 式湿度传感器；式湿度传感器； 利用涨缩性高分子（如树脂）材料和导电粒子，在吸利用涨缩性高分子（如树脂）材料和导电粒子，在吸 湿之后的开关特性，制成了结露传感器。湿之后的开关特性，制成了结露传感器。 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 五、高分子式湿敏元件五、高分子式湿敏元件 电容式湿度传感器电容式湿度传感器 电容式高分子湿度传电容式高分子湿度传 感器，其上部多孔质的金感器，其上部多孔质的金 电极可使水分子透过，水电极可使水分子透过，水 的介电常数比较大，

25、室温的介电常数比较大，室温 时约为时约为79。感湿高分子材。感湿高分子材 料的介电常数并不大，当料的介电常数并不大，当 水分子被高分子薄膜吸附水分子被高分子薄膜吸附 时，介电常数发生变化。随着环境湿度的提高，高分子薄膜时，介电常数发生变化。随着环境湿度的提高，高分子薄膜 吸附的水分子增多，因而湿度传感器的电容量增加。所以根吸附的水分子增多，因而湿度传感器的电容量增加。所以根 据电容量的变化可测得相对湿度。据电容量的变化可测得相对湿度。 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 六、金属氧化物陶瓷湿敏元件六、金属氧化物陶瓷湿敏元件 各种湿敏元件所用材料中，金属氧化物系陶

26、瓷材料所具各种湿敏元件所用材料中，金属氧化物系陶瓷材料所具 有的热稳定性受人瞩目，用它制作的湿度传感器具有耐久性有的热稳定性受人瞩目，用它制作的湿度传感器具有耐久性 好、测量范围广、价廉和易变化电信号等特点。好、测量范围广、价廉和易变化电信号等特点。 陶瓷湿度传感器是以稳定的陶瓷湿度传感器是以稳定的Al2O3原料为主体湿敏体，原料为主体湿敏体， 用独特的陶瓷加热器作为清洗机构，组成了一个全固态器件，用独特的陶瓷加热器作为清洗机构，组成了一个全固态器件， 所以是一种小型、耐污垢、可靠性高的传感器。所以是一种小型、耐污垢、可靠性高的传感器。 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器

27、湿敏传感器 湿度传感器的测量电路湿度传感器的测量电路 1 1、电源选择、电源选择 一切电阻式湿度传感器都必须使用交流电源一切电阻式湿度传感器都必须使用交流电源，否则性能，否则性能 会劣化甚至失效。会劣化甚至失效。 电解质湿度传感器的电导是靠离子的移动实现的，在直电解质湿度传感器的电导是靠离子的移动实现的，在直 流电源作用下，正、负离子必然向电源两极运动，产生电流电源作用下，正、负离子必然向电源两极运动，产生电 解作用，使感湿层变薄甚至被破坏；在交流电源作用下，解作用，使感湿层变薄甚至被破坏；在交流电源作用下， 正负离子往返运动，不会产生电解作用，感湿膜不会被破正负离子往返运动，不会产生电解作用

28、，感湿膜不会被破 坏。坏。 交流电源的频率选择是，在不产生正、负离子定向积累交流电源的频率选择是，在不产生正、负离子定向积累 情况下尽可能低一些。在高频情况下，测试引线的容抗明情况下尽可能低一些。在高频情况下，测试引线的容抗明 显下降，会把湿敏电阻短路。另外，湿敏膜在高频下也会显下降，会把湿敏电阻短路。另外，湿敏膜在高频下也会 产生集肤效应，阻值发生变化，影响到测湿灵敏度和准确产生集肤效应，阻值发生变化，影响到测湿灵敏度和准确 性。性。 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 2 2温度补偿温度补偿 湿度传感器具有正或负的温度系数，其温度系数大小不一，湿度传感器具有

29、正或负的温度系数，其温度系数大小不一， 工作温区有宽有窄。所以要考虑温度补偿问题。工作温区有宽有窄。所以要考虑温度补偿问题。 对于半导体陶瓷传感器，其电阻与温度的的关系一般为指数对于半导体陶瓷传感器，其电阻与温度的的关系一般为指数 函数关系，通常其温度关系属于函数关系，通常其温度关系属于NTCNTC型，即型，即 AH T B RRexp 0 HH：相对湿度；：相对湿度； T T：绝对温度；：绝对温度； R R0 0：在：在T=0T=0相对湿度相对湿度H H=0=0时的阻值；时的阻值； A A：湿度常数；：湿度常数；B B：温度常数。：温度常数。 温度系数 2 1 T B T R R 湿度系数A

30、 H R R 1 湿度温度系数2 AT B T H 湿度系数 温度系数 湿度传感器的测量电路湿度传感器的测量电路 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 温度系数 2 1 T B T R R 湿度系数A H R R 1 湿度温度系数 2 AT B T H 湿度系数 温度系数 若传感器的湿度温度系数为若传感器的湿度温度系数为0.07RH/，工作温度差为，工作温度差为 30，测量误差为，测量误差为0.21RH/，则不必考虑温度补偿；，则不必考虑温度补偿； 若湿度温度系数为若湿度温度系数为0.4RH/，则引起，则引起12RH/的误差的误差, , 必须进行温度补偿。必须进行

31、温度补偿。 2 2温度补偿温度补偿 湿度传感器的测量电路湿度传感器的测量电路 第七章 气敏、湿敏、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 3 3线性化线性化 湿度传感器的感湿特征量与相对湿度之间的关系不是线性的，湿度传感器的感湿特征量与相对湿度之间的关系不是线性的， 这给湿度的测量、控制和补偿带来了困难。需要通过一种变换这给湿度的测量、控制和补偿带来了困难。需要通过一种变换 使感湿特征量与相对湿度之间的关系线性化。下图为湿度传感使感湿特征量与相对湿度之间的关系线性化。下图为湿度传感 器测量电路原理框图。器测量电路原理框图。 湿度传感器的测量电路湿度传感器的测量电路 第七章 气敏、湿敏、

32、水份传感器 第二节第二节 湿敏传感器湿敏传感器 水份是在谷物、木材等交易时应掌握的一项指标，也是水份是在谷物、木材等交易时应掌握的一项指标，也是 掌握其保存状态和质量管理的指标。水份就是存在于物质中掌握其保存状态和质量管理的指标。水份就是存在于物质中 的水的数量，以百分比表示，从根本上说，它可以用干燥法的水的数量，以百分比表示，从根本上说，它可以用干燥法 等重量测定方法求得。可是，在进行交易时，在制造工序和等重量测定方法求得。可是，在进行交易时，在制造工序和 检查工序中必须迅速或连续地进行测定，故有必要开发研究检查工序中必须迅速或连续地进行测定，故有必要开发研究 把水分量（或含水量）转换成电信号进行测定和表示等的各把水分量（或含水量）转换成电信号进行测定和表示等的各 种检测用传感器及其装置。种检测用传感器及其