真空退火炉工安全技术操作规程_第1页
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文档简介

1、if you want to live an ordinary life, you will encounter ordinary setbacks.勤学乐施天天向上（页眉可删）真空退火炉工安全技术操作规程 1.先送水源,检查水源是否畅通,水压0.lmpa,否则不准开炉。2.合上总电源,再合上操作电源。1.开机械泵,分别打开1号、2号闸门。2.合上真空计总电源,接通热电偶电源,调整好加热电流(电流调为128a)测量真空度。电流为22ma时真空度为10-1torr(13.3pa);电流为84ma时真空度为10-2torr(1.33pa);电流为98ma时真空度为10-3torr(0.133pa)

2、；电流为10oma时真空度为10-4torr(0.0133pa)。5.真空度高于1.33pa以后,打开3号真空阀,使扩散泵内的真空度也达到1.33pa以上。6.扩散泵送电加热,约40min以后,泵油加热蒸发,这时关闭2号真空阀,然后再打开高真空阀。7.真空度高于0.133pa后关闭热电偶电源,打开电离计电源,用电离计测量真空度。8.把电子电位差计的定针调到要求的温度值,把pid调整到规定的比例带和积分、微分时间(比例带为40%150%,积分时间为62.5min,微分时间为54min)9.把电路电源手动给定旋钮调到最小,开关打到自动位置,把pid调节器的手动调到最小,开关打到手动位置,并接通pid电源。10.电炉送电,调整pid的手动,使三相电流表的输出指示基本均衡在3070a。11.待炉温接近给定值时,把pid的炉温控制从手动打到自动以便进行自动控制。12.保温时间满足要求后,如工艺要求随炉冷却,可关闭电炉电源。如工艺要求控制冷却,即把pid由自动打到手动,靠手动调节冷却。13.350以上不准关闭水源和真空系统,关闭扩散泵时,必须首先关闭高真空阀,然后关闭3号真空阀,打开2号真空阀。14.关闭机械泵时,先关闭2号真空阀,再关闭电源。15.炉温高于150时,不准放气和打开炉盖。16.工作过程中一定要严格遵守上述安全技术操作规程,不准脱离岗位,经常

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