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文档简介

1、深超光电(深圳)有限公司诚 正 速 俭 CTC 深超光电(深圳)有限公司 潔淨室微振說明潔淨室微振說明 2016-02016-07 7- -1616 深超光电(深圳)有限公司诚 正 速 俭 課程大綱課程大綱 一、何為振動 二、振動與潔淨室之關係 三、防振基座介紹 深超光电(深圳)有限公司诚 正 速 俭 CTC 依時域特性區分依時域特性區分 深超光电(深圳)有限公司诚 正 速 俭 CTC 依振幅區分依振幅區分 (位移量) 深超光电(深圳)有限公司诚 正 速 俭 CTC 深超光电(深圳)有限公司诚 正 速 俭 CTC 廠區的振動來源廠區的振動來源 廠內振動來源廠外振動來源廠外振動來源 深超光电(深

2、圳)有限公司诚 正 速 俭 CTC 如何克服這些振動？如何克服這些振動？ 深超光电(深圳)有限公司诚 正 速 俭 CTC 型式說 明備 註 (A)、鋼板及補強腳、鋼板及補強腳 機台無振動或剛性需求，但重量稍重，以鋼板或輕 重型補強腳座分散機台重量。(補強高架地板強度的 不足) 如:一般輕型機台 (B)、荷重隔離基座、荷重隔離基座 機台本身會產生振動或本身重量很重，高架地板無 法承受，必須拆除高架地板設置鋼結構基座。(原高 架地板需拆除) 如:曝光機 機械手臂(Robot) (C)、水泥隔離基座、水泥隔離基座 機台本身對於微振動(位移)特別敏感，必須拆除高 架地板,以水泥基座來達到最佳的隔振效果

3、。 (原高 架地板需拆除) 如:檢查機 防振基座之分類 克服人員站立海灘克服人員站立海灘 克服房屋建置海灘克服房屋建置海灘 克服望遠鏡建置海灘克服望遠鏡建置海灘 深超光电(深圳)有限公司诚 正 速 俭 CTC 重型腳座重型腳座 輕型腳座輕型腳座 鋼板分散板鋼板分散板 防振基座之分類A - 鋼板分散板及補強腳座鋼板分散板及補強腳座 適用於機台無振動或剛性需求適用於機台無振動或剛性需求,但但 重量稍重時使用重量稍重時使用 克服人員站立海灘克服人員站立海灘 深超光电(深圳)有限公司诚 正 速 俭 CTC 防振基座之分類 機台有振動需求或本身重量很重機台有振動需求或本身重量很重，需，需 要作隔離平台與

4、高架地板作區隔。要作隔離平台與高架地板作區隔。 B - 荷重隔離基座荷重隔離基座 克服房屋建置海灘克服房屋建置海灘 深超光电(深圳)有限公司诚 正 速 俭 CTC 防振基座之分類C - 水泥隔離基座水泥隔離基座 C TYPE 側視圖側視圖 C TYPE 立體圖立體圖 對於微振動位移極為敏感的機台對於微振動位移極為敏感的機台 ，以水泥基座來達到最佳的隔振，以水泥基座來達到最佳的隔振 效果效果( (抗低頻效果佳抗低頻效果佳) )。 克服望遠鏡建置海灘克服望遠鏡建置海灘 深超光电(深圳)有限公司诚 正 速 俭 CTC C - 水泥隔離基座水泥隔離基座 此基座型式適合對於微振動極為敏感的機台，防止其他外部振動源此基座型式適合對於微振動極為敏感的機台，防止其他外部振動源 傳遞進來。傳遞進來。 如：檢測機台，高精度製成機台

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