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文档简介

1、真空技术基础(二) Fundamentals of Vacuum Techniques (II) 1 Gas Transport under Normal Pressure Basic Concepts 平 衡 态:宏观物理量随时间不变,随空间分布均匀; 非平衡态:宏观物理量随时间变化,随空间分布不均匀; 典型的宏观物理量:温度(temperature)、流速(current velocity)、密度(mass density)等,这些量分别与能量、动量、 质量等相关,也是我们关注最多的量。 Transport(迁移现象): 在没有外界作用的情况下,物理量的空间分布不均匀性会 由于热运动的结果

2、而最终趋于均匀,也就是达到平衡态; 如果有外界的作用,那么容易实现稳态的物理量的随空间 的不均匀分布。实际的例子如散热器、真空泵等。 在非平衡态下,气体各部分之间物理量不等,其中发生的 相互传送、交换等过程就叫做迁移现象或者输运过程。 不仅在真空技术的研究中,而且在材料科学很多领域的研 究中本质的问题都是在探讨某种粒子的迁移现象的规律和机制。 Type and characteristics of Transports: 1.粘滞性(viscosity) 气体,确切说是流体的各部分的运度速度不相等而造成的一种摩擦效应, 输运的物理量是动量; 2.热传导(heat conduction) 气体各

3、部分的温度不同,有温度梯度,从而造成的热量的传递,输运的物 理量是能量; 3.扩散(diffusion) 气体各部分的密度不相等,存在质量梯度,从而造成的质量的传递,输运 的物理量是质量; 4.热扩散或者热流逸(thermal transpiration) 气体各部分温度不等,从而导致的分子从一个地方传输到另一个地方,输 运的物理量是质量。 Vacuum and Transport: 在真空技术中,对于气体的输运性质的研究是非常重要的。一方面,真空 度不同,气体输运的特征不同;另一方面,为了获得预计的真空,需要仔 细分析气体输运的特点。 基本的特点是: 高压: 气体稠密,气体分子间碰撞频繁,与

4、器壁碰撞可以忽略; 中压: 气体稀薄,分子间碰撞少,与器壁碰撞重要; 低压: 气体非常稀薄,分子间碰撞可以忽略,与器壁碰撞是主要的。 d d d Transport Equation: 若一个物理量g 在空间的分布不均匀,由于分子的热运动, 该物理量会由高浓度地方向低浓度地方迁移,在单位时间内经 过面积ds迁移量是: 考虑Maxwell Distribution Law,有 0 1( ) 3 z z g z dvnds z 0 ( ) 0.499z z g z dvnds z Gas Internal fraction(气体内摩 擦) 现象的描述:气体或者流体各部分的 速度不同,使得运动快的速

5、度降低, 而运动慢的速度提高,各层之间有摩 擦力存在。又叫作粘滞现象。显然各 层之间输运的物理量是动量。 Viscous Equation: 0 ()1 3 1 = 3 1 3 mv dLvnds z vv vdsds zz v 关于粘滞方程: 1、粘滞系数与气体的摩尔质量的平方根成正比; 2、粘滞系数随温度增加而增加; 3、常压下,粘滞系数与气体密度无关; 4、中压和低压下,气体分子间碰撞不是主要的矛盾,导致粘 滞系数与压力相关; Gas Thermal Conduction: 热传导中传递的物理量是能量E,满足: Thermal Conduction Equation: v A c Tco

6、nst E N 0 0 1 () 3 () 1 3 v z z A z z v A cT dQnvds Nz T Kds z c Knv N Special Case: 平行板的热传导公式: 同心圆筒的热传导公式: 21 : Area of board; d: distance of board; T: Temperature of board TT QKS d S 12 2 1 2 ln : Length of cylinder; r: radius of cylinder TT QKL r r L 关于气体热传导方程: 1、气体热导率与温度相关; 2、常压下气体热导率与压力无关; 3、中压

7、和低压下,由于气体分子间碰撞不是很重要,气体与 器壁的碰撞成为主要考虑的因素,所以K与压力有关; Gas Diffusion 气体的扩散是由于气体各部分密度不同 而产生的,由于气体的热运动,使得气 体沿着浓度梯度方向移动,发生了质量 的迁移; 扩散分为两种:自扩散(self-diffusion) 和互扩散(inter-diffusion)。 扩散的根源是密度的不均匀,它不是气 体所特有的性质,一切物质只要存在浓 度梯度就可以扩散。 Self-diffusion Equation: Inter-diffusion Equation: 0 () 1 D= 3 zz n dNDds z v 12 2

8、21 1 1 22 1 12 1 11 12 22 2 ii 11 ; 33 n , and v are the number density of molecules, mean free path and average speed of i compentent, especially. i nDn D DD nn DvDv 2 Gas Transport under Middle and Low Pressure 中压下的滑动现象 中压意味着气体分子平均自由程与器壁的尺度差不多,此时分 子间碰撞的机会少,与器壁的碰撞是主要的。气体分子间碰撞 交换的动量有限。气体在容器内部的速度分布是线性的。更为 重要的是靠近器壁的气体分子速度与器壁速度不同,出现了速 度突变,这个现象叫做滑动现象。 滑动现象的有关结论: dv v dz outerouteroute

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