压电传感器参考课件

1、压电传感器参考课件 是以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下，是以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下， 在电介质的表面上产生电荷，从而实现非电量测量。在电介质的表面上产生电荷，从而实现非电量测量。 压电传感元件是力敏感元件，所以它能测量最终能压电传感元件是力敏感元件，所以它能测量最终能 变换为力的那些物理量，例如力、压力、加速度等。变换为力的那些物理量，例如力、压力、加速度等。 压电式传感器具有响应频带宽、灵敏度高、信噪比压电式传感器具有响应频带宽、灵敏度高、信噪比 大、结构简单、工作可靠、重量轻等优点。近年来，由大、结构简单、工作可靠、重量轻等优点。近年来，由 于电子技术的飞速发展

2、，随着与之配套的二次仪表以及于电子技术的飞速发展，随着与之配套的二次仪表以及 低噪声、小电容、高绝缘电阻电缆的出现，使压电传感低噪声、小电容、高绝缘电阻电缆的出现，使压电传感 器的使用更为方便。因此，在工程力学、生物医学、石器的使用更为方便。因此，在工程力学、生物医学、石 油勘探、声波测井、电声学等许多技术领域中获得了广油勘探、声波测井、电声学等许多技术领域中获得了广 泛的应用。泛的应用。 第四节第四节 压电式传感器压电式传感器 压电传感器参考课件 一、压电效应一、压电效应 正压电效应正压电效应（顺压电效应顺压电效应）：某些电介质，当沿着某些电介质，当沿着 一定方向一定方向对其施力而使它变形时

3、，内部就产生极化现象，对其施力而使它变形时，内部就产生极化现象， 同时在它的同时在它的一定表面一定表面上产生电荷，当外力去掉后，又重上产生电荷，当外力去掉后，又重 新恢复不带电状态的现象。当作用力方向改变时，电荷新恢复不带电状态的现象。当作用力方向改变时，电荷 极性也随着改变。极性也随着改变。 逆压电效应逆压电效应（电致伸缩效应电致伸缩效应）：当在电介质的）：当在电介质的极化极化 方向方向施加电场，这些电介质就在施加电场，这些电介质就在一定方向一定方向上产生机械变上产生机械变 形或机械压力，当外加电场撤去时，这些变形或应力也形或机械压力，当外加电场撤去时，这些变形或应力也 随之消失的现象。随之

4、消失的现象。 电能电能机械能机械能 正压电效应正压电效应 逆压电效应逆压电效应 压电传感器参考课件 （一）石英晶体的压电效应（一）石英晶体的压电效应 天然结构石英晶体的理想外形是一个正六面体，在晶体天然结构石英晶体的理想外形是一个正六面体，在晶体 学中它可用三根互相垂直的轴来表示，其中纵向轴学中它可用三根互相垂直的轴来表示，其中纵向轴Z Z称为称为光轴光轴；经过正六面体棱线，并垂直于光轴的；经过正六面体棱线，并垂直于光轴的XX 轴称为轴称为电轴电轴；与；与XX轴和轴和ZZ轴同时垂直的轴同时垂直的YY轴轴 （垂直于正六面体的棱面）称为（垂直于正六面体的棱面）称为机械轴机械轴。 Z X Y (a)

5、(b) 石英晶体 (a)理想石英晶体的外形 (b)坐标系 Z Y X 通常把沿电轴通常把沿电轴XX方向方向 的力作用下产生电荷的的力作用下产生电荷的 压电效应称为压电效应称为“纵向压纵向压 电效应电效应”，而把沿机械，而把沿机械 轴轴YY方向的力作用下方向的力作用下 产生电荷的压电效应称产生电荷的压电效应称 为为“横向压电效应横向压电效应”， 沿光轴沿光轴ZZ方向受力则方向受力则 不产生压电效应。不产生压电效应。 压电传感器参考课件 石英晶体具有压电效应，是由其内部结构决定的。石英晶体具有压电效应，是由其内部结构决定的。 组成石英晶体的硅离子组成石英晶体的硅离子Si4+和氧离子和氧离子O2-在

6、在Z平面投影，平面投影， 如图如图(a)。为讨论方便，将这些硅、氧离子等效为图。为讨论方便，将这些硅、氧离子等效为图(b) 中正六边形排列，图中中正六边形排列，图中“”代表代表Si4+，“”代表代表 2O2-。 (b)(a) + + - - - Y X X Y 硅氧离子的排列示意图 (a) 硅氧离子在Z平面上的投影 （b）等效为正六边形排列的投影 + 压电传感器参考课件 当作用力当作用力FX=0时，正、负离子时，正、负离子 （即（即Si4+和和2O2-）正好分布在正六边形）正好分布在正六边形 顶角上，形成三个互成顶角上，形成三个互成120 夹角的偶夹角的偶 极矩极矩P1、P2、P3，如图（，如

7、图（a）所示。此）所示。此 时正负电荷中心重合，电时正负电荷中心重合，电偶极矩的矢偶极矩的矢 量和等于零，即量和等于零，即 P1P2P30 当晶体受到沿当晶体受到沿X方向的压力（方向的压力（FX0 在在Y、Z方向上的分量为方向上的分量为 （P1+P2+P3）Y=0 （P1+P2+P3）Z=0 由上式看出，在由上式看出，在X轴的正向出现正电轴的正向出现正电 荷，在荷，在Y、Z轴方向则不出现电荷。轴方向则不出现电荷。 Y + + + - - - X (a) FX=0 P1 P2 P3 FX X Y + + + + FX (b) FX0 + + + - - - P1 P2 P3 压电传感器参考课件

8、可见，当晶体受到沿可见，当晶体受到沿X(电轴电轴)方向的力方向的力FX作用时，它在作用时，它在X 方向产生正压电效应，而方向产生正压电效应，而Y、Z方向则不产生压电效应。方向则不产生压电效应。 晶体在晶体在Y轴方向力轴方向力FY作用下的情况与作用下的情况与FX相似。当相似。当FY0 时，晶体的形变与图（时，晶体的形变与图（b）相似；当）相似；当FY0时，则与图时，则与图 （c）相似。由此可见，晶体在）相似。由此可见，晶体在Y（即机械轴）方向的力（即机械轴）方向的力 FY作用下，使它在作用下，使它在X方向产生正压电效应，在方向产生正压电效应，在Y、Z方向方向 则不产生压电效应。则不产生压电效应。

9、 （P1+P2+P3）X0 Y + + + - - X - + + + FX FX P2 P3P1 + 当晶体受到沿当晶体受到沿X方向的拉力（方向的拉力（FX0）作用时，其变化）作用时，其变化 情况如图（情况如图（c）。此时电极矩的三个分量为）。此时电极矩的三个分量为 在在X轴的正向出现负电荷，在轴的正向出现负电荷，在Y、Z方向则不出现电荷。方向则不出现电荷。 压电传感器参考课件 晶体在晶体在Z轴方向力轴方向力FZ的作用下，因为晶体沿的作用下，因为晶体沿X方向和方向和 沿沿Y方向所产生的方向所产生的正应变正应变完全相同，所以，正、负电荷完全相同，所以，正、负电荷 中心保持重合，电偶极矩矢量和等

10、于零。这就表明，沿中心保持重合，电偶极矩矢量和等于零。这就表明，沿 Z(即光轴即光轴)方向的力方向的力FZ作用下，晶体不产生压电效应。作用下，晶体不产生压电效应。 假设从石英晶体上切下一片平行六面体假设从石英晶体上切下一片平行六面体晶体切晶体切 片，使它的晶面分别平行于片，使它的晶面分别平行于X、Y、Z轴，如图。并在垂轴，如图。并在垂 直直X轴方向两面用真空镀膜或沉银法得到电极面。轴方向两面用真空镀膜或沉银法得到电极面。 当晶片受到沿当晶片受到沿X轴方向轴方向 的压缩应力的压缩应力XX作用时，晶作用时，晶 片将产生厚度变形，并发片将产生厚度变形，并发 生极化现象。在晶体线性生极化现象。在晶体线

11、性 弹性范围内，弹性范围内，极化强度极化强度PXX 与应力与应力XX成正比，成正比，即即 Z Y X b l 石英晶体切片 t 压电传感器参考课件 式中式中 FXX轴方向的电场强度；轴方向的电场强度； d11压电系数，当受力方向和变形不同时，压电系数也压电系数，当受力方向和变形不同时，压电系数也 不同，石英晶体不同，石英晶体d11=2.310-12CN-1； l、b石英晶片的长度和宽度。石英晶片的长度和宽度。 极化强度极化强度PXX在数值上等于晶面上的电荷密度，即在数值上等于晶面上的电荷密度，即 式中式中 q qX X垂直于垂直于X X轴平面上的电荷。轴平面上的电荷。 将上两式整理，得将上两式

12、整理，得 lb F ddP X XXXX1111 lb q P X XX 式中式中 电极面间电容。电极面间电容。 XX Fdq 11 X X X X X C F d C q U 11 t lb C r X 0 其极间电压为其极间电压为 压电传感器参考课件 根据逆压电效应，晶体在根据逆压电效应，晶体在X轴方向将产生伸缩，即轴方向将产生伸缩，即 或用应变表示，则或用应变表示，则 式中式中 EXX轴方向上的电场强度。轴方向上的电场强度。 在在X轴方向施加压力时，左旋石英晶体的轴方向施加压力时，左旋石英晶体的X轴正向轴正向 带正电；如果作用力带正电；如果作用力FX改为拉力，则在垂直于改为拉力，则在垂直

13、于X轴的平轴的平 面上仍出现等量电荷，但极性相反，见图面上仍出现等量电荷，但极性相反，见图( (a) )、( (b) )。 X X Ed t U d t t 1111 FXFX + + + + + + (a)(b) XX t=d11UX 压电传感器参考课件 如果在同一晶片上作用力是沿着机械轴的方向，其如果在同一晶片上作用力是沿着机械轴的方向，其 电荷仍在与电荷仍在与X轴垂直平面上出现，其极性见图（轴垂直平面上出现，其极性见图（c）、）、 （d），此时电荷的大小为），此时电荷的大小为 + + + + + + + + (c)(d) FY FY XX YYXY F t l dF tb lb dq 1

14、212 式中式中 d12石英晶体在石英晶体在Y轴方向受力时的压电系数。轴方向受力时的压电系数。 根据石英晶体轴对称条件：根据石英晶体轴对称条件：d11=d12，则上式为，则上式为 式中式中 t晶片厚度。晶片厚度。 则其极间电压为则其极间电压为 YXY F t l dq 12 X Y X XY X C F t l d C q U 11 压电传感器参考课件 根据逆压电效应，晶片在根据逆压电效应，晶片在Y轴方向将产生伸缩变形，即轴方向将产生伸缩变形，即 或用应变表示或用应变表示 由上述可知：由上述可知： 无论是正或逆压电效应，其作用力（或应变）与无论是正或逆压电效应，其作用力（或应变）与 电荷（或电

15、场强度）之间呈线性关系；电荷（或电场强度）之间呈线性关系； 晶体在哪个方向上有正压电效应，则在此方向上晶体在哪个方向上有正压电效应，则在此方向上 一定存在逆压电效应；一定存在逆压电效应； 石英晶体不是在任何方向都存在压电效应的。石英晶体不是在任何方向都存在压电效应的。 X U t l dl 11 X Ed l l 11 压电传感器参考课件 （二）（二） 压电陶瓷的压电效应压电陶瓷的压电效应 压电陶瓷属于铁电体一类的物质，是人工制造的多压电陶瓷属于铁电体一类的物质，是人工制造的多 晶压电材料，它具有类似铁磁材料磁畴结构的电畴结构。晶压电材料，它具有类似铁磁材料磁畴结构的电畴结构。 电畴是分子自发

16、形成的区域，它有一定的极化方向，从电畴是分子自发形成的区域，它有一定的极化方向，从 而存在一定的电场。在无外电场作用时，各个电畴在晶而存在一定的电场。在无外电场作用时，各个电畴在晶 体上杂乱分布，它们的极化效应被相互抵消，因此原始体上杂乱分布，它们的极化效应被相互抵消，因此原始 的压电陶瓷内极化强度为零，见图（的压电陶瓷内极化强度为零，见图（a）。）。 直流电场E 剩余极化强度 剩余伸长 电场作用下的伸长 (a)极化处理前(b)极化处理中(c)极化处理后 压电传感器参考课件 但是，当把电压表接到陶瓷片的两个电极上进行测量时但是，当把电压表接到陶瓷片的两个电极上进行测量时 ，却无法测出陶瓷片内部

17、存在的极化强度。这是因为陶，却无法测出陶瓷片内部存在的极化强度。这是因为陶 瓷片内的极化强度总是以瓷片内的极化强度总是以电偶极矩电偶极矩的形式表现出来，即的形式表现出来，即 在陶瓷的一端出现正束缚电荷，另一端出现负束缚电荷在陶瓷的一端出现正束缚电荷，另一端出现负束缚电荷 。由于束缚电荷的作用，在陶瓷片的电极面上吸附了一。由于束缚电荷的作用，在陶瓷片的电极面上吸附了一 层来自外界的自由电荷。这些自由电荷与陶瓷片内的束层来自外界的自由电荷。这些自由电荷与陶瓷片内的束 缚电荷符号相反而数量相等，它起着屏蔽和抵消陶瓷片缚电荷符号相反而数量相等，它起着屏蔽和抵消陶瓷片 内极化强度对外界的作用。所以电压表

18、不能测出陶瓷片内极化强度对外界的作用。所以电压表不能测出陶瓷片 内的极化程度，如图。内的极化程度，如图。 自由电荷 束缚电荷 电极 电极 极化方向 陶瓷片内束缚电荷与电极上吸附 的自由电荷示意图 压电传感器参考课件 如果在陶瓷片上加一个与极化方向平行的压力如果在陶瓷片上加一个与极化方向平行的压力F， 如图，陶瓷片将产生压缩形变（图中虚线），片内的正、如图，陶瓷片将产生压缩形变（图中虚线），片内的正、 负束缚电荷之间的距离变小，极化强度也变小。因此，负束缚电荷之间的距离变小，极化强度也变小。因此， 原来吸附在电极上的自由电荷，有一部分被释放，而出原来吸附在电极上的自由电荷，有一部分被释放，而出

19、现放电荷现象。当压力撤消后，陶瓷片恢复原状现放电荷现象。当压力撤消后，陶瓷片恢复原状( (这是这是 一个膨胀过程一个膨胀过程) )，片内的正、负电荷之间的距离变大，片内的正、负电荷之间的距离变大， 极化强度也变大，因此电极上又吸附一部分自由电荷而极化强度也变大，因此电极上又吸附一部分自由电荷而 出现充电现象。这种由机械效应转变为电效应，或者由出现充电现象。这种由机械效应转变为电效应，或者由 机械能转变为电能的现象，就是正压电效应。机械能转变为电能的现象，就是正压电效应。 极化方向 正压电效应示意图 （实线代表形变前的情况，虚线 代表形变后的情况） F 压电传感器参考课件 同样，若在陶瓷片上加一

20、个与极化方向相同的电场，同样，若在陶瓷片上加一个与极化方向相同的电场， 如图，由于电场的方向与极化强度的方向相同，所以电如图，由于电场的方向与极化强度的方向相同，所以电 场的作用使极化强度增大。这时，陶瓷片内的正负束缚场的作用使极化强度增大。这时，陶瓷片内的正负束缚 电荷之间距离也增大，就是说，陶瓷片沿极化方向产生电荷之间距离也增大，就是说，陶瓷片沿极化方向产生 伸长形变（图中虚线）。同理，如果外加电场的方向与伸长形变（图中虚线）。同理，如果外加电场的方向与 极化方向相反，则陶瓷片沿极化方向产生缩短形变。这极化方向相反，则陶瓷片沿极化方向产生缩短形变。这 种由于电效应而转变为机械效应或者由电能

21、转变为机械种由于电效应而转变为机械效应或者由电能转变为机械 能的现象，就是逆压电效应。能的现象，就是逆压电效应。 逆压电效应示意图 （实线代表形变前的情况， 虚线代表形变后的情况） 极化 方向 电场方向 压电传感器参考课件 由此可见，压电陶瓷所以具有压电效应，是由于陶由此可见，压电陶瓷所以具有压电效应，是由于陶 瓷内部存在瓷内部存在自发极化自发极化。这些自发极化经过极化工序处理。这些自发极化经过极化工序处理 而被迫取向排列后，陶瓷内即存在剩余极化强度。如果而被迫取向排列后，陶瓷内即存在剩余极化强度。如果 外界的作用（如压力或电场的作用）能使此极化强度发外界的作用（如压力或电场的作用）能使此极化

22、强度发 生变化，陶瓷就出现压电效应。此外，还可以看出，陶生变化，陶瓷就出现压电效应。此外，还可以看出，陶 瓷内的瓷内的极化电荷是束缚电荷极化电荷是束缚电荷，而不是自由电荷，这些束，而不是自由电荷，这些束 缚电荷不能自由移动。所以在陶瓷中产生的放电或充电缚电荷不能自由移动。所以在陶瓷中产生的放电或充电 现象，是通过陶瓷内部极化强度的变化，引起电极面上现象，是通过陶瓷内部极化强度的变化，引起电极面上 自由电荷的释放或补充的结果。自由电荷的释放或补充的结果。 压电传感器参考课件 二、压电材料二、压电材料 种类种类： n压电晶体，如石英等；压电晶体，如石英等； n压电陶瓷，如钛酸钡、锆钛酸铅等；压电陶

23、瓷，如钛酸钡、锆钛酸铅等； n压电半导体，如硫化锌、碲化镉等。压电半导体，如硫化锌、碲化镉等。 对压电材料特性要求：对压电材料特性要求： 转换性能。要求具有较大压电常数。转换性能。要求具有较大压电常数。 机械性能。压电元件作为受力元件，希望它的机机械性能。压电元件作为受力元件，希望它的机 械强度高、刚度大，以期获得宽的线性范围和高的固有械强度高、刚度大，以期获得宽的线性范围和高的固有 振动频率。振动频率。 电性能。希望具有高电阻率和大介电常数，以减电性能。希望具有高电阻率和大介电常数，以减 弱外部分布电容的影响并获得良好的低频特性。弱外部分布电容的影响并获得良好的低频特性。 环境适应性强。温度

24、和湿度稳定性要好，要求具环境适应性强。温度和湿度稳定性要好，要求具 有较高的居里点，获得较宽的工作温度范围。有较高的居里点，获得较宽的工作温度范围。 时间稳定性。要求压电性能不随时间变化。时间稳定性。要求压电性能不随时间变化。 压电传感器参考课件 （一）（一） 石英晶体石英晶体 石英（石英（SiO2）是一种具有良好压电特性的压电晶体。）是一种具有良好压电特性的压电晶体。 其介电常数和压电系数的温度稳定性相当好，在常温范其介电常数和压电系数的温度稳定性相当好，在常温范 围内这两个参数几乎不随温度变化，如下两图。围内这两个参数几乎不随温度变化，如下两图。 由图可见，在由图可见，在20200范围内，

25、温度每升高范围内，温度每升高1， 压电系数仅减少压电系数仅减少0.016。但是当到。但是当到573时，它完全失时，它完全失 去了压电特性，这就是它的去了压电特性，这就是它的居里点居里点。 1.00 0.99 0.98 0.97 0.96 0.95 20406080 100 120 140 160 180 200 dt / d20 斜率： 0.016/ t 石英的d11系数系数相对于20的d11温度变化 特性 6 5 4 3 2 1 0 100 200 300400 500 600 t/ 相 对 介 电 常 数 居里点 石英在高温下相对介电常数相对介电常数 的温度特性 压电传感器参考课件 石英晶

26、体的突出优点是性能非常稳定，机械强度高，石英晶体的突出优点是性能非常稳定，机械强度高， 绝缘性能也相当好。但石英材料价格昂贵，且压电系数绝缘性能也相当好。但石英材料价格昂贵，且压电系数 比压电陶瓷低得多。因此一般仅用于比压电陶瓷低得多。因此一般仅用于标准仪器标准仪器或要求较或要求较 高的传感器中。高的传感器中。 因为石英是一种各向异性晶体，因此，按不同方向因为石英是一种各向异性晶体，因此，按不同方向 切割的晶片，其物理性质（如弹性、压电效应、温度特切割的晶片，其物理性质（如弹性、压电效应、温度特 性等）相差很大。为了在设计石英传感器时，根据不同性等）相差很大。为了在设计石英传感器时，根据不同

27、使用要求正确地选择石英片的切型。使用要求正确地选择石英片的切型。 石英晶片的切型符号表示方法：石英晶片的切型符号表示方法： uIRE标准规定的切型符号表示法；标准规定的切型符号表示法； u习惯符号表示法。习惯符号表示法。 压电传感器参考课件 IRE标准规定的切型符号包括一组字母（标准规定的切型符号包括一组字母（X、Y、Z、 t、l、b）和角度。用）和角度。用X、Y、Z中任意两个字母的中任意两个字母的先后排先后排 列顺序列顺序，表示石英晶片，表示石英晶片厚度厚度和和长度长度的的原始方向原始方向；用字母；用字母 t（厚度）、（厚度）、l（长度）、（长度）、b（宽度）表示旋转轴的位置。（宽度）表示旋

28、转轴的位置。 当角度为正时当角度为正时, ,表示逆时针旋转；当角度为负时表示逆时针旋转；当角度为负时, ,表示顺表示顺 时针旋转。例如：时针旋转。例如：( (YXl) )35 切型，其中第一个字母切型，其中第一个字母Y表表 示石英晶片在原始位置示石英晶片在原始位置( (即旋转前的位置即旋转前的位置) )时的厚度时的厚度 Z Z O O Y Y Z X X 35 (a)(b) （YXl）35切型 （a）石英晶片原始位置 （b）石英晶片的切割方位 沿沿Y轴方向，第二个字母轴方向，第二个字母 X表示石英晶片在原始位表示石英晶片在原始位 置时的长度沿置时的长度沿X轴方向，轴方向， 第三个字母第三个字母

29、l和角度和角度35 表表 示石英晶片绕长度逆时示石英晶片绕长度逆时 针旋转针旋转35 ，如图。，如图。 Y 压电传感器参考课件 又如（又如（XYtl）5 /- -50 切型，它表示石英晶片原始位置的切型，它表示石英晶片原始位置的 厚度沿厚度沿X轴方向，长度沿轴方向，长度沿Y轴方向，先绕厚度轴方向，先绕厚度t逆时针旋逆时针旋 转转5 ，再绕长度，再绕长度l顺时针旋转顺时针旋转50 ，如图。，如图。 习惯符号表示法是石英晶体习惯符号表示法是石英晶体特有特有的表示法，它由两的表示法，它由两 个大写的英文字母组成。例如，个大写的英文字母组成。例如，AT、BT、CT、DT、 NT、MT和和FC等。等。

30、O O 50 Z Z Z Y Y 5 Z X Y (a)石英晶片原始位置(b)石英晶片的切割方位 压电传感器参考课件 （二）（二） 压电陶瓷压电陶瓷 1 1、 钛酸钡压电陶瓷钛酸钡压电陶瓷 钛酸钡（钛酸钡（BaTiO3）是由碳酸钡（）是由碳酸钡（BaCO3） ）和二氧化 和二氧化 钛（钛（TiO2）按）按1：1分子比例在高温下合成的压电陶瓷。分子比例在高温下合成的压电陶瓷。 它具有很高的介电常数和较大的压电系数（约为石它具有很高的介电常数和较大的压电系数（约为石 英晶体的英晶体的50倍）。不足之处是居里温度低（倍）。不足之处是居里温度低（120），）， 温度稳定性和机械强度不如石英晶体。温度稳

31、定性和机械强度不如石英晶体。 2 2、 锆钛酸铅系压电陶瓷（锆钛酸铅系压电陶瓷（PZT） 锆钛酸铅是由锆钛酸铅是由PbTiO3和和PbZrO3组成的固溶体组成的固溶体Pb （Zr、Ti）O3。它与钛酸钡相比，压电系数更大，居里。它与钛酸钡相比，压电系数更大，居里 温度在温度在300以上，各项机电参数受温度影响小，时间以上，各项机电参数受温度影响小，时间 稳定性好。此外，在锆钛酸中添加一种或两种其它微量稳定性好。此外，在锆钛酸中添加一种或两种其它微量 元素（如铌、锑、锡、锰、钨等）还可以获得不同性能元素（如铌、锑、锡、锰、钨等）还可以获得不同性能 的的PZT材料。因此锆钛酸铅系压电陶瓷是目前压电

32、式传材料。因此锆钛酸铅系压电陶瓷是目前压电式传 感器中应用最广泛的压电材料。感器中应用最广泛的压电材料。 压电传感器参考课件 4、压电半导体材料、压电半导体材料 如如ZnO、CdS 、ZnO 、CdTe，这种力敏器件具有灵，这种力敏器件具有灵 敏度高，响应时间短等优点。此外用敏度高，响应时间短等优点。此外用ZnO作为表面声波作为表面声波 振荡器的压电材料，可测取力和温度等参数。振荡器的压电材料，可测取力和温度等参数。 3 3、压电聚合物、压电聚合物 聚二氟乙烯（聚二氟乙烯（PVF2）是目前发现的压电效应较强）是目前发现的压电效应较强 的的聚合物薄膜聚合物薄膜，这种合成高分子薄膜就其对称性来看，

33、这种合成高分子薄膜就其对称性来看， 不存在压电效应，但是它们具有不存在压电效应，但是它们具有“平面锯齿平面锯齿”结构，存结构，存 在抵消不了的在抵消不了的偶极子偶极子。经延展和拉伸后可以使分子。经延展和拉伸后可以使分子链轴链轴 成规则排列，并在与分子轴垂直方向上产生成规则排列，并在与分子轴垂直方向上产生自发极化偶自发极化偶 极子极子。当在膜厚方向加直流高压电场极化后，就可以成。当在膜厚方向加直流高压电场极化后，就可以成 为具有压电性能的高分子薄膜。这种薄膜有可挠性，并为具有压电性能的高分子薄膜。这种薄膜有可挠性，并 容易制成大面积压电元件。这种元件耐冲击、不易破碎、容易制成大面积压电元件。这种

34、元件耐冲击、不易破碎、 稳定性好、频带宽。为提高其压电性能还可以掺入压电稳定性好、频带宽。为提高其压电性能还可以掺入压电 陶瓷粉末，制成混合复合材料陶瓷粉末，制成混合复合材料( (PVF2PZT) )。 压电传感器参考课件 三、三、 压电式传感器的测量电路压电式传感器的测量电路 （一）等效电路（一）等效电路 当压电传感器中的压电晶体承受被测机械应力的作当压电传感器中的压电晶体承受被测机械应力的作 用时，在它的两个极面上出现极性相反但电量相等的电用时，在它的两个极面上出现极性相反但电量相等的电 荷。可把压电传感器看成一个荷。可把压电传感器看成一个静电发生器静电发生器，如图，如图( (a) )。

35、也可把它视为两极板上聚集异性电荷，中间为绝缘体的也可把它视为两极板上聚集异性电荷，中间为绝缘体的 电容器电容器，如图，如图( (b) )。其电容量为。其电容量为 q q 电极 压电晶体 Ca (b) (a) 压电传感器的等效电路 t S t S C r a 0 当两极板聚集异性电荷当两极板聚集异性电荷 时，则两极板呈现一定时，则两极板呈现一定 的电压，其大小为的电压，其大小为 a a C q U 压电传感器参考课件 因此，压电传感器可等因此，压电传感器可等 效为电压源效为电压源U a和一个电 和一个电 容器容器C a的 的串联串联电路，如电路，如 图图(a)；也可等效为一个；也可等效为一个 电

36、荷源电荷源q和一个电容器和一个电容器Ca 的的并联并联电路，如图电路，如图(b)。 q Ca Ua Uaq/ Ca q UaCa Ca （a）电压等效电路 （b）电荷等效电路 压电传感器等效原理 传感器内部信号电荷无传感器内部信号电荷无“漏损漏损”，外电路负载无穷大时，外电路负载无穷大时， 压电传感器受力后产生的电压或电荷才能长期保存，否压电传感器受力后产生的电压或电荷才能长期保存，否 则电路将以某时间常数按指数规律放电。这对于静态标则电路将以某时间常数按指数规律放电。这对于静态标 定以及低频准静态测量极为不利，必然带来误差。事实定以及低频准静态测量极为不利，必然带来误差。事实 上，传感器内部

37、不可能没有泄漏，外电路负载也不可能上，传感器内部不可能没有泄漏，外电路负载也不可能 无穷大，只有外力以较高频率不断地作用，传感器的电无穷大，只有外力以较高频率不断地作用，传感器的电 荷才能得以补充，因此，压电晶体不适合于静态测量。荷才能得以补充，因此，压电晶体不适合于静态测量。 压电传感器参考课件 如果用导线将压电传感器和测量仪器连接时如果用导线将压电传感器和测量仪器连接时,则应考虑则应考虑 连线的等效电容连线的等效电容,前置放大器的输入电阻、输入电容。前置放大器的输入电阻、输入电容。 CaRaCcRi Ci q 压电传感器的压电传感器的 完整等效电路完整等效电路 Ca传感器的固有电容传感器的

38、固有电容 Ci 前置放大器输入电容前置放大器输入电容 Cc 连线电容连线电容 Ra传感器的漏电阻传感器的漏电阻 Ri前置放大器输入电阻前置放大器输入电阻 可见，压电传感器的绝缘电阻可见，压电传感器的绝缘电阻Ra与前置放大器的输入电与前置放大器的输入电 阻阻Ri相并联。为保证传感器和测试系统有一定的低频或相并联。为保证传感器和测试系统有一定的低频或 准静态响应，要求压电传感器绝缘电阻应保待在准静态响应，要求压电传感器绝缘电阻应保待在1013以以 上，才能使内部电荷泄漏减少到满足一般测试精度的要上，才能使内部电荷泄漏减少到满足一般测试精度的要 求。与上相适应，测试系统则应有较大的时间常数，亦求。与

39、上相适应，测试系统则应有较大的时间常数，亦 即前置放大器要有相当高的输入阻抗，否则传感器的信即前置放大器要有相当高的输入阻抗，否则传感器的信 号电荷将通过输入电路泄漏，即产生测量误差。号电荷将通过输入电路泄漏，即产生测量误差。 压电传感器参考课件 （二）（二） 测量电路测量电路 压电式传感器的前置放大器有两个作用：压电式传感器的前置放大器有两个作用： u把压电式传感器的高输出阻变换成低阻抗输出把压电式传感器的高输出阻变换成低阻抗输出； u放大压电式传感器输出的弱信号放大压电式传感器输出的弱信号。 前置放大器形式：前置放大器形式： u电压放大器电压放大器，其输出电压与输入电压（传感器的输出，其输

40、出电压与输入电压（传感器的输出 电压）成正比；电压）成正比； u电荷放大器电荷放大器，其输出电压与输入电荷成正比。，其输出电压与输入电荷成正比。 1 1、电压放大器、电压放大器 AA Ca Ca RaRiCi Cc C R UiUSC USC Ua (a)(b) Ua 压电传感器参考课件 图（图（b）中，等效电阻）中，等效电阻R为为 ia ia RR RR R a a C q U tFF m sinFm作用力的幅值作用力的幅值 压电元件所受作用力压电元件所受作用力 C=Cc+Ci 而而 等效电容为等效电容为 若压电元件材料是压电陶瓷，其压电系数为若压电元件材料是压电陶瓷，其压电系数为d33，则

41、在外，则在外 力作用下，压电元件产生的电压值为力作用下，压电元件产生的电压值为 a m a m C Fd C q U 33 tUU ma sin Um电压幅值电压幅值 a i CCRj Rj FdU 1 33 由图由图(b)可得放大器输入端的电压可得放大器输入端的电压Ui，其复数形式为，其复数形式为 压电传感器参考课件 2 22 33 1 ica m im CCCR RFd U Ui的幅值的幅值Uim为为 ica CCCR arctan 2 ica mm im CCC FdRFd U 33 2 0 33 1 输入电压与作用力之间的相位差输入电压与作用力之间的相位差为为 令令=R(Ca+Cc+C

42、i)，为测量回路的时间常数，并令为测量回路的时间常数，并令 0=1/，则可得，则可得 可见，如果可见，如果/01，即作用力变化频率与测量回路时，即作用力变化频率与测量回路时 间常数的乘积远大于间常数的乘积远大于1时。前置放大器的输入电压时。前置放大器的输入电压Uim与与 频率无关。一般认为频率无关。一般认为/03，可近似看作输入电压与，可近似看作输入电压与 作用力频率无关。这说明，在测量回路时间常数一定的作用力频率无关。这说明，在测量回路时间常数一定的 条件下，压电式传感器具有相当好的高频响应特性。条件下，压电式传感器具有相当好的高频响应特性。 压电传感器参考课件 但是，当被测动态量变化缓慢，

43、而测量回路时间常数不但是，当被测动态量变化缓慢，而测量回路时间常数不 大时，会造成传感器灵敏度下降，因而要扩大工作频带大时，会造成传感器灵敏度下降，因而要扩大工作频带 的低频端，就必须提高测量回路的时间常数的低频端，就必须提高测量回路的时间常数。但是靠。但是靠 增大测量回路的电容来提高时间常数，会影响传感器的增大测量回路的电容来提高时间常数，会影响传感器的 灵敏度。根据传感器电压灵敏度灵敏度。根据传感器电压灵敏度Ku的定义得的定义得 2 2 33 1 ica m im u CCC R d F U K ica u CCC d K 33 因为因为R1，故上式可以近似为，故上式可以近似为 可见，可见

44、，Ku与回路电容成反比，增加回路电容必然使与回路电容成反比，增加回路电容必然使Ku下下 降。为此常将降。为此常将Ri很大的前置放大器接入回路。其输入内很大的前置放大器接入回路。其输入内 阻越大，测量回路时间常数越大，则传感器低频响应也阻越大，测量回路时间常数越大，则传感器低频响应也 越好。当改变连接传感器与前置放大器的电缆长度时越好。当改变连接传感器与前置放大器的电缆长度时Cc 将改变，必须重新校正灵敏度值。将改变，必须重新校正灵敏度值。 压电传感器参考课件 2 2、电荷放大器、电荷放大器 电荷放大器是一个具有深度负反馈的高增益放大器，电荷放大器是一个具有深度负反馈的高增益放大器， 其基本电路

45、如图。若放大器的开环增益其基本电路如图。若放大器的开环增益A0足够大，并且足够大，并且 放大器的输入阻抗很高，则放大器输入端几乎没有分流，放大器的输入阻抗很高，则放大器输入端几乎没有分流， 运算电流仅流入反馈回路运算电流仅流入反馈回路CF与与RF。由图可知。由图可知i的表达式的表达式 为：为： A0 Ca U USC 电荷放大器原理电路图 i Ra q CF RF F FSC R CjUUi 1 F F R CjUAU 1 0 F F R ACAjU 1 11 00 压电传感器参考课件 根据上式画出等效电路图根据上式画出等效电路图 A0 CaRaR C USC U q CF、RF等效到等效到A

46、0的输入端时，电容的输入端时，电容CF将增大将增大( (1A0) )倍。倍。 电导电导1RF也增大了也增大了( (1A0) )倍。所以图中倍。所以图中C=( (1A0) )CF； 1/ /R=( (1A0) )1RF，这就是所谓，这就是所谓“密勒效应密勒效应”的结果。的结果。 运放输入电压运放输入电压 输出电压输出电压 Fa Fa CACj R A R qj U 00 1 1 1 1 Fa Fa SC CACj R A R Aqj UAU 00 0 0 1 1 1 1 压电传感器参考课件 当当A0足够大时足够大时,传感器本身的电容和电缆长短将不影响传感器本身的电容和电缆长短将不影响 电荷放大器

47、的输出。因此输出电压电荷放大器的输出。因此输出电压USC只决定于输入电只决定于输入电 荷荷q及反馈回路的参数及反馈回路的参数CF和和RF。由于。由于1RFCF,则则 Fca Fa SC CACCj R A R Aqj U 00 0 1 1 1 1 FF SC C q CA qA U 0 0 1 若考虑电缆电容若考虑电缆电容Cc，则有，则有 可见当可见当A0足够大时，输出电压与足够大时，输出电压与A0无关，只取决于输入无关，只取决于输入 电荷电荷q和反馈电容和反馈电容CF，改变，改变CF的大小便可得到所需的电的大小便可得到所需的电 压输出。压输出。 CF一般取值一般取值100- -104pF。

48、压电传感器参考课件 运算放大器的开环放大倍数运算放大器的开环放大倍数A0对精度有影响，当频率很对精度有影响，当频率很 高时，则高时，则 及及 Fca SC CACC qA U 0 0 1 F SC C q U F ca SC SCSC CA CC U UU 0 1 1001 101000 01.0 0 4 A 由此得由此得A0105。对线性集成运算放大器来说，这一要求。对线性集成运算放大器来说，这一要求 是不难达到的。是不难达到的。 例例, ,Ca=1000pF, ,CF=100pF, ,Cc=( (100pF/m) )100m=105pF, , 当要求当要求1%时，则有时，则有 则可计算产生

49、的误差为则可计算产生的误差为 压电传感器参考课件 当工作频率当工作频率很低时，分母中的电导很低时，分母中的电导1/Ra+(1+A0)/RF与与 电纳电纳jCaCc(1+A0)CF的值相当，电导就不可忽略。的值相当，电导就不可忽略。 此时此时A0足够大，则足够大，则 其幅值为其幅值为 当当1/ RF = CF时时 可见这是截止频率点的输出电压，增益下降可见这是截止频率点的输出电压，增益下降3dB时对应时对应 的下限截止频率为的下限截止频率为 F F F F SC Cj R qj CAj R A Aqj U 1 1 1 1 00 0 F F SC C R qU 2 2 1 / )2/( FSC C

50、qU FF L CR f 2 1 压电传感器参考课件 可见压电式传感器配用电荷放大器时可见压电式传感器配用电荷放大器时, ,其低频幅值误差和其低频幅值误差和 截止频率只决定于反馈电路的参数截止频率只决定于反馈电路的参数RF和和CF, ,其中其中CF的大的大 小可以由所需要的电压输出幅度决定。所以当给定工作小可以由所需要的电压输出幅度决定。所以当给定工作 频带下限截止频率频带下限截止频率fL时时, ,反馈电阻反馈电阻RF值也可确定。如当值也可确定。如当 CF=1000pF, ,fL=0.16Hz时时, ,则要求则要求RF109。 四、压电式传感器的应用四、压电式传感器的应用 （一）压电式加速度传

51、感器（一）压电式加速度传感器 （二）压电式压力传感器（二）压电式压力传感器 （三）压电式流量计（三）压电式流量计 （四）集成压电式传感器（四）集成压电式传感器 （五）压电式传感器在自来水管道测漏中的应用（五）压电式传感器在自来水管道测漏中的应用 FFC R 1 arctan90 USC与与q间的相位误差间的相位误差 压电传感器参考课件 当传感器感受振动时，因为质量块相对被测体质量当传感器感受振动时，因为质量块相对被测体质量 较小，因此质量块感受与传感器基座相同的振动，并受较小，因此质量块感受与传感器基座相同的振动，并受 到与加速度方向相反的惯性力，此力到与加速度方向相反的惯性力，此力Fma。同

52、时惯性。同时惯性 力作用在压电陶瓷片上产生电荷为力作用在压电陶瓷片上产生电荷为 运 动 方 向 2 1 3 4 5 纵向效应型加速度纵向效应型加速度 传感器的截面图传感器的截面图 （一）（一） 压电式加速度传感器压电式加速度传感器 其结构一般有纵向效应型、横向效其结构一般有纵向效应型、横向效 应型和剪切效应型三种。纵向效应应型和剪切效应型三种。纵向效应 是最常见的是最常见的, ,如图。压电陶瓷如图。压电陶瓷4和质和质 量块量块2为环型，通过螺母为环型，通过螺母3对质量块对质量块 预先加载，使之压紧在压电陶瓷上。预先加载，使之压紧在压电陶瓷上。 测量时将传感器基座测量时将传感器基座5与被测对象与

53、被测对象 牢牢地紧固在一起。输出信号由电牢牢地紧固在一起。输出信号由电 极极1引出。引出。 qd33Fd33ma 压电传感器参考课件 此式表明电荷量直接反映加速度大小。其灵敏度与此式表明电荷量直接反映加速度大小。其灵敏度与 压电材料压电系数和质量块质量有关。为了提高传压电材料压电系数和质量块质量有关。为了提高传 感器灵敏度，一般选择压电系数大的压电陶瓷片。感器灵敏度，一般选择压电系数大的压电陶瓷片。 若增加质量块质量会影响被测振动，同时会降低振若增加质量块质量会影响被测振动，同时会降低振 动系统的固有频率，因此一般不用增加质量办法来动系统的固有频率，因此一般不用增加质量办法来 提高传感器灵敏度

54、。此外用增加压电片数目和采用提高传感器灵敏度。此外用增加压电片数目和采用 合理的连接方法也可提高传感器灵敏度。合理的连接方法也可提高传感器灵敏度。 压电传感器参考课件 连接方式：图连接方式：图(a)为并联形式，片上的为并联形式，片上的负极负极集中在中间极集中在中间极 上，其输出电容上，其输出电容C为单片电容为单片电容C的两倍，但输出电压的两倍，但输出电压U 等于单片电压等于单片电压U，极板上电荷量，极板上电荷量q为单片电荷量为单片电荷量q的两倍，的两倍， 即即 图图( (b) )为串联形式，为串联形式，正电荷正电荷集中在上极板，集中在上极板，负电荷负电荷集中在集中在 下极板，而中间的极板上产生

55、的负电荷与下片产生的正下极板，而中间的极板上产生的负电荷与下片产生的正 电荷相互抵消。从图中可知，输出的总电荷电荷相互抵消。从图中可知，输出的总电荷q等于单等于单 CCUUqq22； 片电荷片电荷q，而输出电压，而输出电压U为单为单 片电压片电压U的二倍，总电容的二倍，总电容C为为 单片电容单片电容C的一半，即的一半，即 CCUUqq 2 1 2； + + (a)并联(b)串联 叠层式压电元件 + + + + l并联接法，输出电荷大，时间常数大，宜用于测量缓变信号，并联接法，输出电荷大，时间常数大，宜用于测量缓变信号， 并且适用于以电荷作为输出量的场合。并且适用于以电荷作为输出量的场合。 l串

56、联接法，输出电压大，本身电容小，适用于以电压作为输出串联接法，输出电压大，本身电容小，适用于以电压作为输出 信号，且测量电路输入阻抗很高的场合。信号，且测量电路输入阻抗很高的场合。 压电传感器参考课件 （二）（二） 压电式压力传感器压电式压力传感器 根据使用要求不同，压电式测压传感器有各种不同 的结构形式。但它们的基本原理相同。 压电式测压传感器的原理简图。它由引线1、壳体2、 基座3、压电晶片4、受压膜片5及导电片6组成。当膜片 5受到压力P作用后，则在压电晶片上产生电荷。在一个 压电片上所产生的电荷q为 SPdFdq 1111 F作用于压电片上的力； d11压电系数； P压强， ； S膜片

57、的有效面积。 S F P 1 2 3 4 5 6 p 压电式测压传感器原理图压电式测压传感器原理图 压电传感器参考课件 测压传感器的输入量为压力测压传感器的输入量为压力P，如果传感器只由一，如果传感器只由一 个压电晶片组成，则根据灵敏度的定义有：个压电晶片组成，则根据灵敏度的定义有： P q k q P U ku 0 Sdkq 11 0 0 C q U 0 11 C Sd ku因为因为 ，所以电压灵敏度也可表示为，所以电压灵敏度也可表示为 U0压电片输出电压；压电片输出电压；C0压电片等效电容压电片等效电容 电荷灵敏度电荷灵敏度 电压灵敏度电压灵敏度 电荷灵敏度电荷灵敏度 压电传感器参考课件 （三）（三） 压电式流量计压电式流量计 利用超声波在顺流方向和逆流方向的传播速度进行测量。利用超声波在顺流方向和逆流方向的传播速度进行测量。 其测量装置是在管外设置两个相隔一定距离的收发两用其测量装置是在管外设置两个相隔一定距离的收发两用 压电超声换能器，每隔一