检漏技术介绍

1、检漏检漏 简单简单 ， 安全安全 简单简单 ， 安全安全 简单简单 ， 安全安全 简单简单 ， 安全安全 简单简单 ， 安全安全 简单简单 ， 安全安全 简单简单 ， 安全安全 7 Leybold Vacuum / Proprietary & Confidential / / G. Holstein & D. Mueller for SAS 20 03-2006 检漏的方法检漏的方法 Leybold的产品范围的产品范围 检漏方法检漏方法检漏气体检漏气体最小可检漏率最小可检漏率 mbarl/smbarl/s压强范围压强范围能否定量测量能否定量测量 升压检漏法升压检漏法空气和其他气体空气和其他气体

2、10-4抽真空抽真空有限制有限制 压强衰减法压强衰减法空气和其他气体空气和其他气体10-4正压正压有限制有限制 皂泡检漏法皂泡检漏法空气和其他气体空气和其他气体10-5正压正压否否 水泡检漏法水泡检漏法空气和其他气体空气和其他气体10-4正压正压有限制有限制 超声波检漏超声波检漏空气和其他气体空气和其他气体10-2正压正压/ /抽真空抽真空否否 热传导检漏热传导检漏空气和其他气体空气和其他气体10-5正压正压/ /抽真空抽真空否否 吸附检漏法吸附检漏法制冷剂和其他气体制冷剂和其他气体10-7正压正压能能 氦质谱检漏法氦质谱检漏法氦，氢氦，氢10-7正压正压能能 氦质谱检漏法氦质谱检漏法氦，氢氦

3、，氢 简单简单 ， 安全安全 简单简单 ， 安全安全 简单简单 ， 安全安全 简单简单 ， 安全安全 简单简单 ， 安全安全 简单简单 ， 安全安全 简单简单 ， 安全安全 简单简单 ， 安全安全 简单简单 ， 安全安全 16 Leybold Vacuum / Proprietary & Confidential / / G. Holstein & D. Mueller for SAS 20 03-2006 真空法检漏真空法检漏 整体检漏整体检漏 Helium 3 被测容器被测容器 ( 真空状态真空状态) 1 向容器内充入氦气向容器内充入氦气 2 被测容器被测容器 3 LD PhoeniXL3

4、00 检漏仪检漏仪 4 氦气氦气 5 辅助泵系统辅助泵系统 1 2 最小可检漏率最小可检漏率 简单简单 ， 安全安全 17 Leybold Vacuum / Proprietary & Confidential / / G. Holstein & D. Mueller for SAS 20 03-2006 真空法真空法 1 真空腔真空腔 2 被测容器被测容器 3 LD PhoeniXL300 检漏仪检漏仪 4 Helium 氦气氦气 5 辅助泵系统辅助泵系统 整体检漏整体检漏 3 最小可检漏率最小可检漏率 简单简单 ， 安全安全 18 Leybold Vacuum / Proprietary

5、& Confidential / / G. Holstein & D. Mueller for SAS 20 03-2006 真空法真空法 局部检漏局部检漏 1 喷枪喷枪 2 被测容器被测容器 3 LD PhoeniXL300 检漏仪检漏仪 4 氦气氦气 5 辅助泵系统辅助泵系统 3 最小可检漏率最小可检漏率 简单简单 ， 安全安全 19 Leybold Vacuum / Proprietary & Confidential / / G. Holstein & D. Mueller for SAS 20 03-2006 正压法正压法 局部检漏局部检漏 (吸枪模吸枪模 式式) 最小可检漏率最小可

6、检漏率 简单简单 ， 安全安全 简单简单 ， 安全安全 简单简单 ， 安全安全 简单简单 ， 安全安全 简单简单 ， 安全安全 简单简单 ， 安全安全 简单简单 ， 安全安全 简单简单 ， 安全安全 简单简单 ， 安全安全 2,5 m3/ h n 使用蜗旋泵 30 m3/ h 移动检漏车移动检漏车 检漏检漏 简单简单 ， 安全安全 简单简单 ， 安全安全 简单简单 ， 安全安全 32 Leybold Vacuum / Proprietary & Confidential / / G. Holstein & D. Mueller for SAS 20 03-2006 技术参数技术参数 Phoen

7、iXL300PhoeniXL300 DryPhoeniXL300Modul Lowest detectable He leak rate ( vacuum mode )mbarl/s5x10-123x10-115x10-12 / 8x10-12 Lowest detectable leak rate ( sniffer mode )mbarl/s1x10-71x10-7 0,1 0,1 0,1 Max. permissible inlet pressurembar151515 Max. permissible inlet pressure w partial flow setmbar1000-

8、 Pumping speed during pump downm3 2,5 ( 50 Hz ) 3 ( 60 Hz ) 1,6 ( 50 Hz ) 1,8 ( 60 Hz ) 16/20 ( 50 / 60 Hz ) D16B 25/30 ( 50 / 60 Hz ) D25B 30/36 ( 50 / 60 Hz ) Scroll Pumping speed for Heliuml/s 2,5 2,5 2,5 Pumping speed with partial flow set and D16Bl/s16 ( 50Hz) Pumping speed with partial flow se

9、t and D25Bl/s25 ( 50 Hz ) Time constant for leak rate signals 111 Time until ready for operationmin 2 2 简单简单 ， 安全安全 33 Leybold Vacuum / Proprietary & Confidential / / G. Holstein & D. Mueller for SAS 20 03-2006 与与 L 200+比较比较 PhoeniXL300 L 200+ Lowest detectable He leak rate ( vacuum mode )mbarl/s5x1

10、0-12 1x10-11 Lowest detectable leak rate ( sniffer mode )mbarl/s1x10-7 0,1 0,1 Max. permissable inlet pressurembar153 Max. permeissable inlet pressure w partial flow setmbar10001000 Pumping speed during pump downm3 2,5 ( 50 Hz ) 3 ( 60 Hz ) 2,5 ( 50 Hz ) 3 ( 60 Hz ) Pumping speed for Heliuml/s 2,51 Pumping speed with partial flow set and D16Bl/s16 ( 50Hz)16 ( 50Hz) Pumping speed with partial flow set and D25Bl/s25 ( 50 Hz )25 ( 50 Hz ) Time constant for leak rate signals 11 Time until ready for operationmin 2 简单简单 ， 安全安