ParkNX-Hiva-首选韩国park原子力显微镜-微纳香港公司

1、Park NX-Hivac用于故障分析与气氛敏感材料研究的高真空原子力显微镜Park NX-Hivac通过为失效分析工程师提供高真空环境来提高测量敏感度以及原子力显微镜测量的可重复性。与一般环境或干燥N2条件相比，高真空测量具有准确 度高、可重复性好及针尖和样本损伤低等优点，因此用户可测量各种故障分析应用中许多信号响应，例如扫描扩散电阻显微术（SSRM）的掺杂物浓度。Park NX-Hivac使得真空环境中高精确度和高分辨率测量的材料科学研究远离氧气 与其它药剂的影响。在高真空条件下执行扫描扩散电阻显微镜测量可减少所需的针尖-样本相互作用力, 从而大幅度降低对样本和针尖的损伤。如此可延长各针尖

2、的使用寿命，使扫描更加 低成本和便捷，并通过提高空间分辨率和信噪比得到更为精确的结果。因此，利用NX-Hivac进行的高真空扫描扩散电阻显微术测量可谓是故障分析工程师增加其吞.I n-* * UAEprQrrie%aao o1 15 53 3- -0 0D DL Lk _.aiT网e o1 CJCJH H hr縮，远L LI IB B Ilr L.ii 1咼效。吐量、减少成本和提高准确性的明智选择。Park Hivac管理器NX-Hivac 真空自动控制Hivac管理器通过一键单击在逻辑和视觉上控制最佳真空条件抽气和排气过程来实 现高真空。各个过程通过颜色和图示变化得到直观监控，一键单击后您即

3、可无需操心真空操作顺序。更快速、更简便的真空控制软件使原子力显微镜的使用更便捷更(DAutomaticAutomatic vacuumvacuum pumpingpumping andand ventingventing oo OMIB GMKEHHUOGMKEHHUO TheThe NX-HEvacNX-HEvac letslets usersusers setset upup aulomalicaulomalic OHrtrdsOHrtrds forfor vacuumvacuum pumpingpumping aMaM ventingventing furtherfurther stre

4、amliningstreamlining I I帕 scanningscanning processprocess andand o t.0 0-T二了 D DI I 二乩也-E如:f s寸也(P(PL L type)to KBOnirTnitimniiibnirTnitimniiibmniiiLBiimniiiLBiiParkPark H HLOCLOC ManagerHOMHOM certraicertrai HtftwwHtftwwreducingreducing KquWKquW凶 humanhuman inpGLinpGL TheThe averageaverage pumfiing

5、pumfiing speedspeed ss toto aboutabout W W torrtorr inin 5 5 minmin usingusing TurboTurbo andand DryDry Pump.Pump.咼级自动化特点NX-Hivac具有大量功能从而能够最大化减少用户输入。换言之，您可以更快速地 扫描，提高实验室产量。配备电控载物台的Ste pScan自动化扫描StepScan允许用户能够对器件进行编程从实现而快速便捷地多区域成像。NX-Hivac让您只需五步即可完成样本扫描：扫描、提升悬臂、移动电动平台至用 户定义坐标区域、进针及重复扫描。如此可极大地提高生产率，最大

6、化减少用户输 入。电动激光对准Park电动激光对准使用户无需输入即可无缝衔接自动化测量例程。凭借着我们先进 的预准直悬臂架，在更换探针时激光已对准悬臂。只需要调整定位旋钮，便可在 和Y轴上任意定位激光光点，达到最佳位置。提高精度和生产率NX-Hivac即是全球最精准的高性能原子力显微镜，同时也是用于故障分析的最简 单方便的原子力显微镜之一。Park NX-Hivac帮您可以提高自己的生产效率，并确 保取得靠谱的结果。闭环XY和Z轴扫描仪利用两个独立的闭环XY和Z轴挠曲扫描仪，您可以确信扫描的高精准度。NX-Hivac 提供低残余弯曲的平面和正交 XY轴扫描，使得整个扫描范围内的离面运动距离低

7、于1 nm。此外，NX-Hivac的特色还有非线性为低于 0.5%的15 口m扫描范围的高 速Z轴扫描仪，无需进行软件后期处理即可获得精准的二维和三位测量。零零 S S9 Q-3惡惡9亠亠5 0-0-低噪声XYZ轴位置传感器NX-Hivac具有Park原子力显微镜行业领先的低噪声Z轴探测器功能，可准确测量样本形貌，同时低噪声 XY轴闭环扫描将前后扫描间隙降低至扫描范围的0.15% 。24位数字电子控制器NX-Hivac的一大特点是NX系列电子控制器可实现时间浪费最小化、精度最大化。我们的控制器为全数字、24位高速器件，用户能够利用其执行一系列扫描，包括我 们的真正非接触(True Non-Co

8、ntact )模式。控制器具有低噪声设计和高速处理部 件，是精密电压和电流测量及纳米级成像的绝佳之选。嵌入式电子产品同时具有数 字信号处理特点，用户可轻松地分析测量值和成像。ScannerXYXY scanner:scanner: 50 m x 50 m (100m x 100m optional)Op ticsObjectiveObjective lens:lens: 10 x5M5M pixelpixel CCDCCDSample StageXYXY stagestage travel:travel: 22 mm x 22 mmSampleSample size:size: 50 mm x

9、 50 mm, up to 20 mm thick nessPhysical In formati onInnerInner vacuumvacuum chamber:chamber: 300 mm x 420 mm x 320 mmOuterOuter vacuumvacuum (including(including granitegranite & & pump):pump): 800 mm x 950 mm x 730 mmSoftwareSmartScan:SmartScan: Park AFM op erati ng softwareXEI:XEI: AFM data analys

10、is softwareHivacHivac Manager:Manager: Auto vacuum con trol softwareHigh VacuumVacuumVacuum level:level: Typi cally less tha n 1 x 10-5-5 torrPumpingPumping speed:speed:Reach to 10 -5-5 torr within 5 min.ADC: 18 cha nnelsElectro nicsZ Z scanner:scanner: 15 jjm4 high-s peed ADC chann els (50 MSPS) 24

11、-bit ADCs for X, Y, and Z position sen sorDAC: 12 cha nnels2 high-s peed DAC chann els (50 MSPS) 20-bit DACs for X, Y, and Z positio ning 3 cha nn els of in tegrated lock-i n amp lifier沁园春雪二 北国风光，-千里冰封,，万里雪飘PI k是 I一傩余莽莽.河上望长城内夕F,F,顿失滔滔须晴日，看红装素裹,、 ，NXNX咄碱AtoiriKAtoiriK Fer-Fer- HknncHknnc咿f7=n 厂山舞银蛇，

12、原驰蜡象，欲与天公试比冋。4 4邇tf韭T111分外妖娆。江山如此多娇，引无数英雄竞折腰。惜秦皇汉武，略输文采；唐宗宋 祖，稍逊风骚。一代天骄，成吉思汗，只识弯弓射 大雕。俱往矣，数风流人物， 还看今朝。U克出师表两汉：诸葛亮先帝创业未半而中道崩殂，今天下三分，益州疲弊，此诚危急存亡之秋也。 然侍卫之臣不懈于内，忠志之士忘身于外者，盖追先帝之殊遇，欲报之于陛下也。 诚宜开张圣听，以光先帝遗德，恢弘志士之气，不宜妄自菲薄，引喻失义，以塞 忠谏之路也。宫中府中，俱为一体；陟罚臧否，不宜异同。若有作奸犯科及为忠善者，宜 付有司论其刑赏，以昭陛下平明之理；不宜偏私，使内外异法也。侍中、侍郎郭攸之、费祎

13、、董允等，此皆良实，志虑忠纯，是以先帝简拔以 遗陛下：愚以为宫中之事，事无大小，悉以咨之，然后施行，必能裨补阙漏，有 所广益。将军向宠，性行淑均，晓畅军事，试用于昔日，先帝称之曰能”，是以众议举宠为督：愚以为营中之事，悉以咨之，必能使行阵和睦，优劣得所。亲贤臣，远小人，此先汉所以兴隆也；亲小人，远贤臣，此后汉所以倾颓也。 先帝在时，每与臣论此事，未尝不叹息痛恨于桓、灵也。侍中、尚书、长史、参 军，此悉贞良死节之臣，愿陛下亲之、信之，则汉室之隆，可计日而待也臣本布衣，躬耕于南阳，苟全性命于乱世，不求闻达于诸侯。先帝不以臣卑 鄙，猥自枉屈，三顾臣于草庐之中，咨臣以当世之事，由是感激，遂许先帝以驱 驰。后值倾覆，受任于败军之际，奉命于危难之间，尔来二十有一年矣。先帝知臣谨慎，故临崩寄臣以大事也。受命以来，夙夜忧叹，恐托付