JJC清洗设备基本原理ppt课件

1、JJC清洗设备根本原理 晶硅电池设备设备晶硅电池设备设备 2021 2021年年1111月月制绒的目的制绒的目的 去除硅片外表机械损伤层5-7微米 晶格畸变、位错等对光生载流子构成很强的复合，影响转换效率 ； 去除外表油污、杂质颗粒及金属杂质； 构成起伏不平的绒面，利用陷光原理，添加硅对太阳光的吸收，减少光的反射，添加PN结面积，提高短路电流(Isc)，最终提高电池的光电转换效率。制绒的原理制绒的原理单晶制绒：利用硅在低浓度碱液( 0.8wt%-2wt% )中的各向异性腐蚀，经一定时间腐蚀后，在(100)单晶硅片外表留下四个由(111)面组成的金字塔。Si+2OH-+4H2O Si(OH)62

2、-+2H2多晶制绒：硅片在缺陷或损伤区的腐蚀速率更快，构成部分凹坑； HNO3+Si SiO2+NOx+H2O SiO2+6HF= H2SiF6+2H2O制绒效果制绒效果设备概要设备概要 捷佳创清洗是对原硅片进展分散前的清洗，完成制绒过程的设备。是一个由移载机械手运输，经去制绒、清洗、枯燥等部分组成一条自动延续任务的清洗安装。制绒清洗枯燥构造组成构造组成 本设备主要由槽式清洗主体、移载机械手、电控柜及触摸屏等部分组成。主体电控柜触摸屏构造组成上料台构造组成上料台 上料电机开启后,当上料台传感器感应到有花篮,电机设定的运转时间到，电机停顿任务。构造组成构造组成1#槽槽 1#槽循环泵对槽体内液体进

3、展自循环。 现有工艺是在1#槽进展一个预清洗的过程。构造组成构造组成2#，7#和和13#槽槽 2#,7#,13#槽是漂洗槽，运用的是下快排阀，排液迅速。构造组成构造组成3#-6#单晶制绒槽单晶制绒槽 用于单晶制绒工艺，槽体材质PP，喷氟的黑色槽盖和加热器保证槽体温度稳定，自动循环系统。构造组成构造组成8#，9#以及多晶副槽以及多晶副槽 槽体运用PVDF资料构成，具有更强的耐化学性。 溶液配在冷封槽中,经过循环泵泵到多晶槽中。冷封槽中连着毛细水管,起到冷却溶液的作用。构造组成冷冻机管路构造组成冷冻机管路 恒标冷冻机主要由紧缩机，冷凝器，蒸发器，水箱以及循环泵等主要部件构成。 冷冻机经过紧缩机进展

4、冷却，由循环泵泵到副槽，经过毛细管跟药液进展热交换。构造组成构造组成14槽槽 14#槽是喷淋槽，喷淋水要确保干净,否那么会把硅片打碎,喷淋后的水流到13#槽副槽,经过循环泵给13#槽补水。构造组成构造组成 15槽槽 慢提拉槽中的热水由本人的副槽提供，经过循环泵泵到槽体中。另外，由变频器控制慢提机械手升降。构造组成烘干箱构造组成烘干箱 烘箱经过12根石英加热管加热,每根70W，由风机实现热循环，风干硅片。构造组成加热构造组成加热 捷佳创清洗设备的加热系统，都是由断路器，熔断器，固态继电器和加热器组成。机台内部单独的加热系统都是设定的9KW的加热功率。构造组成机械手构造组成机械手 两台伺服电机分别

5、控制机械手的前后挪动和升降,汽缸控制机械手的进、退钩. 三个机械手担任的槽位分别是1#-7#，7#-13#，13#-15#。新机型稍有区别，是1#-5#，5#-9#，9#-15#。构造组成触摸屏构造组成触摸屏 E-VIEW 10.4英寸触摸屏自动/手动旋钮停顿复位急停开关构造组成触摸屏构造组成触摸屏构造组成变频器构造组成变频器 型号为型号为G110 6SL3211-0AB13-7UA1，西门子，西门子的变频器控制的变频器控制构造组成变频器构造组成变频器变频器报警代号与含义变频器报警代号与含义构造组成伺服驱动器构造组成伺服驱动器)型号为MCDDT3520-003，松下的驱动器控制。构造组成构造组

6、成(伺服驱动器伺服驱动器驱动器报警代号和含义典型缺点判别与处置方法典型缺点判别与处置方法 一整机不能启动，无法运转一整机不能启动，无法运转a.a.首先检查机械手能否回到原点位，如没在原点位，先进展回原首先检查机械手能否回到原点位，如没在原点位，先进展回原点，直至原点点，直至原点“OK“OK 字母闪烁字母闪烁; ; 回原点实时报警画面实时报警画面b.检查报警信息画面,看能否有报警触发事项,如报警画面显示以下内容，那么按以下事项一一排除 典型缺点判别与处置方法典型缺点判别与处置方法1.显示电机过载显示电机过载排除方法排除方法:首先检查马达有无卡死的景象，有刹车的电机检查刹首先检查马达有无卡死的景象

7、，有刹车的电机检查刹车能否动作。而电机本身卡死，检查负载与电机轴承进展改换车能否动作。而电机本身卡死，检查负载与电机轴承进展改换与调整，直至运转灵敏为止；假设不是这方面的问题，那么需与调整，直至运转灵敏为止；假设不是这方面的问题，那么需检查电机三相电阻值能否平衡，如不平衡，那么有断路景象检查电机三相电阻值能否平衡，如不平衡，那么有断路景象,找找出断的线路出断的线路 。典型缺点判别与处置方法典型缺点判别与处置方法2.显示急停未复位显示急停未复位 排除方法：逐个检查每个急停开关能否压下未旋出，让每个都排除方法：逐个检查每个急停开关能否压下未旋出，让每个都弹出弹出,而此时还未解除那么检查每个急停开关

8、之间的连线有否而此时还未解除那么检查每个急停开关之间的连线有否断路景象断路景象, 使其修复使其修复,直至报警解除。直至报警解除。急停开关典型缺点判别与处置方法典型缺点判别与处置方法3.显示伺复马达报警显示伺复马达报警 排除方法：翻开电柜检查对应报警伺复马达的驱动器排除方法：翻开电柜检查对应报警伺复马达的驱动器,检查驱动检查驱动器报警代号码器报警代号码, 对应代号码显示缺点工程对应代号码显示缺点工程,进展排除。进展排除。4.显示变频器报警显示变频器报警 排除方法排除方法: 排除步骤与上项一样排除步骤与上项一样,检查对应报警码进展排除。检查对应报警码进展排除。 典型缺点判别与处置方法典型缺点判别与

9、处置方法二二. .自动槽盖无法翻开与封锁自动槽盖无法翻开与封锁a.a.首先检查气压能否为首先检查气压能否为45Mpa;45Mpa;如气压正常，旋转气缸动作而自如气压正常，旋转气缸动作而自动槽盖没有动作，检查衔接轴健能否损坏或零落动槽盖没有动作，检查衔接轴健能否损坏或零落; ;如电磁阀动作，如电磁阀动作，气缸得气而未动作，检查自动槽盖有否卡死变形，气缸有否损气缸得气而未动作，检查自动槽盖有否卡死变形，气缸有否损坏。坏。b.b.如电磁阀没有动作，看有否电压到电磁阀线圈，如有那么电磁如电磁阀没有动作，看有否电压到电磁阀线圈，如有那么电磁阀损坏阀损坏; ;如没有电压，检查如没有电压，检查PLCPLC有

10、否输出，如有输出检查相应线有否输出，如有输出检查相应线路，如路，如PLCPLC没有输出，看能否气缸磁感应开关未感应到位。没有输出，看能否气缸磁感应开关未感应到位。典型缺点判别与处置方法典型缺点判别与处置方法三机械手自动过程中停机三机械手自动过程中停机 自动中出现停机景象与机械手越位或提篮与放篮超时有关系：自动中出现停机景象与机械手越位或提篮与放篮超时有关系：通常来讲，出现越位与超时景象的发生是与机械手在运转中槽定通常来讲，出现越位与超时景象的发生是与机械手在运转中槽定位或减速感应开关未感应呵斥的位或减速感应开关未感应呵斥的, ,调整或改换接近开关调整或改换接近开关, ,发现腐发现腐蚀严重的挡片

11、也予以改换蚀严重的挡片也予以改换. .机械手横移过慢受阻，也会呵斥超时，机械手横移过慢受阻，也会呵斥超时，检查机械手横移与上下灵敏度；检查机械手横移与上下灵敏度； 另外，提篮与放篮超时的问题根本上除了与槽位感应有关之外，另外，提篮与放篮超时的问题根本上除了与槽位感应有关之外，磁性开关检测异常也会引发这类问题。磁性开关检测异常也会引发这类问题。典型缺点判别与处置方法典型缺点判别与处置方法四加热器不加热或升温很慢四加热器不加热或升温很慢a.a.首先检查首先检查PLCPLC对应的输出点有否输出，如对应的输出点有否输出，如PLCPLC输出点没有输出，输出点没有输出，检查设置温度能否正确检查设置温度能否

12、正确; ; 检查温控模块的热电偶能否正常检查温控模块的热电偶能否正常, ,电压能否为电压能否为5mv30mv;5mv30mv; 检查对应加热的槽水位和水位仪能否正常检查对应加热的槽水位和水位仪能否正常; ; 都正常那么稳控模块损坏，温控模块的都正常那么稳控模块损坏，温控模块的24V24V的电源指示灯应常亮，的电源指示灯应常亮，A/DA/D转换指示灯应闪烁为模块正常形状转换指示灯应闪烁为模块正常形状. .典型缺点判别与处置方法典型缺点判别与处置方法b.b.如如PLCPLC有输出，而发热管上无电压，检查电箱里漏电开关有无跳有输出，而发热管上无电压，检查电箱里漏电开关有无跳制，如跳制，检查发热管有否

13、短路与接地景象，正常为大于制，如跳制，检查发热管有否短路与接地景象，正常为大于5 5兆兆欧以上，否那么为接地，检查短路景象相与相之间的阻值应不能欧以上，否那么为接地，检查短路景象相与相之间的阻值应不能为零，否那么为短路景象，检查其线路与已损坏的发热管；如漏为零，否那么为短路景象，检查其线路与已损坏的发热管；如漏电开关没有跳制，检查接触器或固态继电器能否损坏。电开关没有跳制，检查接触器或固态继电器能否损坏。典型缺点判别与处置方法典型缺点判别与处置方法c.c.如发热管上有正常电压，而发热管未加热或加热速度慢，断开如发热管上有正常电压，而发热管未加热或加热速度慢，断开电源，用万用表量其三相阻值，如阻

14、值不平衡或有断相的景象，电源，用万用表量其三相阻值，如阻值不平衡或有断相的景象，即为发热管已损坏。即为发热管已损坏。典型缺点判别与处置方法典型缺点判别与处置方法5 5触摸屏有时显示黑屏或白屏触摸屏有时显示黑屏或白屏 触摸屏显示黑屏或白屏是直流电源不稳定呵斥的，检查开关电触摸屏显示黑屏或白屏是直流电源不稳定呵斥的，检查开关电源能否任务正常，直流源能否任务正常，直流24V24V电源有否短路景象，电源有否短路景象，24V24V用电器用电器电磁阀能否有短路的景象，或线路有否破损的景象，呵斥电磁阀能否有短路的景象，或线路有否破损的景象，呵斥24V24V电源有短路景象电源有短路景象. . 典型缺点判别与处置方法典型缺点判别与处置方法6 6机械手在运转中经常出现掉篮摔篮机械手在运转中经常出现掉篮摔篮 a. a.机械手在槽中定位传感器能否准确机械手在槽中定位传感器能否准确; ; b. b.机械手勾子有否松动景象、进退勾气缸位置有否到位机械手勾子有否松动景象、进退勾气缸位置有否到位( (调整磁调整磁性开关感应位置性开关感应位置);); c. c.检查篮子有否变形，或者上料时能否正常上料。检查篮子有否变形，或者上料时能否正常上料。典型缺点判别与处置方法典型缺点判别与处置方法7.7.自动中喷淋槽有料时而不喷淋自动中喷淋槽有料时而不喷淋a.a.首先检