PECVD日常报警说明

1、PECVDPECVD日常报警说明日常报警说明管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明nProcess recipe has terminated with error state-Alarm ACK-(1)to store(2)to store enable unload(3)Restart recipe . n说明：进行中的工艺以错误的状态结束说明：进行中的工艺以错误的状态结束-警报确认警报确认-（1）储存（）储存（2）储存并卸下（）储存并卸下（3）重新开始工艺。）重新开始工艺。n(1)用错工艺号，手动结束工艺，重新开始新的其它工用错工艺号，手动结束工艺，重新开始新的其它工艺时进行选择。艺

2、时进行选择。n(2)多数情况下选择此项。；多数情况下选择此项。； n(3)工艺中断需要重新进行时选择，选择前应查看镀膜工艺中断需要重新进行时选择，选择前应查看镀膜情况。情况。1管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明nBoat already in tube-select: process=0 unload=1.n说明：石墨舟已经在管内说明：石墨舟已经在管内-选择选择运行工艺运行工艺=0 取出卸下取出卸下=1。n当管内有石墨舟时，异常排除后手动运行工艺当管内有石墨舟时，异常排除后手动运行工艺时会出现这样的提示，查看镀膜情况后在做选时会出现这样的提示，查看镀膜情况后在做选择。择。2管式管式PE

3、CVD日常报警说明日常报警说明nLost homing, check position. n说明：失去引导，检查位置。说明：失去引导，检查位置。n此报警会自动解除，只需要检查一下此报警会自动解除，只需要检查一下桨是否在原点的位置即可。桨是否在原点的位置即可。3管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明nHFGen out of 1st(2nd) tolerance. n说明：高频发生器超过第一（二）个位置，如果在说明：高频发生器超过第一（二）个位置，如果在镀膜中退出，如已经沉积到氮化硅，检查镀膜时间镀膜中退出，如已经沉积到氮化硅，检查镀膜时间后，选择手动工艺输入剩余时间。后，选择手动工艺输入剩

4、余时间。n通常出现这样的报警有三种情况：通常出现这样的报警有三种情况：n(1)石墨舟的电极孔放反。石墨舟的电极孔放反。 n(2)石墨电极内有硅片倒落或者小碎片卡在两片电石墨电极内有硅片倒落或者小碎片卡在两片电极的中间。极的中间。n(3)炉内的碎片太多，石墨电极底部接触到碎片形炉内的碎片太多，石墨电极底部接触到碎片形成两片电极之间的短路。成两片电极之间的短路。4管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明nRecipe abort2-process abort! TO continue: enter AB. n说明：工艺推出说明：工艺推出-运行终止。继续输运行终止。继续输入入AB。n 对工艺异常确

5、认输入对工艺异常确认输入AB后，会出现第后，会出现第（一）个报警（一）个报警 5管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明nVacuum tube out of 1st(2nd) tolerance. n说明：石英管内的真空度超过第一（二）个限说明：石英管内的真空度超过第一（二）个限值。值。n系统会对石英管内的真空度三秒钟检查一次，系统会对石英管内的真空度三秒钟检查一次，由于某种原因导致抽真空被延时，在特定的时由于某种原因导致抽真空被延时，在特定的时间内无法达到真空设定值的要求，系统会出现间内无法达到真空设定值的要求，系统会出现这样的报警，检查一下状态栏中的压力值和真这样的报警，检查一下状态栏

6、中的压力值和真空泵的工作是否正常，如正常过几分钟后报警空泵的工作是否正常，如正常过几分钟后报警会自动解除；如果此报警连同第（八）个报警会自动解除；如果此报警连同第（八）个报警一起出现的话，联系工序长和领班。一起出现的话，联系工序长和领班。6管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明nBoat sensor of grab has changed without permission. n说明：机械手上的传感器被非允许移动。说明：机械手上的传感器被非允许移动。 n机械手喜爱上下移动时不会前后移动，若机械手喜爱上下移动时不会前后移动，若这时前后的位置发生变化，机械臂将会被这时前后的位置发生变化，机

7、械臂将会被锁定，出现报警。此警报需要通知工序长锁定，出现报警。此警报需要通知工序长或领班。或领班。7管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明nCollective alert pump st.1 n说明：真空泵报警。说明：真空泵报警。n一般情况下是由于真空泵的负压太大，导一般情况下是由于真空泵的负压太大，导致报警。如复位无效的话通知工序长或领致报警。如复位无效的话通知工序长或领班。班。 8管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明nGas N2(SiH4、NH3)out of 1st(2nd) tolerance. n说明：特气氮气（硅烷、氨气）超过第一（二）说明：特气氮气（硅烷、氨气）超过

8、第一（二）个限值。个限值。n出现这种报警的原因是多面的：高频放电失败、出现这种报警的原因是多面的：高频放电失败、管内的压力不正常或者由于某种原因系统被锁管内的压力不正常或者由于某种原因系统被锁定（冷却水报警），都会出现这样的报警，出定（冷却水报警），都会出现这样的报警，出现超过第一个限值报警，只是警告；超过第二现超过第一个限值报警，只是警告；超过第二个限值报警出现后工艺会自动停止，此时报警个限值报警出现后工艺会自动停止，此时报警消失，出现第五个报警信息消失，出现第五个报警信息 9管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明nWarming: check SiH4 distribution. n说

9、明：警告说明：警告,检查硅烷的流量。检查硅烷的流量。n检查硅烷的流量是否于设定值吻合，如果检查硅烷的流量是否于设定值吻合，如果不是退出并重新运行工艺不是退出并重新运行工艺 10管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明nRecipe couldnt de started. please check protocol for reason.。 n说明：工艺不能被运行，请检查原因。说明：工艺不能被运行，请检查原因。 n原因：此管已有一个工艺在运行；此管没原因：此管已有一个工艺在运行；此管没有你要选的工艺文件；状态不正确有你要选的工艺文件；状态不正确 11管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明n

10、There is already an active recipe form local listing. n说明：已经有说明：已经有工艺在此管的工艺列工艺在此管的工艺列表中。表中。n十一、十二俩个报警有时会一起出现，终十一、十二俩个报警有时会一起出现，终止任何一个报警都会止任何一个报警都会解除。解除。 12管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明nTube ready in undefined please ensure that the CESAR loading machine is at“0” position and softlander is “UP”. n说明：管子的状态无法被

11、确认，请确保说明：管子的状态无法被确认，请确保CESAR接收到桨在接收到桨在“0”和和“UP”的位置。的位置。n检查桨是否在上位和原点的位置，如果是的，检查桨是否在上位和原点的位置，如果是的，在空桨的情况下运行在空桨的情况下运行homing工艺；如果不工艺；如果不是，手动移动桨到上位和原点。是，手动移动桨到上位和原点。 13管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明nBoat collision. n说明：舟被撞击。说明：舟被撞击。nHandling对话框中将舟移动到安全的对话框中将舟移动到安全的位置；若是在上下舟，检查一下小车和位置；若是在上下舟，检查一下小车和储存架的位置是否于舟的位置匹配

12、。储存架的位置是否于舟的位置匹配。14管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明nThe boat sensor has detected no boat in the grab although a boat should be in the grab. please check boat in grab sensor and try again. n说明：虽然有一个舟在机械臂上，但传感器测说明：虽然有一个舟在机械臂上，但传感器测不到，请检查一下舟是否接触到传感器后再试不到，请检查一下舟是否接触到传感器后再试一次。一次。n机械臂上的传感器没有感应到舟，将舟放到正机械臂上的传感器没有感应到舟，

13、将舟放到正确的位置即可。确的位置即可。15管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明nGrab sensor undefined. No movement possible! Check boat position. n说明：传感器不明确，无法移动，检查舟的位说明：传感器不明确，无法移动，检查舟的位置。置。n机械臂不在正确的位置，无法移动，若机械臂机械臂不在正确的位置，无法移动，若机械臂没有被锁定在没有被锁定在Handling的界面中将机械臂移至的界面中将机械臂移至正确的位置。正确的位置。16管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明nBoat position (speed) out of

14、1st(2nd) tolerance. n说明：舟的位置（速度）超过第一（二）说明：舟的位置（速度）超过第一（二）限值。通常会发生在退舟失败后，手动使限值。通常会发生在退舟失败后，手动使桨复位。桨复位。17管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明nBoat failure . n说明：退舟失败。说明：退舟失败。n检查舟在桨上的位置，如果正确手动将检查舟在桨上的位置，如果正确手动将桨复位；如果不正确，戴上高温手套把桨复位；如果不正确，戴上高温手套把舟拉到正确的位置后手动复位。舟拉到正确的位置后手动复位。18管式管式PECVD日常报警说明日常报警说明nWater flow gas side st.1. n说明：说明：TGA（gas side ）冷却水报）冷却水报警。将石英管后的冷却水流量