《CleanRoom介绍》ppt课件

1、Clean Room介紹報告日期：87.3一、何謂無塵室clean room? 一個房間或任务區域其內部空氣之落塵(Particle)用 人為之控制使其數量在一定數目中稱為無塵室二、clean room之等級 無塵室等級區分依美國聯邦U.S.Federal Stander 209E，針對落塵量分為六個等級廠內clean room作業區依製程需求可分三類：A類：無塵等級為十萬級環境不控制 如鉚釘室、P.P倉、銅皮倉、印刷、綠漆曝光室B類：無塵等級一萬級 如內外層曝光室、疊板室、網版製版、乾膜倉C類：無塵等級一千級，如繪圖區、暗房 三、Clean room之設計 須考慮clean room之等級、

2、溫濕度之控制、生產項目和运用設備分析與規劃、建築結構與位置、防火、耐震、管路之考量、監控系統之維持等 1.air flow系統 1-1.分亂流系統(turbulent air flow)及垂直層流系統 (vertical laminar) 1-2.空調系統設計 a.溫度控制：2120C。 b.溼度控制：555%RH。 C.出口風速：0.5M/sec。 D.clean room吶之正壓值1mmAg以以上 e.在class1000和10,000需做末端過濾， class100,000可做集中過濾 1-3.過濾器類型：a.前置過濾器：有初級過濾網(pre filter)，主要過濾 較大塵埃，以延長高

3、效過濾網(HEPA)之壽命 b.高效過濾網(HEPA FILTER)：其效率可達0.3m99.99% 以上DOP，送入clean room 之空氣須經過此過 濾網完成最後過濾 c.可於clean room中再擺設無塵操作台(clean bench)， 可確部分清淨度2.地板、外牆、天花板： 2-1.地板； 分兩類EPOXY地板及高架地板。 a.EPOXY地板：分底塗、中塗、面塗三道施工，須 不起塵、不滲透、耐磨、耐化學藥品。 b.高架地板：應用於無塵等級一千級。優點為地面佈線 方便。地面底層EPOXY，地板高架，結構採鋁合金地 磚，外表貼導電地磚或防靜電面磚。 2-2.外牆(天花板) a.須不

4、起塵、完全密封、容易清潔、平滑無縫。 b.EPOXY塗膜厚1.5mm，分底塗、中塗、面塗三道施工。 2-3.隔間牆(天花板)：资料須選用不起粉塵、防火、耐 用、易清潔之材質，运用彩色烤漆鋼板內充PU發泡。3.參觀窗：無塵室內面加黃色壓克力板。窗框與玻璃須不洩漏。4.照明：無塵室內採用黃色燈源5.其功能有氣鎖(air lock)，人員控制，及以高速風將附著在人體或物品上之塵埃吹落帶過功能，具備自動連鎖電鎖。6.Pass Box傳遞箱：目的將物料傳進或傳出。其功能有氣鎖(air lock)、人員控制。設置於clean room之隔間牆上，連接clean room內外。具備連鎖(inter lock

5、)功能7.輸送帶設計：設置於clean room之隔間牆上，連接clean room內外。以air curtain及過濾網過濾空氣。 四、無塵衣選用標準設計為何要穿無塵衣 普通無塵室最大塵埃染源54%是人體所產生。一作業員連續行走一小時(0.35km/hr)，塵埃約添加100,000個/Ft3，假设穿著大衣式無塵衣可減至24%，全套連身式可減至3% 1.質料要求：a.外表不發塵、塵粒不易附著、不滲透、纖維不易 脫落、斷裂、不生靜電、耐藥品性、耐洗及高溫 高壓、不易皺、不變形。 b.柔軟、透氣、透明度低、容易縫製者。 2.縫製： 縫製時須考量車線之材質、縫製法。接片运用三針內外包光法或內部滾邊法，袖口褲管反下擺收邊用摺邊包光法。布邊在衣服內外皆不可外露。五、clean room之驗收 無塵室之驗收可分以下三種狀況來測試 ：1.工程完工時之無塵室：空週系統運轉，但無機械設備。2.停顿任务之靜態無塵室：空調系統運轉，設備已定位且在運轉，但無人進入。3.作業動態中之無塵室：意即一切設備皆運轉，作業人員也入內任务之狀況。無塵室驗收測試項目 1.詳細測試規格U.S.Federal Standard 209D所規定之標準 2.測試項目：潔淨度檢測，以空氣落塵計數器量測0.5m微塵個數， clean room之清淨度等級愈高，所須取