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文档简介

1、编写：郑勇 审核：葛慈云 批准：金江名称：RF炉震荡管更换方法和步骤内部管理编号：PX/BG-2011-003年/月/日修订内容修订者审核批准者教材修订履历：教材版本号：第1页/共18页一：RF炉震荡管更换方法和步骤1：先打开稳压电源后再开启RF炉电源。（1）稳压柜后盖板总开关（2）稳压电源开关（3）RF炉电源开关第2页/共18页二：RF炉震荡管更换方法和步骤2：调整极板升降开关，使上极板降至最低后，关闭RF炉电源极板升降调节开关上极板第3页/共18页3：开始卸后盖板螺丝先卸下面的，最后再卸上面的一颗三：RF炉震荡管更换方法和步骤盖板螺丝盖板螺丝第4页/共18页四：RF炉震荡管更换方法和步骤4

2、：注意下盖板上风机插头与炉体上的风机插座，拔下插头然后拿下后盖板风扇电机插头拔下第5页/共18页五：RF炉震荡管更换方法和步骤5:取下排风管排风管第6页/共18页六：RF炉震荡管更换方法和步骤 6： 松开震荡管上的紧窟套螺丝紧窟套螺丝第7页/共18页七：RF炉震荡管更换方法和步骤7:取下阳极插头阳极插头第8页/共18页八：RF炉震荡管更换方法和步骤8:松开喉管下部紧窟套紧窟套第9页/共18页九：RF炉震荡管更换方法和步骤9:松开喉管上部紧窟套紧窟套第10页/共18页十:RF炉震荡管更换方法和步骤10:取下喉管检查如有问题更换第11页/共18页十一：RF炉震荡管更换方法和步骤11:这是取下喉管后

3、震荡管的样子第12页/共18页十二：RF炉震荡管更换方法和步骤12:松开震荡管底部的3颗固定螺丝固定螺丝第13页/共18页十三：RF炉震荡管更换方法和步骤13:取震荡管的步骤，先用双手抓住震荡管上的2个把手左右旋转慢慢向上提起倾斜缓缓向外移动拿出，注意双手一定要抓紧动作要轻不要有碰撞。第14页/共18页十四：RF炉震荡管更换方法和步骤14:这是取下震荡管后的样子注意此处的卫生清洁一定要打扫干净。不能有灰尘和污染物。做完清洁后再将要更换的震荡管按从后向前步骤复原检查确认各部位安装到位，注意RF炉腔内不能有异物如遗漏的螺丝工具等第15页/共18页十五RF炉震荡管更换方法和步骤15:将上极板升至正常工作时的位置。开机预热15分钟后进行空载试验。注意观察板流表和栅流表的数据在正常范围（板流表1-2A.栅流表600-900mA.)空载时间控制在1分钟内不易过长。正常后关闭电源

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