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文档简介
1、1目的建立悬浮粒子监测操作规程,使其操作规范化、合理化。2范围适用于洁净区悬浮粒子监测操作。3职责qa、qc检验人员负责本规程的实施,质量控制部部长、质量保证部部长负责监督。4内容4.1测试方法4.1.1测试用仪器:xx型激光尘埃粒子计数器。4.1.2 仪器使用操作步骤:见xxx型激光尘埃粒子计数器使用操作规程。4.2测试条件被测试洁净室(区)温、湿度须达到规定的要求(无特殊要求时,温度控制在1826,相对湿度控制在4565%为宜),静压差、换气次数、空气流速必须控制在规定值内。4.3测试状态 测试状态有静态和动态两种,静态是指洁净室(区)在净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下,生产工
2、艺设备已安装,但洁净室(区)内没有生产人员的状态或洁净室(区)在生产操作全部结束后,生产操作人员撤离现场并经过自净后的状态;动态是指洁净室(区)已处于正常生产状态,设备在指定的方式下运行,并且有指定的人员按照规范操作的状态。测试状态的选择必须符合生产的要求,并在报告中注明测试状态。测试人员必须穿戴符合环境洁净度级别的工作服。静态测试时,室内测试人员不得多于2人。网络软硬件4.4测试时间对单向流,测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10分钟后开始。静态测试在操作人员撤离现场并经10分钟自净后开始;对非单向流,测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30分钟后开始。静态测试在操作人员撤离现
3、场并经20分钟自净后开始。在动态测试时,须记录生产开始时间以及测试时间。4.5悬浮粒子计数4.5.1采样点数目及其布置4.5.1.1最少采样点数目按下述公式求出最少的采样点数目:式中: nl :最少采样点数(四舍五入为整数);a:洁净室或洁净区的面积,以计。在单向流情况下,面积a可认为是垂直于气流方向上的横切面积。在非单向流情况下,面积a指房间面积。4.5.1.2采样点位置及布置4.5.1.2.1采样点位于工作活动的高度,一般在离地面0.8m高度的水平面上均匀布置。4.5.1.2.2各洁净级别采样点布置规则见附录1。4.5.2采样次数:对于任何小的洁净室(区)或局部空气净化区域,采样点的数目不
4、得少于2个,总采样次数不得少于5次。4.5.3采样量根据iso14644-1规定最少采样量需同时满足以下两点规则:(a)根据下面公式计算得到每个采样点最少采样量式中, vs每个采样点最少采样量,用升表示。cn,m 为相关等级规定的最大被考虑粒径之等级限值(pc/m3空气)。20 当粒子浓度处于该等级限值时,可被检测到的粒子数。经计算得:a级:1000lb级:静态690l,动态6.9lc级:静态6.9l,动态0.69ld级:静态0.69l (b) 每个采样点的采样量至少为2升,采样时间最少为1分钟。以采样流量为28.3l/min的y09-310型尘埃粒子计数器采样举例,那么c级动态和d级静态的采
5、样量为28.3l。4.5.4采样注意事项4.5.4.1 在确认洁净室(区)压差达到要求后,开始进行采样。4.5.4.2仪器自净:在测量之前及不同洁净级别的房间(采样点)之间测量时需连接自净头对仪器进行自净。4.5.4.3 使用测试仪器时应严格按照仪器说明书操作,采样管必须干净,严禁渗漏,采样管的长度应根据仪器的允许长度,除另有规定外,长度不得大于1.5m。4.5.4.4 采样时,对于单向流,计数器采样管口朝向应正对气流方向,对于非单向流,采样管口宜向上。布置采样点时,应避开回风口,测试人员应在采样口的下风侧,并尽量减少活动。4.5.4.5采样完毕后,需连接自净头对粒子计数器进行自净。4.5.4
6、.6 应采取一切措施防止采样过程的污染。4.5结果判定采样结束后,立即打印结果。仪器显示全部采样点的粒子浓度及平均值均值的95%置信上限ucl,要求每个采样点的平均悬浮粒子浓度及平均值均值的95%置信上限(ucl)均符合各洁净级别限度要求,各洁净级别限度要求见洁净区(室)环境监测管理规程(smp-qc-04-030)。5 参考文件及附录5.1 附录1:洁净室(区)采样点布置5.2 洁净区悬浮粒子测试记录 (sop-qc-xxx)5.3 洁净区悬浮粒子测试报告 (sop-qc-xxx)6 文件历史版本号生效日期主要变更描述01本文件为新订附录1:洁净室(区)采样点布置1 洁净室(区)采样点布置力求均匀,避免采样点在某局部区域过于稀疏。下列采样点的图示可作参考。 注:为采样点 图1平面采样点布置图
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