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文档简介

1、1.BSF基本理论w BSF的发展是一个重大进步，经历了30年的发展。背表面的重掺杂，B、Al同属于第三主族元素，形成背部的反射场，提高了电池片的内量子效率。w 优化和控制BSF的性能具有重要的意义，例如掺杂的曲线和BSF的厚度（钝化性能），硅片弯曲，背电场的反射率，BSF的均匀性等参数都会对电池片的性能产生重要的影响。w 主要试验用品：a. Al浆料：Ferro53-038， b. 硅片：(100)晶相 c. RTP炉 2.BSF形成的基本过程w 2.1 典型烧结曲线及BSF形成的温度区间w 2.2 从AlSi相图看Al与Si的反应过程w 2.3 BSF形成的基本过程及模型2.1 典型烧结曲

2、线及BSF形成的温度区间BSF形成的温度区间位于：26区间2.2 从AlSi相图看Al与Si的反应过程2到6的过程反应了AlSi合金在烧结过程中Si在 Al中的熔解和分凝过程2.3 BSF形成的基本过程及模型3.氧化层与烧结气氛w 3.1 Al浆烧结前后微观形貌的变化w 3.2 氧化层的厚度w 3.3 烧结气氛的影响3.1 Al浆烧结前后微观形貌的变化EDX分析表明：烧结后浆料中含有了Si和O原子3.2 氧化层的厚度对比burnout后和烧结后的重量，表明烧结过程中，1的Al被氧化。3.3 烧结气氛的影响纯N2气氛下烧结，浆料不稳定并且会导致浆料坍塌，收缩纯O2气氛下烧结，Al浆料易发生鼓泡破

3、裂，通常会导致硅片破裂4.Al-Si内界面研究w 4.1 Al-Si界面基本状态w 4.2 Al-Si界面薄层微观结构w 4.3 BSF反射模型4.1 Al-Si界面基本状态4.2 Al-Si界面薄层微观结构4.2 Al-Si界面薄层微观结构4.3 BSF反射模型w BSF的反射率大致在75-80之间w 导致BSF反射率低的原因有： 1.背面粗糙度过大； 2.烧结后的BSF不连续w RBSF(1-Rfca)【0.9*90%(Si-Al)+0.1*0%(片层结构)】 Rfca自由载流子吸收率； 90的BSF是被SiAl合金层覆盖； 10的BSF是被片层状结构覆盖。 5. BSF生长的影响因素红黑

4、线比较： 保温时间延长，BSF增厚绿黑线比较： 升温速率变慢，BSF增厚红蓝线比较： 升温速率过快，BSF变薄绿黑线比较： 升温速率慢，则Al可已充分利用。反之，升温速率快，保温时间变短，也可以使Al充分利用6. 不均匀BSF的形成w 6.1 Al扩散沉积的不均匀w 6.2 AlSi 凝聚偏聚6.1 Al扩散沉积的不均匀6.2 AlSi 凝聚偏聚7 结论w 1.烧结气氛中充足的氧气供量对于加厚和强化用以包裹液态铝和硅氧化物壳层至关重要。w 2.硅铝的合金化过程发生于浆料颗粒和硅片的紧密接触处。w 3.为了形成紧密的BSF层，在烧结温度的峰值处要形成Al-Si的合金溶液，通常铝的比例和成分要求最少6mg/cm2 。w 4.大成分含量的Al（大于10 mg/cm2）用的并不是很多。烧结后，通常会在BSF和浆料颗

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