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文档简介

1、电子束与固体样品相互作用背散射电子 定义：被固体样品中的原子反弹回来的一部分入射电子。 分类：弹性和非弹性 应用：来自于样品表层几百纳米范围。它的产额随原子序数增大而增多。所以不仅能做形貌分析，而且可以用来显示原子序数衬度，定性地用作成分分析。背散射电子背散射电子二次电子 定义：入射电子作用下被轰击出来并离开样品表面的核外电子。 性质：能量低，一般不超过50eV。 范围：一般都是在距表层510nm深度范围内被激发出来。 应用：对样品表面状态十分敏感，能非常有效地显示样品的表面形貌。不能用来进行成分分析。产额比较吸收电子 定义：入射电子进入样品后，多次非弹性碰撞，能量损失殆尽，被样品吸收。 电流

2、强度：Ia=I0(I b +Is) 应用：吸收电子能够产生原子序数衬度，可进行定性地微区成分分析。 原子序数衬度：SEM或TEM中由于试样表面物质序数（或化学成分）差别而形成的衬度。透射电子 一部分入射电子穿过薄样品而成为透射电子 投射电子的信号由微区的厚度，成分，晶体机构决定 应用：特征能量损失电子是和分析区域的成分有关，可以利用特征能量损失电子配合电子能量分析器来进行微区成分分析。特征X射线 内层电子被激发活电离，形成空缺，外层电子跃迁内层，以X射线发出能量。 特征波长：=hc/ E X射线的波长和原子序数之间服从莫塞莱定律： =K/(Z)2 用X射线探测器测到样品微区中的存在某一种特征波长，就可以判定这个微区中存在相应的元素。俄歇电子 原子内层电子能级跃迁过程中释放出来的能量并不以X射线形式发射出去，而是用这部分能量把空位层内的另一个电子发射出去（或使空位层电子发射出去），这个被电离出来的电子成为俄歇电子。 俄歇电子自由程很小，1nm逸出的的俄歇电子具有能量，因此，俄歇电子特别适用于做表层成分分析。电子束与固体样品作用时产生的各种信号比较其他信号 除了上面列出的6种信号外，固体样品中还会产生例如阴极

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