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文档简介
1、 一一定定 扫描电镜成像与电视显象相似。扫描电镜图像按一定时间空间顺序逐点扫描形成，并在镜体外显像管荧光屏幕上显示出来。 由电子枪发射的能量达30keV的电子束，经会聚透镜和物镜缩小聚焦，在试样表面形成具有一定能量、一定强度、极小的点状电子束。在扫描线圈磁场作用下，电子束在试样表面上按一定的时间、空间顺序作光栅式逐点扫描。 入射电子束和试样相互作用，从试样表面原子中激发出二次电子。二次电子收集极的作用，将各方向发射的二次电子汇集，再经加速极加速，射向闪烁体上转变成光信号。经光导管到达光电倍增管，使光信号再次转变为电信号。电信号经视频放大器放大，并将其输出送至显像管的栅极，调制显像管的亮度，因而
2、在荧光屏幕上便呈现出一幅亮暗程度不同的反映试样表面形貌的二次电子象。一幅扫描图像由多达100万个分别与被分析物表面物点一一对应的图像点构成。扫描系统是扫描电镜的特殊部件，它由扫描发生器和扫描线圈组成。它的作用是：1) 使入射电子束在样品表面扫描，并使阴极射线显像管电子束在荧光屏上作同步扫描；2) 改变入射束在样品表面的扫描振幅，从而改变扫描像的放大倍数。景深是指一个透镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成像的一个能力范围。 扫描电镜的景深为比一般光学显微镜景深大100-500倍，比透射电镜的景深大10 倍。景深取决于分辨本领和电子束入射半角ac。由右下图可知，扫描电镜的景深F为：d0临界分辨本领， ac电子束的入射半角 ctgdF01018号钢在不同温度下的断口形貌 断口形貌分析断口形貌分析ZnO纳米线的二次电子图像 多孔氧化铝模板制备的金纳米线的形貌（a）低倍像（b）高倍像纳米材料形貌分析纳米材料形貌分析（a）芯片导线的表面形貌图， （b
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