光电直接检测系统课件

1、光电直接检测系统是将待光信号直接入射到光检测器光敏光电直接检测系统是将待光信号直接入射到光检测器光敏面上，光检测器响应光辐射强度（幅度）并输出相应的电流和面上，光检测器响应光辐射强度（幅度）并输出相应的电流和电压。电压。检测系统经光学天线或直接由检测器接收光信号，前端还检测系统经光学天线或直接由检测器接收光信号，前端还可经过频率滤波和空间滤波等处理。可经过频率滤波和空间滤波等处理。强度强度调制器调制器光学天线光学天线光学通道光学通道接收天线及光接收天线及光电检测器电检测器光电信号光电信号处理器处理器光源光源信号信号发射机发射机背景噪声场背景噪声场接收机接收机电路噪声电路噪声回收的回收的信息信息

2、强度调制直接检测模型强度调制直接检测模型假定入射光信号电场为：假定入射光信号电场为： tAtEscos5-15-1光场平均光功率为：光场平均光功率为： 22_2AtEPss表示表示 _2tEs tEs2的时间平均值；的时间平均值；5-25-2光检测器输出电流为：光检测器输出电流为： 2_22AhetEhePIsss称为光电变换比例常称为光电变换比例常数数he5-35-3光检测器的平方律特性：光检测器的平方律特性：光电流正比于光电场振幅的平方，光电流正比于光电场振幅的平方，电输出功率正比于入射光功率的平方电输出功率正比于入射光功率的平方。若光检测器负载电阻若光检测器负载电阻R RL L，则光检测

3、器输出电功率为：，则光检测器输出电功率为：LsLsoRPheRIP2225-45-4如果入射光是调幅波，即如果入射光是调幅波，即 ttdAtEscos1其中其中d(t)d(t)为调制信号，可推导出光检测器的输出电流为调制信号，可推导出光检测器的输出电流为为: :5-55-5 tdAAis2221式中第一项为直流项，若光检测器输出端有隔直电容，式中第一项为直流项，若光检测器输出端有隔直电容，则输出光电流只包含第二项，称为包络检测。则输出光电流只包含第二项，称为包络检测。5-65-6光检测器输出的总功率包括信号电功率和噪声功率，可表示为：光检测器输出的总功率包括信号电功率和噪声功率，可表示为：22

4、nsLnooPPRhePP5-75-7考虑到信号和噪声的独立性，有：考虑到信号和噪声的独立性，有：22sLoPRheP222nnsLnoPPPRheP5-85-8由信噪比定义，输出功率信噪比为：由信噪比定义，输出功率信噪比为：nsnsnnssnoopPPPPPPPPPPSNR2122225-95-9nsnsnnssnoopPPPPPPPPPPSNR212222说明输出信噪比是输入信噪比的平方，可见，直接检测系说明输出信噪比是输入信噪比的平方，可见，直接检测系统不适用于输入信噪比小于统不适用于输入信噪比小于1 1或微弱光信号的检测。或微弱光信号的检测。输出信噪比是输入信噪比的一半。即经过光电转换

5、，信噪输出信噪比是输入信噪比的一半。即经过光电转换，信噪比损失了比损失了3dB3dB。实际应用中可以接受。实际应用中可以接受。可见，直接检测方法不能改善输入信噪比，适宜不是很微弱可见，直接检测方法不能改善输入信噪比，适宜不是很微弱的光信号检测。但这种方法简单，易于实现，可靠性高，成本低，的光信号检测。但这种方法简单，易于实现，可靠性高，成本低，得到广泛应用。得到广泛应用。(1)(1)若若1nsPP，则有：，则有：2nspPPSNR5-105-10(2) (2) 若若1nsPP，则有：，则有：nspPPSNR215-115-11在数字式光电系统中，噪声对系统的影响常在数字式光电系统中，噪声对系统

6、的影响常使用使用“误码率误码率”来衡量。误码率仍然与信噪比来衡量。误码率仍然与信噪比有关。信噪比高，误码率低。由噪声的概率分有关。信噪比高，误码率低。由噪声的概率分布规律考虑布规律考虑“概率问题概率问题”来衡量。来衡量。考虑直接检测系统中存在的所有噪声，则输出噪声总功考虑直接检测系统中存在的所有噪声，则输出噪声总功率为：率为：LNTNDNBNSnoRiiiiP_2_2_2_2_2_2_2,NDNBNSiii和分别为信号光、背景光和暗电流引起的散粒噪声。分别为信号光、背景光和暗电流引起的散粒噪声。_2NTi为负载电阻和放大器的热噪声之和。为负载电阻和放大器的热噪声之和。5-125-12_2_2_

7、2_222NTNDNBNSsnoopiiiiPhePPSNR输出信噪比为：输出信噪比为：5-135-13_2_2_2_222NTNDNBNSsnoopiiiiPhePPSNR 当热噪声是直接检测系统当热噪声是直接检测系统 的主要噪声源时，直接检测系统受热噪声限制，信噪比为：的主要噪声源时，直接检测系统受热噪声限制，信噪比为：LspRfkTPheSNR422热5-145-14 当散粒噪声远大于热噪声时，直接检测系统受散粒噪声限当散粒噪声远大于热噪声时，直接检测系统受散粒噪声限 制，信噪比为：制，信噪比为：_2_2_222NDNBNSsp散iiiPheSNR5-155-15 当背景噪声是直接检测系

8、统的主要噪声源时，直接检测系统当背景噪声是直接检测系统的主要噪声源时，直接检测系统 受背景噪声限制，信噪比为：受背景噪声限制，信噪比为：BsBspPfhPPhefePheSNR22222背5-165-16假定光波长假定光波长=0.7=0.7m m，检测器的量子效率，检测器的量子效率=1=1，测量带宽，测量带宽f=1f=1，由上式得到系统在量子极限下的最小可检测功率为由上式得到系统在量子极限下的最小可检测功率为WP18min10 当入射信号光波所引起的噪声为直接检测系统的主要噪声源当入射信号光波所引起的噪声为直接检测系统的主要噪声源时，直接检测系统受信号噪声限制，这时信噪比为：时，直接检测系统受

9、信号噪声限制，这时信噪比为：fhPSNRsp2信5-175-17该式为直流检测在理论上的极限信噪比，称为直接检测系统该式为直流检测在理论上的极限信噪比，称为直接检测系统的量子极限，又称的量子极限，又称量子限灵敏度量子限灵敏度。若用等效噪声功率若用等效噪声功率NEPNEP值表示，在量子极限下，直接检测系值表示，在量子极限下，直接检测系统理论上可测量的最小功率为：统理论上可测量的最小功率为：fhNEP2量5-185-18在实际直接检测系统中，很难达到量子极限检测。实际系统在实际直接检测系统中，很难达到量子极限检测。实际系统总会有背景噪声、检测器和放大器的热噪声。总会有背景噪声、检测器和放大器的热噪

10、声。背景限信噪比可以在激光检测系统中实现，是因为激光光谱背景限信噪比可以在激光检测系统中实现，是因为激光光谱窄，加滤光片很容易消除背景光，实现背景限信噪比。窄，加滤光片很容易消除背景光，实现背景限信噪比。系统趋近于量子极限意味着信噪比的改善，可行方法是在光系统趋近于量子极限意味着信噪比的改善，可行方法是在光电检测过程中利用光检测器的内增益获得光电倍增，如光电倍电检测过程中利用光检测器的内增益获得光电倍增，如光电倍增管。当倍增很大时，热噪声可忽略，同时加致冷、屏蔽等措增管。当倍增很大时，热噪声可忽略，同时加致冷、屏蔽等措施减小暗电流及背景噪声，光电倍增管可达到散粒噪声限。在施减小暗电流及背景噪声

11、，光电倍增管可达到散粒噪声限。在特殊条件下可趋近于量子限。但倍增管也会带入噪声，增益过特殊条件下可趋近于量子限。但倍增管也会带入噪声，增益过程中使噪声增加。程中使噪声增加。在直接检测中，光电倍增管、雪崩管的检测能力较高，采用在直接检测中，光电倍增管、雪崩管的检测能力较高，采用有内部高增益的检测器可使直接检测系统趋近于检测极限。对有内部高增益的检测器可使直接检测系统趋近于检测极限。对于光电导器件，主要噪声为产生复合噪声（极限散粒噪声），于光电导器件，主要噪声为产生复合噪声（极限散粒噪声），光电导器件极限信噪比低，光电导器件极限信噪比低，NEPNEP较大。较大。直接检测系统视场角直接检测系统视场角

12、Du fd检测器检测器物镜物镜视场角表示系统能检测到的空视场角表示系统能检测到的空间范围，是检测系统的性能指标之一。间范围，是检测系统的性能指标之一。对于检测系统，被测物看作是在无穷对于检测系统，被测物看作是在无穷远处，且物方与像方介质相同。当检远处，且物方与像方介质相同。当检测器位于焦平面上时，其半视场角为：测器位于焦平面上时，其半视场角为：或视场角立体角或视场角立体角为：为：2fAd从从观察角度讲，希望视场角愈大愈好，即大检测器面积或减小光学系观察角度讲，希望视场角愈大愈好，即大检测器面积或减小光学系统的焦距，但对检测器会带来不利影响：统的焦距，但对检测器会带来不利影响： 增加检测器面积意

13、味着增大系统噪声。因为对大多数检测器，噪增加检测器面积意味着增大系统噪声。因为对大多数检测器，噪声功率和面积的平方根成正比。声功率和面积的平方根成正比。 减小焦距使系统的相对孔径加大，引入系统背景辐射噪声，使系减小焦距使系统的相对孔径加大，引入系统背景辐射噪声，使系统灵敏方式下降。统灵敏方式下降。因此在系统设计时，在检测到信号的基础上尽可能减小系统视场角。因此在系统设计时，在检测到信号的基础上尽可能减小系统视场角。fd25-195-19I 0I0O1频带宽度频带宽度f是光电检测系统的重要指标之一。检测系统要求是光电检测系统的重要指标之一。检测系统要求f应保存原应保存原有信号的调制信息，并使系统

14、达到最大输出功率信噪比。系统按传递信号能有信号的调制信息，并使系统达到最大输出功率信噪比。系统按传递信号能力，可有以下几种方法确定系统频带宽度。以脉冲激光波形为例力，可有以下几种方法确定系统频带宽度。以脉冲激光波形为例.对于输入信号为矩形波时，通过不同带通滤波器的波形的分对于输入信号为矩形波时，通过不同带通滤波器的波形的分析，可知，要使系统可以复现输入信号波形，要求系统带宽析，可知，要使系统可以复现输入信号波形，要求系统带宽f：在输入信号为调幅波时，一般情况下取频带宽度为其包络在输入信号为调幅波时，一般情况下取频带宽度为其包络（边频）频率的（边频）频率的2倍。如果是调频波，则要求滤波器加宽频带

15、宽倍。如果是调频波，则要求滤波器加宽频带宽度，保证有足够的边频分量通过系统。度，保证有足够的边频分量通过系统。04f5-205-20等效矩形带宽：等效矩形带宽：频谱曲线下降频谱曲线下降3dB的带宽的带宽包含包含90%能量的带宽能量的带宽0106. 00262. 0f0389. 0f光电检测系统的灵敏度在不同的用途时，光电检测系统的灵敏度在不同的用途时，灵敏度的表达形式不同，在对地测距、搜索和灵敏度的表达形式不同，在对地测距、搜索和跟踪等系统中，通常用跟踪等系统中，通常用“检测距离检测距离”来评价系来评价系统的灵敏度。对于其他系统的灵敏度亦可用距统的灵敏度。对于其他系统的灵敏度亦可用距离方程推演

16、出来。离方程推演出来。直接检测系统分为被动检测和主动检测系直接检测系统分为被动检测和主动检测系统，其距离方程不同。下面分别进行推导。统，其距离方程不同。下面分别进行推导。强度强度调制器调制器光学天线光学天线光学通道光学通道接收天线及接收天线及光电检测器光电检测器光电信号光电信号处理器处理器光光源源信信号号发射机发射机背景噪声场背景噪声场接收机接收机电路噪声电路噪声回收的回收的信息信息1 1、被动检测系统的距离方程、被动检测系统的距离方程被动检测过程示意图被动检测过程示意图大大气气传传播播eEeP接收光接收光学系统学系统信信号号处处理理接收机接收机接接收收信信息息光光电电检检测测LsV被测被测目

17、标目标eI光谱辐射强度L传播距离大气光谱透过率1VR光谱响应度00A入射孔径面积光谱透过率设被测目标的光谱辐射强度为设被测目标的光谱辐射强度为eI经大气传播后到达接收光学系统表面的光谱辐射照度经大气传播后到达接收光学系统表面的光谱辐射照度 为：为：eE21LIEee的距离为目标到光电检测系统内的大气光谱透过率；为被测距离LL1入射到检测器上的光谱功率入射到检测器上的光谱功率 为：为：eP002100ALIAEPeee透过率为接收光学系统的光谱孔径面积为接收光学系统的入射10A根据目标辐射强度最大的波段范围及所选取检测器光谱响应范围共同决定选根据目标辐射强度最大的波段范围及所选取检测器光谱响应范

18、围共同决定选取的取的1 12 2的辐射波段，可得到检测器的输出信号电压为：的辐射波段，可得到检测器的输出信号电压为：21210120dRILAdRPVVeVes为检测器的光谱响应度VR5-215-211 1、被动检测系统的距离方程、被动检测系统的距离方程210120dRILAVVes1 1、被动检测系统的距离方程、被动检测系统的距离方程 都是波长的复杂函数，难有确切都是波长的复杂函数，难有确切的解析表达式。通常作如下简化处理：的解析表达式。通常作如下简化处理：VeR、I和01式中式中 取取1 1为被测距离为被测距离L L在光谱响应范围内的平均透过率在光谱响应范围内的平均透过率1 1。 光学系统

19、的透过率光学系统的透过率0 0对光谱响应范围内平均值。对光谱响应范围内平均值。 把检测器的光谱响应带看成是一个矩形带宽。即在响应范围内为把检测器的光谱响应带看成是一个矩形带宽。即在响应范围内为 常数常数R RV V，在其它区域为零。，在其它区域为零。根据物体的温度根据物体的温度T T查表，可计算出在考查波段范围内的黑体辐射强度，查表，可计算出在考查波段范围内的黑体辐射强度， 再乘以物体的平均比辐射率，可得到物体在光谱响应范围内的辐射强度再乘以物体的平均比辐射率，可得到物体在光谱响应范围内的辐射强度Ie。将上述值代入将上述值代入5-225-22式，可得：式，可得：令检测器的方均根噪声电压为令检测

20、器的方均根噪声电压为V Vn n，则，则它的输出信噪比为：它的输出信噪比为：210120dRILVAVVVenns5-225-22VennsRILVAVV01205-235-23210120dRILVAVVVenns即：即：21010nsVVnVeVRIAL5-245-24又因为：又因为：fADVRdnV*5-255-25将上式代入将上式代入5-245-24，可得：，可得：21*010fADIALdVVens5-265-26式中式中Ad为检测器面积；为检测器面积；f为系统为系统的带宽；的带宽；D*为检测器的归一化检为检测器的归一化检测度；测度；AoIe=P0是入射到接收光学是入射到接收光学系统

21、的平均功率。考虑到系统的系统的平均功率。考虑到系统的调制特性，入射到探测器上的有调制特性，入射到探测器上的有效功率为：效功率为： dSP210S(S() )为调制信号的功率为调制信号的功率谱谱为清楚地看出系统各部件对检测距离的影响，把调制特性考为清楚地看出系统各部件对检测距离的影响，把调制特性考虑为对入射功率的利用系数虑为对入射功率的利用系数k km m，则上式改写为：，则上式改写为： 21212121*001nsmdeVVfkADAIL5-275-27第一个括号是目标辐射特性及大气透过率对检测距离的影响；第一个括号是目标辐射特性及大气透过率对检测距离的影响；第二个括号和第三个括号表示光学系统

22、及检测器件特性对作第二个括号和第三个括号表示光学系统及检测器件特性对作用距离的影响；用距离的影响；第四个括号是信息处理系统对作用距离的影响。第四个括号是信息处理系统对作用距离的影响。大大气气传传播播 Lk传播距离衰减系数2LSLL后光斑面积经距离 eE eIrSa反射系数反射面积 P dP接收光接收光学系统学系统信信号号处处理理接收机接收机回回收收信信息息0立体角接收口径 D 02透过率光光电电检检测测强度强度调制器调制器发射光发射光学系统学系统光光源源信信号号发射机发射机 sPmk 01 TP反射反射目标目标LsV2 2、主动检测距离方程、主动检测距离方程主动检测过程示意图主动检测过程示意图

23、主动检测系统的光源主要为激光光源。令其发射功率为主动检测系统的光源主要为激光光源。令其发射功率为P Ps s( () )；发射束发散立体角为发射束发散立体角为；发射光学系统透过率为；发射光学系统透过率为0101( () )，经调，经调制的光能利用率为制的光能利用率为k km m，则发射机发射的功率，则发射机发射的功率PT()为：为： mskP01TP激光在大气中传播时，能量若为按指数规律衰减，令衰减系数激光在大气中传播时，能量若为按指数规律衰减，令衰减系数为为k()，经传播距离，经传播距离L后光斑面积为后光斑面积为SL=L2，光斑，光斑SL的辐射照度的辐射照度Ee为：为： LkTLkLTeLP

24、eSP2eE设在距光源设在距光源L处有一目标，其反射面积为处有一目标，其反射面积为Sa。普通情况下把反射。普通情况下把反射体看作是朗伯反射，即在半球内均匀反射，其反射系数为体看作是朗伯反射，即在半球内均匀反射，其反射系数为r。在。在此条件下，单位立体角的反射光辐射强度此条件下，单位立体角的反射光辐射强度Ie() 为：为： LkaLeaerSLPErS2e1I2 2、主动检测距离方程、主动检测距离方程假定接收机和发射机在一处，反射光经大气传输到接收器的过假定接收机和发射机在一处，反射光经大气传输到接收器的过程仍遵守指数规律衰减，衰减系数仍为程仍遵守指数规律衰减，衰减系数仍为k()，则接收功率为：

25、，则接收功率为： LkaTerSLDP2420e4IP式中，式中，D D0 0为光学系统接收口径；为光学系统接收口径；=D D0 02 2/4L/4L2 2为接收系统的立为接收系统的立体角。如果接收光学系统的透过率为体角。如果接收光学系统的透过率为0202( () )，则检测器上接收，则检测器上接收到的总功率为：到的总功率为： LkamseLDkSkP242002d4PP式中式中: rk0201检测器上的输出电压为：检测器上的输出电压为： VLkamsVReLDkSkPR2420ds4PV式中：式中：R RV V( () )为检测器相对光谱响应度，将为检测器相对光谱响应度，将5-255-25式

26、代入上式得式代入上式得距离距离L L为：为： VLkamsVReLDkSkPR2420ds4PV 412*204LLkdnsamsefAVVDDkSkP如果目标反射面积如果目标反射面积S Sa a等于光斑照射面积等于光斑照射面积L L2 2，则上式可化为：，则上式可化为： 212*204LLkdnsmsefAVVDkDkP可知，影响检测距离的因素很多，发射系统、接收系统的大气可知，影响检测距离的因素很多，发射系统、接收系统的大气特性以及目标反射特性都将影响检测距离。特性以及目标反射特性都将影响检测距离。在前面计算距离时，在被动检测系统中，由于光谱范围宽，大气衰减作用以在前面计算距离时，在被动检

27、测系统中，由于光谱范围宽，大气衰减作用以透过率表示，而在主动检测系统中，绝大多数系统是以激光做光源，激光光透过率表示，而在主动检测系统中，绝大多数系统是以激光做光源，激光光谱较窄，用衰减系数表示，其物理意义是等价的。谱较窄，用衰减系数表示，其物理意义是等价的。计量光栅可分为透射式光栅计量光栅可分为透射式光栅和反射式光栅两大类，均由光源、和反射式光栅两大类，均由光源、光栅副、光敏元件三大部分组成。光栅副、光敏元件三大部分组成。光敏元件可以是光敏二极管，也光敏元件可以是光敏二极管，也可以是光电池。透射式光栅一般可以是光电池。透射式光栅一般是用光学玻璃或不锈钢做基体，是用光学玻璃或不锈钢做基体，在其

28、上均匀地刻划出间距、宽度在其上均匀地刻划出间距、宽度相等的条纹，形成连续的透光区相等的条纹，形成连续的透光区和不透光区。和不透光区。5.4.1 5.4.1 莫尔条纹测长仪莫尔条纹测长仪在检测技术中常用的是计量光栅。计量光栅主要是利用光在检测技术中常用的是计量光栅。计量光栅主要是利用光的透射和反射现象，常用于位移测量，有很高的分辨力，可优的透射和反射现象，常用于位移测量，有很高的分辨力，可优于于0.1 m。 黑白光栅黑白光栅 计量光栅由标尺光栅（主光栅）和指示光栅组成，标尺计量光栅由标尺光栅（主光栅）和指示光栅组成，标尺光栅和指示光栅的刻线宽度和间距完全一样。将指示光栅与光栅和指示光栅的刻线宽度

29、和间距完全一样。将指示光栅与标尺光栅叠合在一起，两者之间保持很小的间隙（标尺光栅叠合在一起，两者之间保持很小的间隙（0.05mm0.05mm或或0.1mm0.1mm）。在长光栅中标尺光栅固定不动，而指示光栅安装）。在长光栅中标尺光栅固定不动，而指示光栅安装在运动部件上，所以两者之间可以形成相对运动。在运动部件上，所以两者之间可以形成相对运动。 在透射式直线光栅中，把主在透射式直线光栅中，把主光栅与指示光栅的刻线面相对叠光栅与指示光栅的刻线面相对叠和在一起，中间留有很小的间隙，和在一起，中间留有很小的间隙，并使两者的栅线保持很小的夹角并使两者的栅线保持很小的夹角，光栅节距为，光栅节距为P P。在

30、两光栅的。在两光栅的刻线重合处，光从缝隙透过，形刻线重合处，光从缝隙透过，形成亮带；在两光栅刻线的错开处，成亮带；在两光栅刻线的错开处，由于相互挡光作用而形成暗带。由于相互挡光作用而形成暗带。这种亮带和暗带形成明暗相间的这种亮带和暗带形成明暗相间的条纹称为莫尔条纹条纹称为莫尔条纹.莫尔条纹是周莫尔条纹是周期性函数。期性函数。 计量光栅计量光栅主光栅指示光栅莫尔条纹光栅原理莫尔条纹光栅原理 构成：构成： 主光栅主光栅-标尺光栅，标尺光栅，定光栅定光栅指示光栅指示光栅-动光动光栅栅莫尔条纹测长的数学表达莫尔条纹测长的数学表达横向莫尔条纹特征横向莫尔条纹特征当指示光栅沿当指示光栅沿x x轴（例如水平

31、方轴（例如水平方向）自左向右移动时，莫尔条向）自左向右移动时，莫尔条纹的亮带和暗带将顺序自下而纹的亮带和暗带将顺序自下而上不断地掠过光敏元件（在演上不断地掠过光敏元件（在演示中就是我们的眼睛）。光敏示中就是我们的眼睛）。光敏元件元件“观察观察”到莫尔条纹的光到莫尔条纹的光强变化近似于正弦波变化。光强变化近似于正弦波变化。光栅移动一个栅距栅移动一个栅距P P，光强变化一，光强变化一个周期。个周期。由于光栅的刻线非常细微，很难分辨到底移动了多少个栅由于光栅的刻线非常细微，很难分辨到底移动了多少个栅距，而利用莫尔条纹具有放大作用，当光栅移动了一个节距距，而利用莫尔条纹具有放大作用，当光栅移动了一个节

32、距时时P，莫尔条纹移动了一个宽度，莫尔条纹移动了一个宽度B。且满足关系式：。且满足关系式： sinPB莫尔条纹有如下特征：莫尔条纹有如下特征： 1 1）平均效应：莫尔条纹是由光栅的大量刻线共同形成的，）平均效应：莫尔条纹是由光栅的大量刻线共同形成的，对光栅的刻划误差有平均作用，从而能在很大程度上消除光对光栅的刻划误差有平均作用，从而能在很大程度上消除光栅刻线不均匀引起的误差。栅刻线不均匀引起的误差。 2 2）对应关系：当指示光栅沿与栅线垂直的方向作相对移动）对应关系：当指示光栅沿与栅线垂直的方向作相对移动时，莫尔条纹则沿光栅刻线方向移动（两者的运动方向相互时，莫尔条纹则沿光栅刻线方向移动（两者

33、的运动方向相互垂直）；指示光栅反向移动，莫尔条纹亦反向移动。在图中，垂直）；指示光栅反向移动，莫尔条纹亦反向移动。在图中，当指示光栅向右移动时，莫尔条纹向上运动。当指示光栅向右移动时，莫尔条纹向上运动。 3 3）放大作用：莫尔条纹的间距是放大了的光栅栅距，它随）放大作用：莫尔条纹的间距是放大了的光栅栅距，它随着指示光栅与主光栅刻线夹角着指示光栅与主光栅刻线夹角而改变。而改变。越小，越小，B B越大，相越大，相当于把微小的栅距当于把微小的栅距P P扩大了扩大了 倍。由此可见，计量光栅起倍。由此可见，计量光栅起到光学放大器的作用。到光学放大器的作用。sin/ 1WWBCABBH2422sin22放

34、大倍数为放大倍数为 1/,1/,越小越小, , B B越大。越大。例如例如=0.1=0.1时时 =0.1=0.1=0.1=0.12/360 2/360 =0.00175432rad=0.00175432radW=0.02mm BW=0.02mm BH H=11.4592mm=11.4592mm。例，对例，对2525线线/mm/mm的长光栅而言，的长光栅而言，P P0.04mm0.04mm，若，若=0.016rad=0.016rad，则，则B B=2.5mm.=2.5mm.，光敏元件可以分辨，光敏元件可以分辨2.5mm2.5mm的间隔，的间隔，但无法分辨但无法分辨0.04mm0.04mm的间隔。

35、的间隔。 计量光栅的光学放大作用与安装角度有关，而与两光栅的计量光栅的光学放大作用与安装角度有关，而与两光栅的安装间隙无关。莫尔条纹的宽度必须大于光敏元件的尺寸，安装间隙无关。莫尔条纹的宽度必须大于光敏元件的尺寸，否则光敏元件无法分辨光强的变化。否则光敏元件无法分辨光强的变化。 4 4）莫尔条纹移过的条纹数与光栅移过的刻线数相等。例）莫尔条纹移过的条纹数与光栅移过的刻线数相等。例如，采用如，采用100100线线/mm/mm光栅时，若光栅移动了光栅时，若光栅移动了x x mmmm（也就是移过（也就是移过了了100100 x x条光栅刻线），则从光电元件面前掠过的莫尔条纹条光栅刻线），则从光电元件

36、面前掠过的莫尔条纹也是也是100100 x x条。由于莫尔条纹比栅距宽得多，所以能够被光条。由于莫尔条纹比栅距宽得多，所以能够被光敏元件所识别。将此莫尔条纹产生的电脉冲信号计数，就可敏元件所识别。将此莫尔条纹产生的电脉冲信号计数，就可知道移动的实际距离了。知道移动的实际距离了。光电传感器输出信号波形光电传感器输出信号波形当光栅相对位移一个栅距时，莫尔条纹移动一个条纹宽度，相应当光栅相对位移一个栅距时，莫尔条纹移动一个条纹宽度，相应照射在光电池上的光强度发生一个周期的变化，使输出电信号周期照射在光电池上的光强度发生一个周期的变化，使输出电信号周期变化，其输出波形如图：变化，其输出波形如图： 由此

37、可知，只要计算输出电压的周期数，便可测出位移量。从而实由此可知，只要计算输出电压的周期数，便可测出位移量。从而实现了位移量向电量的转换。在一个周期内，输出波形的变化是位移在现了位移量向电量的转换。在一个周期内，输出波形的变化是位移在一个栅距内变化的余弦函数，每一周期对应一个栅距。一个栅距内变化的余弦函数，每一周期对应一个栅距。但是如果只用一个光电元件，其输出信号还存在两个问题：但是如果只用一个光电元件，其输出信号还存在两个问题： 辨向问题：用一个光电元件无法辨别运动方向；辨向问题：用一个光电元件无法辨别运动方向； 精度低；分辨力只为一个栅距精度低；分辨力只为一个栅距P。辨向原理：辨向原理： 用

38、两个光电元件相距用两个光电元件相距B/4安装（相当于相差安装（相当于相差90空间角，空间角，B: 2=B/4: /2），如图所示，可以解决辨向问题。），如图所示，可以解决辨向问题。 当条纹上移时，当条纹上移时，V2落后于落后于V1 90。 当条纹下移时，当条纹下移时，V2超前于超前于V1 90。 因此，由因此，由V1、V2之间的相位关系可以之间的相位关系可以 判别运动方向。判别运动方向。细分技术细分技术（解决精度问题）（解决精度问题） 当使用一个光电池通过判断信号周期的方法来进行位移当使用一个光电池通过判断信号周期的方法来进行位移测量时，最小分辨力为测量时，最小分辨力为1个栅距。为了提高测量的

39、精度，提高个栅距。为了提高测量的精度，提高分辨力，可使栅距减小，即增加刻线密度。另一种方法是在分辨力，可使栅距减小，即增加刻线密度。另一种方法是在双光电元件的基础上，经过信号调节环节对信号进行细分，双光电元件的基础上，经过信号调节环节对信号进行细分，其电路框图如图所示。其电路框图如图所示。 4B 代表性产品：代表性产品： 德国德国Heidenhain（海德汉）：（海德汉）：封闭式：量程封闭式：量程3000mm，分辨力，分辨力0.1 m开放式：量程开放式：量程1440mm，分辨力，分辨力0.01 m开放式：量程开放式：量程270mm 分辨力分辨力1nm英国英国Renishaw（雷尼绍）：（雷尼绍）： 量程：任意分辨力：量程：任意分辨力： 0.1 m 0.01 m中国长春光机所：中国长春光机所： 量量 程：程：1000mm 分辨力：分辨力：0.01 m脉冲激光测距的工作原理脉冲激光测距的工作原理2/ tcD脉脉冲冲激激光光测测距距仪仪发射系统发射系统接收系统接收系统接收光学系统接收光学系统光电探测器光电探测器低噪声宽带放大器低噪声宽带放大器整形电路整形电路门控电路门控电路时钟脉冲振荡器时钟脉冲振荡器计数显示器计数显示器激光器：激光器：LD，ND：YAG（调（调Q/锁模）锁模）电源电源发射望远系统发射望远系统物镜物镜小孔光阑小孔光阑