PECVD设备简介学习教案_第1页
PECVD设备简介学习教案_第2页
PECVD设备简介学习教案_第3页
PECVD设备简介学习教案_第4页
PECVD设备简介学习教案_第5页
已阅读5页，还剩14页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

1、会计学1PECVD设备设备(shbi)简介简介第一页，共19页。第1页/共18页第二页，共19页。机台由三部分(b fen)组成:Automated cassette load station (ACLS) (optional) （Port1、Port2、Port3、Port4） MainframeRemote support system equipment located in a service area outside the clean room第2页/共18页第三页，共19页。第3页/共18页第四页，共19页。第4页/共18页第五页，共19页。Gas PanelMainframe

2、ControlTowerTransfer ChamberDDSLProcess Chambers第5页/共18页第六页，共19页。第6页/共18页第七页，共19页。View windows第7页/共18页第八页，共19页。(RPSC)第8页/共18页第九页，共19页。第9页/共18页第十页，共19页。第10页/共18页第十一页，共19页。第11页/共18页第十二页，共19页。第12页/共18页第十三页，共19页。第13页/共18页第十四页，共19页。第14页/共18页第十五页，共19页。第15页/共18页第十六页，共19页。第16页/共18页第十七页，共19页。第17页/共18页第十八页，共19页。NoImage内容(nirng)总结会计学。PECVD：Plasma Enhanced Chemical Vaper Deposition。Remote support system equipment located in a service area outside the clean room。是 cleanroom 和 mainframe 的交界。测各Chamber的Leak ra

人人文库> 全部分类> 教育资料 > 课件下载

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论