NTC(MBS1000)开方机作业指导书

1、Q/GCL-WF 40422-2010a受控状态：受控 NTC(MBS1000)开方机生产作业指导书 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司2010-4-29发布 2010-4-29实施 修 订 履 历 第X次修订版本修 订 內 容 备 注02009初版发行12010a表格修改目 录1 范围- 1 -2 引用标准- 1 -3 定义- 1 -4 工作职责- 1 -5 操作程序- 2 -6 其它事项- 4 -7 检查与考核- 4 -8 表格与记录- 4 -9 附录- 4 -附加说明- 5 -Q/GCL-WF 40422-2010a 1 范围 本标准规定了江苏协鑫硅材料科技发展有限公司(以下简称“协鑫硅材料

2、公司”) NTC（MBS1000）开方机操作的要求、程序、内容和表达形式等。 本标准适用于协鑫硅材料公司开方车间NTC（MBS1000）开方的操作工作。2 引用标准 无3 定义 无4 工作职责4.1 本岗位操作员负责本规程全部具体内容操作执行、事项注意或处理工作4.2 本岗位班长负责本规程全部具体内容操作执行、事项注意或处理的监督和管理工作。4.3 开方专工岗位负责本规程全部内容操作指挥、事项注意或处理的领导和管理工作。5 操作程序5.1工序流程图送电线轮安装密度调整砂浆灌装及砂浆缸连接热机切割确认切割条件清理砂帘粘锭装锭、设定高度机床准备外部条件准备核对线槽、设线长线网建立OK下道工序NG非

3、合格品、边角料入库OKNGOKNGNG检验出锭、清洗、送检OK5.2使用机器、设备名 称厂 家型 号使 用 目 的电动叉车隔膜泵NTC开方机MBS1000把多晶方锭切割成标准硅块。5.3使用原物料名 称名 称名 称使 用 目 的踏台小推车14钢撬（带钢性）扭力扳手（200N·M）内六角扳手（英制）一套夹具设备自带工具一套钢直尺直角尺铁锨（平板）小铁铲30钢撬绝缘纸（塑料）橡胶手套口罩橡胶垫防护眼镜披肩帽吊装带辅助设备及物料，满足切割条件，所切产品各项技术要求。5.4.各工序生产作业操作规程 具体见附录A NTC（MBS1000）开方机6 其它事项6.1 注意事项6.1.1 硅块在清洗

4、及送检过程中要轻拿轻放，杜绝因为操作而早成崩边。6.1.2 粘硅块时，硅块较重，有砸伤危险，请操作时注意安全。6.1.3 布线网时、配制砂浆时要带好相应的防护、劳保用品。6.2 配合事项6.2.1主轴安装时，三人安装主轴，两人同时将主轴拿起，并在安装定位侧时，另一侧安装人务必不能转动导轮，第三人进给轴套进行定位。6.2.2 当切割线痕大于20um时，要做磨面处理，磨面后若出现轻微偏小，可轻微化学抛光。7 检查与考核7.1 检查7.1.1岗位的正岗、班组长、分管专工、车间主任等不定期的对本规程的实施和执行进行检查，对其不正确的操作或处理立即进行纠正，对其过错行为采取纠正措施，并实施验证。7.1.

5、2 开方岗位的上下游正岗、班组长、分管专工在重要操作中或后对本岗位操作的符合性进行检查，并对其不正确的操作或处理立即进行纠正，并报本岗位的正岗、班组长、分管专工或车间主任。7.1.3 安全、环保专责岗位定期或不定期的对本岗位安全、环保实施检查，并对该岗位的安全、环保作出评价或考核。7.2 考核7.1.1 各级考核部门按本规程的内容和要求对本岗位实施考核，对其过错行为采取纠正措施，并实施验证。8 表格与记录8.1 多晶硅切割加工随工单 Q/GCL-WF40421/BG-018.2 NTC开方机工艺点检表 Q/GCL-WF40422/BG-019 附录无 附加说明本标准由协鑫硅材料公司标准化管理机

6、构负责提出。本标准由协鑫硅材料公司XXXX部门负责起草或修改。本标准主要起草、修订人：何刚 审 核：陈龙审 定：云传军、阎新奇批 准：薛抗美本标准由协鑫硅材料公司技术部部门负责解释。本标准于二一年四月二十九第二次发布，二一年四月二十九日实施。 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司2010-4-29发布 2010-4-29实施- 6 - NTC（MBS1000）开方机作业指导书 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司受控状态实施日期2010年4月29日适用部门开方车间受控实施责任者车间主管作业流程注意事项、自互检要求作业内容1 打开总电源，将电源开关扭至ON状态，在设备屏幕显示“设备初始化”时，请勿做任何操作

7、。 2. 检查设备气压、油压单元。 3. 检查设备冷却水单元。确定进水温度、设定温度是否符合切割要求。4检查并安装定向轮。定向轮判定标准为切深不大于1mm，左右切偏各不超过10度。确定后，将定向轮轮盘锁紧螺丝扭下，将定向轮套至轮盘台，轻微转动定向轮，使螺丝孔正对定向轮锁紧孔。装上螺丝，按交叉法锁紧螺丝。依此方法，对所有定向轮进行安装。(图1)注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。编制审核会审批准变更内容：何刚陈龙云传军、阎新奇薛抗美编号版本号总11页Q/GCL-WF 404222010a第1页NTC（MBS1000）开方机作业指导书 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司受控状态实施

8、日期2010年4月29日适用部门开方车间受控实施责任者车间主管作业流程注意事项、自互检要求作业内容5. 检查并安装导向轮。导向轮判定标准为切深不大于1mm，左右切偏各不超过10度。确定后将导向轮锁紧盖片螺丝扭松，转动并取下锁紧盖片，装进导向轮、导向轮锁紧盖片，扭动导向轮锁紧盖片至螺丝孔底位，锁紧螺丝。依此方法，对所有导向轮进行安装。（图2） 图1 图2 图36. 检查并安装限位轮。限位轮判定标准为表面无切槽。确定后将限位轮锁紧盖片螺丝扭松，转动并取下锁紧盖片，装进限位轮，锁紧锁紧盖片。依此方法，对所有限位轮进行安装。（图3）7. 检查并安装主轴编织滚筒。确定主轴编织滚筒是否符合切割要求。8查看

9、左右张力臂。把左右张力臂上下移动，观察张力臂在上限位时和下限位时在操作屏幕上观察行程所得的绝对值是否相同。 1主轴编织滚筒为切深不超过0.02mm，偏差不超过0.5°，导轮片的判断标准为布好线网，快速走线时钢线无明显摆动。注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。编制审核会审批准变更内容：何刚陈龙云传军、阎新奇薛抗美编号版本号总11页Q/GCL-WF 404222010a第2页NTC（MBS1000）开方机作业指导书 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司受控状态实施日期2010年4月29日适用部门开方车间受控实施责任者车间主管作业流程注意事项、自互检要求作业内容9. 安装放线

10、轮。扭下放线轮制动螺丝，擦拭并检查放线轮单元（转动是否灵活，是否有异常声响），用吊车装好放线轮，确定将放线轮轻微晃动，使放线轮和放线轮单元台相吻合（装时要注意轻放放线轮，防止撞坏放线单元，同时在装放线轮时，要注意放线方向是否与走线方向一致）。确定后，将制动螺丝和放线轮制动螺丝孔转动至同一直线上，将制动螺丝插进制动孔，扭进螺丝，使放线轮和制动台相连。确定后，将扭力扳手调节至120N·M，用扭力扳手扭紧放线轮。当扭力扳手发出“咔咔”声时停止锁紧。打开放线轮制动螺丝，并将螺丝装进制动台螺丝孔。确定后，转动放线轮，观察放线轮转动是否灵活。 10安装收线轮。扭下收线轮制动螺丝，擦拭并检查收线轮

11、单元。用吊车装好收线轮，确定将收线轮轻微晃动，使收线轮和收线轮单元台相吻合。确定后，将制动螺丝和收线轮制动螺丝孔转动至同一直线上，将制动螺丝插进制动孔，扭进螺丝，使收线轮和制动台相连。2装时要注意轻放收线轮，防止撞坏收线单元。注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。编制审核会审批准变更内容：何刚陈龙云传军、阎新奇薛抗美编号版本号总11页Q/GCL-WF 404222010a第3页NTC（MBS1000）开方机作业指导书 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司受控状态实施日期2010年4月29日适用部门开方车间受控实施责任者车间主管作业流程注意事项、自互检要求作业内容确定后，将扭力扳手调

12、节至120N·M，用扭力扳手扭紧收线轮。当扭力扳手发出“咔咔”声时停止锁紧。打开收线轮制动螺丝，并将螺丝装进制动台螺丝孔。确定后，转动收线轮，观察收线轮转动是否有晃动。11. 布线网。撕去放线轮上的包装纸，用卷线轮卷线150圈线，然后按照线的走向进行布线，布好线网后在收线轮上将线打结，并在收线轮上将线绕10圈左右，将线头压在新线下面（在此注意：因为NTC布线时，主轴不转动，故，布线时不能让放线轮转动，放线轮若转动，则线网会松，钢线会掉出线槽）。12张力设置为手动有效（小张力），点击左张力入、右张力入，待张力完全启动后，点击主轴启动（缓慢加速5%-30%）让张力均匀的分布在线网上。确定

13、钢线走线达100米时，停止主轴转动（缓慢减速30%-0） 13确认线槽。将主轴转速减至5%，然后将线拨至所要切割的线槽，四边确认无误后关闭（在此注意，面向设备操作面，靠近观察着的两主；注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。编制审核会审批准变更内容：何刚陈龙云传军、阎新奇薛抗美编号版本号总11页Q/GCL-WF 404222010a第4页NTC（MBS1000）开方机作业指导书 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司受控状态实施日期2010年4月29日适用部门开方车间受控实施责任者车间主管作业流程注意事项、自互检要求作业内容轴，第一槽到第十槽是从右往左数，背离观察着的两导轮第一槽到第十

14、槽是从左往右数。当在1、4轴调线槽时，将主轴反转5%，方便调线槽，在2、3轴时，将主轴正转5%，方便调线槽）主轴转动，点击手动张力无效（此时大张力启动），点击主轴转动，缓慢加速，让张力均匀的分布在线网上，确定钢线走线达100米时，停止主轴转动。14. 设置线长。关闭右张力、左张力，打开线位页面，设置线长为148KM（放线轮有线150KM，若购买钢线为140KM时，则设定钢线长度为138KM）并按线长复位键，确定后启动右张力、启动左张力，完毕后走线100米。15. 高度回零。（在每次机床断电后重新启动机床时一定要回零，或者在机床长期切割没有复位情况下可回零）。按住升起切割框，使机床达到参考点，确

15、定后松开按扭。16. 粘锭。清理干净工作台（第一次使用工作台时要用蘸满酒精的布对工作台进行擦拭），将泡沫胶喷于四边及承重部位，在工件台四角上分别放一块橡胶垫片。清理将要粘取的硅锭（氮化硅粉末，突出的杂质），然后用夹具夹住硅锭并用龙门吊将硅锭吊起。用叉车装好夹具，将工作台夹好并至硅锭正下方，开走叉车，放下龙门吊上的硅锭，使硅锭垂直的放置于工作台。打开并移走夹具，放置好后，调节硅锭在工作台上的分布位置使硅锭均匀的分布于工作台中间（要求左右上下偏差不超过5mm），然后装好工作台护板，并用螺丝扭紧。等待约3小时让泡沫胶风干，等达到切割要求时准备切割。注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变

16、更。编制审核会审批准变更内容：何刚陈龙云传军、阎新奇薛抗美编号版本号总11页Q/GCL-WF 404222010a第5页NTC（MBS1000）开方机作业指导书 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司受控状态实施日期2010年4月29日适用部门开方车间受控实施责任者车间主管作业流程注意事项、自互检要求作业内容 17砂浆配制。砂浆配制按砂浆配制作业指导书严格执行。18砂浆缸准备及连接。第一次清洗机床后，用隔膜泵将砂浆缸中的水、切割液抽干净，并用干净的布将砂浆缸擦拭干净。将回流缸的缸盖打开，将里面的水、切割液抽干净，并用干净的布将回流缸擦拭干净。将砂浆搅拌桶电源关闭，用叉车将砂浆搅拌桶叉至机床砂浆室旁，用

17、隔膜泵将配制好的砂浆打入砂浆缸中（注意砂浆泵液位显示至倒数3-5格时停止打入砂浆）。旋转砂浆搅拌扭使砂浆搅拌。 4在切片时，砂浆要求密度较低，开方时密度要求相对较高，故，砂浆配制时，碳化硅：切割液=1.13KG：1.125KG5正常在切割中搅拌旋扭位置为2位，需要加砂时，可将旋扭调节至3-4，使砂浆开始搅拌，杜绝砂浆沉淀注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。编制审核会审批准变更内容：何刚陈龙云传军、阎新奇薛抗美编号版本号总11页Q/GCL-WF 404222010a第6页NTC（MBS1000）开方机作业指导书 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司受控状态实施日期2010年4月29

18、日适用部门开方车间受控实施责任者车间主管作业流程注意事项、自互检要求作业内容19. 上锭。擦干净电磁台、绝缘纸（塑料纸）、定位框，将绝缘纸放置于电磁台，然后将定位框放于电磁台上，将粘好的硅锭的工件板在两对边装好吊装，将叉车装好吊具，用叉车将粘好的硅锭的工件板平放于定位框中间。 20电磁台通电加磁。旋下电磁箱电线连接帽、旋下电磁台电线连接帽，将电线连接头插至插孔中，扭动安全帽，确定连接紧后，给电磁台通电并加磁，确定后取出通电装置，并连接好连接帽。 6绝缘纸要盖过电磁台。7从定位框下轻微拉动绝缘纸，使绝缘纸平整。注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。编制审核会审批准变更内容：何刚

19、陈龙云传军、阎新奇薛抗美编号版本号总11页Q/GCL-WF 404222010a第7页NTC（MBS1000）开方机作业指导书 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司受控状态实施日期2010年4月29日适用部门开方车间受控实施责任者车间主管作业流程注意事项、自互检要求作业内容21安装导轨。取出导轨，将导轨安装好，并将导轨锁紧阀按下。 22装锭。升起切割框，擦干净切割室承重台，将已加磁的电磁台推入承重台上方，确认后点击工作台上升端，待电磁台被完全顶起后拉出转运小车，点击工作台下降端让工作台置于承重台上然后锁紧4个定位螺栓。23确认切割高度。放下切割框，使钢线在硅锭的最高处，点击高度复位，确认后升起工作台

20、约1MM，再次检查确认线槽，无误后打开砂浆（砂浆一定量），检查流砂状况，并清理砂帘。24安装保护罩、挡砂帘。取出保护罩，并按照轴位置所对应孔位置的原则将保护罩进行安装，并将锁紧螺丝带紧。在2、3轴下，挡砂帘挂在挂位螺丝上，并把挡砂帘叠好、2轴下的砂浆盖板反转。关门并检查砂浆密度、流量、钢线长度等切割条件。8观察定位销是否在定位孔中间。9注意不要把线碰断。注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。编制审核会审批准变更内容：何刚陈龙云传军、阎新奇薛抗美编号版本号总11页Q/GCL-WF 404222010a第8页NTC（MBS1000）开方机作业指导书 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司

21、受控状态实施日期2010年4月29日适用部门开方车间受控实施责任者车间主管作业流程注意事项、自互检要求作业内容25热机。再次核对切割条件。一切符合切割要求后，点击全自动开始切割。切割过程中注意检查收线轮、放线轮的排线情况，以及砂浆密度、流量的变化，出现问题及时排除。（注意10）26停机核对线槽。在热机时，热机约10分钟，停机检查是否有对错槽现象，确定无误后，开始切割（手动切割、不能点击全自动切割）。27填写切割记录单。机床开始切割后，利用空闲时间按照要求对设备运行的记录单据进行填写。确保记录单据真实、有效、干净、整洁、及时。28结束切割。切割结束时机床会自动停止（工作台停止进给但张力、砂浆不会

22、自动关闭）。打开切割室门观察硅锭是否被切透。29. 取保护罩。扭松保护罩锁紧螺丝，将保护罩取下并放至专用的清洗小车。30剪线、抽线。剪断收线轮、放线轮、2轴、3轴的钢线。并把钢线抽出。31出锭。松开定位螺栓并移动至下位，升起切割框，点击上升端，使汽缸将电磁台顶起。安装好导轨，并把2轴下的砂浆盖板反至正位。将运转车推入电磁台下，点击下降端，使电磁台落于运转小车上，拉出运转小车。32消磁。旋下电磁箱电线连接帽、旋下电磁台电线连接帽，将电线连接头插至插孔中，扭动安全帽，确定连接紧后，按红色按扭进行消磁。确定后取出通电装置，并连接好连接帽。10此时机床有热机过程，若机床出现断线，处理完毕，再次切割的时勿必不能点击全自动切割，否则，在断线处会有明显“深线痕”。注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。编制审核会审批准变更内容：何刚陈龙云传军、阎新奇薛抗美编号版本号总11页Q/GCL-WF 404222010a第9页NTC（M