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文档简介
1、第一章 总则JEM-210(0 HR)透射电子显微镜操作规程1 检查仪器状态、实验室环境1.1离子泵真空度必须优于 4×10-5Pa;1.2电子枪、镜筒、照相室、储气罐真空状态必须显示为 READ;Y1.3冷却水箱的温度,包括进水口(左) 、出水口(右)均必须在 17.518.5之间;1.4电脑操作界面无警报提示;1.5室内温度在 1725之间,湿度在 60%以下页脚内容 4注意:出现以上任何一点异常均不得进行下一步操作,须立即告知仪器管理员2 升电压每天做第一个实验前需升电压注意:升电压时必须注意 Beam current的稳 性,当每步完成时的 Beam current超过对应步
2、骤电压变化Step:kvTime /Step:Sec用时/minBeam current A10 120kv点击HT ON1612120kv 160kv0.568813160kv 200kv0.1320101定值即高压箱放电)时,必须等 Beam current自我恢复到对应值并稳定一段时间才能进行下一步操作3 加液氮3.1加冷阱液氮每天第一次加冷阱液氮时必须分两次加,先加入少量( 1/3 瓶热水瓶)预冷,待冷阱温度稳定后再 加满,此后每隔 34 个小时加一次液氮(直接加满) 。3.2加能谱仪液氮每隔 1天加一次能谱仪液氮, 此工作由电镜楼楼管负责, 若能谱仪发出缺少液氮的警报声应立即告知楼管
3、或仪器管理员注意:加液氮时观察屏的盖子一定要盖上,以防液氮腐蚀铅玻璃;操作面板也盖上塑料薄膜以防 止液氮滴溅腐蚀按键。4 装样、进样 注意:任何通过该操作培训、考核的用户未经授权不得对其他用户进行培训,违者重罚加灯丝(发射电流) 点击 Filament ON注意:加灯丝前须确保 Beam current在 101A左右,离子泵真空度优于 2× 10-5Pa。6 观察第一章 总则6.1普通形貌6.1.1 低倍下(按 LOW MA)G找到样品,切换到放大模式( MAG)1 , 用 节放大倍数;MAG/ 调6.1.2 放大倍数调至 40K,自动聚焦(按一下 STD FOC)U;S6.1.3
4、 调 Z轴高度(法一:按 IMAGE WOBB, 调小,调节高度至只剩一明亮光斑)X用 Z Z 调节, 至图象不晃动;法二:将光斑 Brightness6.1.4 聚焦( OBJ FOC,US旋转 COARS粗E调、调)N6.1.5 拍照(按 F1升降荧光屏,动态采,聚焦后冻结即可,放下光屏 F1后打开)6.1.6 保存图像6.2高分辨像6.2.1 检查电压中心:将放大倍数调至 400K,光斑散开,按 HT WOB检B查电压中心是否对中(图像有 无左右上下晃动,有晃动则电压中心没有对中) 。如电压中心没有对中,按 BRIGHT TIL,T用DEF/STIG X、Y调节,再关闭 HT WOB。B
5、6.2.2 消象散:一般用 CC观D察操作,选择非晶区域,按 OBJ ST,IG用DEF/STIG、 XY调节至图像无流沙 形貌或 FFT出现傅立叶环。6.2.3 找到样品放大、聚焦、拍照第一章 总则6.3电子衍射在 SA MA模G式下找到样品,加上选区光阑,切换到 SA DIF模F式,调节亮度 Brightness、聚焦 Diff Focu,s 按 PLA用 DEF/STIG、 XY调节衍射斑点的位置。并旋转挡针挡住最亮点进行拍照。6.4成分分析6.4.1找到样品,将需要测试的区域移动到荧光屏中间,适当调整放大倍数,将光斑缩小到该区域6.4.2 点击探测器控制,打开自动快门。页脚内容 14通
6、过改变“处理时间”将“死时间”控制在30%左右。6.4.3 点击采集谱图,6.4.4 采 集 完 点 击 确 认 元 素 , 通 过 双 击 元 素 周 期 表 上 的 元 素 添 加 或 删 除 元 素6.4.5 点击报告,按 出原始数据。键将数据导出建成 word 文档,此外可在谱图上点击右键选择EMSA输7 关灯丝(发射电流)将放大倍数调到 40K,光斑散开,点击 Filament OF。F8 换样双击归零注意: 1)拔样品杆前应将样品位置归零,打开 N2气瓶阀门; 2)任何通过该操作培训、考核的用户未经授权不得对其他用户进行培训,违者重罚9 仪器使用登记 注意:实验完成后应如实填写使用
7、时间、使用情况、仪器参数,有任何异常均须记录10 降电压每天完成最后一个实验之后需降电压。降电压前应关闭灯丝步骤电压变化Step:kvTime Stepsec:用时/min1200kv-120kv0.5382120kv-0点击 HT OFF111 烘液氮此操作必须在电压关闭、样品拔出后才能进行:插入烘干器,依次点击maintenance, ACD&Bak,eACD Heat O,N将离子泵量程调至最大。实验完成后关闭 N2 气瓶阀门。12 整理实验室,再次检查水、电、气是否正常13 紧急情况、仪器故障、事故处理13.1 紧急情况处理发生地震、火灾等紧急情况需要人员立即撤离而来不及正常关机时,打开左控制台,按一下EM STO,P然后撤离现场, 待情况解除后由仪器管理员处理; 遇突然停电,应告知仪器管理员, 由管理员根据具体情况决定如何进行相关处理。13.2 仪器故障处理 当仪器发生故障时,应
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