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文档简介
1、平行度丈量步骤 激光系统可以用于丈量线性和旋转的平行度。 并行丈量包括2套直线度丈量。这是表示之前曾经完成并充分了解直线度丈量,采集直线度数据，然后并行性分析。平行度丈量原理 线性平行度丈量用于确定两个标称平行轴之间的角度关系。平行度丈量由两组直线度丈量组成，用共同的直线度反射镜参考基准来进展就像垂直度丈量一样。 从第1运动轴的斜度 ( 1) 中减去第2运动轴的直线度数据采集斜度 (2)，算出线性平行度。 线性平行度 = 1 - 2线性平行度直线平行度 计算直线平行度误差 从第1运动轴的斜度 ( 1) 中减去第2运动轴的直线度数据采集斜度 (2)，算出线性平行度。 线性平行度 = 1 - 2固
2、定直线度反射镜固定和挪动的光学设计之间交换的丈量旋转平行度 旋转平行度丈量是确定旋转轴和一个线性轴之间的角。 直线度反射镜放置在旋转轴如车床卡盘和直线度干涉镜沿着直线轴，如图3所示。反射是经过180旋转的两组之间的直线度丈量，如图4所示。激光丈量由以下组件构成： XL-80激光头 直线度光学镜组 直线度丈量附件 垂直度丈量光学镜组 LaserXL校准软件平行度丈量配置线性平行度配置程度平面平行度垂直平面平行度程度平面平行度替代设置垂直平面平行度替代设置程度平面平行度丈量垂直平面平行度丈量程度平面平行度替代设置丈量垂直平面平行度替代设置丈量旋转平行度准直平行光束 线性平行度光束准直 对准沿着第一
3、丈量轴 根据正常直线度准直程序 对准沿着第二丈量轴 确保合理的光束强度坚持在第二个轴的丈量经过以下调整的要求: 垂直和程度激光转动 俯仰和旋角激光调整 垂直和程度直线度干涉镜的转动 细转动调整直线度干涉镜正面。 直线度干涉镜有关垂直轴的细旋转。旋转平行度准直 对准沿着第一丈量轴 根据正常直线度准直程序 对准沿着第二丈量轴 旋转的旋转轴，连同直线度反射镜，经过180。 确保直线度干涉镜挪动全程有足够的信号强度坚持如下调整的要求。 小幅度的垂直和程度激光转动。 小角度和倾斜调整激光。 小的垂直和程度直线度干涉镜的转动。 细转动调整直线度干涉镜正面。 直线度干涉镜有关垂直轴的细旋转。 精细调整的回转镜运用时。线性平行度符号惯例固定反射镜固定/挪动旋转平行度符号惯例影响平行度丈量精度的要素 同直线度丈量的影响要素平行
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