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文档简介

1、附件 2：编 号国家计量技术法规项目编制说明项目名称微纳米几何 量计量器具制定或修订制定归口单位全国几何量长度计量技术委员会主要起草单位中国计量科学研究院起止年限2020 年 1 月2020 年 12 月2019年11月30 日编制说明根据国家市场监督管理总局计量函【 2019】42 号市场监管总局计量司关于国家计量技术规范制定、修订及宣贯计划有关事项通知，受全国几何量长度计量技术委员会的委托，由中国计量科学研究院负责制定微纳米几何量计量器具量值传递表的工作。随着科技水平的不断发展和产业结构升级， 微纳米几何结构的准确计量已经成为制约国家重大领域关键部件研发、 微纳米产业贸易交接的重要前提。

2、目前，我国在微纳米几何量计量方面尚未形成一套完整的、可覆盖全量值范围内溯源的体系，相关规程也属空白。由于测量原理不同， 各类微纳几何结构测量仪器测量结果的一致性难以保障，而产业的飞速发展和大量计量检测需求表明， 目前迫切需要建立一套具有完整溯源连条、 覆盖多种测量原理的微纳米几何量计量器具作为基准， 以满足全国范围内的微纳米几何量值溯源和传递需求。而经过多年积累和努力， 中国计量科学研究院在基于各种原理的微纳几何量计量溯源方法、 装置、量值传递路线与知识技术等方面的积累日趋完善，其中多项计量能力通过了 CMC 的国际同行评审以及 CNAS 认证，在国际比对中也取得了较为满意的比对结果，完全具备

3、制定技术规范的能力， 建立一套完整的微纳米几何量计量链条的时机已经逐渐成熟，特此提出本法规。本计量法规主要从三个层级规定了微纳米几何量计量器具的溯源及量值传递体系，包括：1. 描述微纳米几何量计量基准及相关内容；2. 描述微纳米几何量计量标准器具及相关内容；3. 描述微纳米几何量工作计量器具及其相关内容；在此基础上，制定微纳米几何量计量器具溯源系统框图， 明确量传关系、涉及的参量、测量范围及不确定度。本法规制定后，将满足全国范围内的微纳米几何量值溯源和传递需求，对于规范相关行业中微纳米几何量测量方法及量传体系具有约束作用。本法规既可完善我微纳米几何量量传体系， 又可满足相关行业的发展需求， 对于提高我国产品质

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