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文档简介
1、半导体器件开发简要流程 (BJT、FRD、MOSFET、IGBT、Thyristor etc.)半导体器件开发简要流程(BJT、FRD、MOSFET、IGBT、Thyristor etc.)1. 项目可行性评估项目是否能够取得成功,前期的评估起到决定性作用,项目需要重点评估的方面包括:产品的国内外市场需求及市场前景、 产品的生命周期评估: 市场需求决定了产品生产规模及利润水平;产品生命周期确定了产品今后还能持续发展的前景;开发者所具备的优势:产业政策、资金技术、配套及人才等优势;把握核心竞争力:资金、技术、人才(半导体产业为资金、技术、人才密集型产业)。2. 项目方案及技术评估项目生产开发所采
2、取的模式、项目运作过程及计划制定、实施:确定器件设计及工艺生产实施方案: 技术引进还是自主开发、 自己生产还是外协代工等;详细评估器件设计及工艺关键技术及难点: 确保器件开发及工艺生产均能按计划成功实施;确保器件设计及工艺实施后产品的成本优势:产品性能、价格必须具备竞争力。3. 器件及工艺流程设计方案确定后器件及工艺工程师便可以联合开展设计相关工作:现有目标工艺流程及特定器件最佳流程的匹配:现状和目标总是有差距的;器件设计参数调整: 设计仿真优化器件参数, 静态、动态所有参数间折中应对不同应用;工艺流程优化:工艺流程最优化与工艺设备、加工时间、加工费用等优化。器件虚拟制造:(MOSFET、IG
3、BT 工艺流程及器件结构设计)4. 器件版图设计根据器件及工艺设计的结果,可以开始进行版图设计:版图布局及布线,功率器件和 IC 版图类似,也涉及布局布线:例如栅极 BUS 的布局; 版图的绘制及设计规则检查:根据工艺及器件本身要求,需要满足设计规则( DRC); 根据不同的工艺线及光刻匹配要求完成版图提交及检查( Emaskview )、完成掩模版制作。器件版图设计:(FRD、 MOSFET、 IGBT 版图设计)5. 工艺流片及芯片测试工艺生产线根据工艺条件加工芯片,并给出测试结果:工艺线根据需要可能先开发单步工艺,无问题后进行工程流片;工艺过程监测及 WAT测试,完成后进行芯片( CP)
4、测试及分析;根据不同的失效原因进行失效分析及设计下一步工艺分组实验(DOE)。工艺及失效分析(部分分析手段) :成的6.封品设如制芯装测计果定片、试流出后封测终及程现进装试测失。成行规合及效品成范格可分失品:后靠析效测根,性(,试据需测部:应根要试分进用据封测行需不装试静要同后及态制的进分参定失一析数封效步手、装原测段动形因试)态式进评测及行估:试打失:测线效试要分和求析可等;靠;性根测据试结;果反馈到上面When you are old and grey and full of sleep,And nodding by the fire, take down this book,And sl
5、owly read, and dream of the soft lookYour eyes had once, and of their shadows deep;How many loved your moments of glad grace,And loved your beauty with love false or true,But one man loved the pilgrim soul in you,And loved the sorrows of your changing face;And bending down beside the glowing bars,Mu
6、rmur, a little sadly, how love fledAnd paced upon the mountains overheadAnd hid his face amid a crowd of stars.The furthest distance in the worldIs not between life and deathBut when I stand in front of youYet you don't know thatI love you.The furthest distance in the worldIs not when I stand in
7、 front of youYet you can't see my loveBut when undoubtedly knowing the love from bothYet cannot be together.The furthest distance in the worldIs not being apart while being in loveBut when I plainly cannot resist the yearningYet pretending you have never been in my heart.The furthest distance in the worldIs not struggl
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