量规仪器校正与管理教材

1、一、 量測的定義及重要必性1、 量測的定義: 一系列的操作,以決定某量的數值 量: (1) 計算物體的輕重,距離的長短,容量的多少(2) 容器,容受事物的限度 測: 度量 (測驗) ,觀察2、 量測的重要性(1) 我們可以利用量測,以控制別人製作物件的品質及方法(2) 我們可以利用量測,作為人類文明或科學進步的敘述二、 國際單位制: 公制單位1、 公制單位為十進位、換算簡單2、 國際單位制簡寫為SI(The international system of units)3、 國際單位制有三大類:(1) 基本單位: 7個 長度米(m)、質量公斤(kg)、時間秒(s)、電流安培(A)、 熱力學溫度卡

2、爾文(K)、發光強度坎德拉(cd)、物質的量摩爾(mol) (2) 補充單位: 2個 平面角弳(rad)、立體角弳(sr) (3) 導出單位: 19個 附: 其他特殊的組合名稱: 十進位的10倍分名稱 16個三、 單位符號之書寫規則:1、 不論全文中所使用之其他字體為何,但單位符號的書寫與印刷時應使用“正楷的大寫或小寫之羅馬字體”。2、 除正常標點外,單位符號其後不得有句號,且必須寫在完整數值後面,其與數值之間必須留有一字之空間,以且復數時仍不改變其字體。3、 國際單位倍分數(十進位)之應用甚為方便,在特殊用途方面能使數字的位數改在一個實用的範圍內。4、 字首符號可與單位符號組合使用,也可以1

3、0的正負乘方表示,並可與其他單位符號組合以形成復合單位符號 例: 1 cm3=(10-2 m)3=10-6 m3 1 mm2/s=(10-3 m)2/s=10-6 m2/s5、 數個復合字首不可合並使用 例: n m 不可以寫成 n u m6、 十進位倍分數的應用,通常可使數字之位數改寫為0.1到1000之間,例: 0.00567 m可寫成 5.67 mm7、 當一個復合單位是由兩個或兩個以上之單位相乘組成時,可用下列任何一方式表示例: NM N.M NM8、 當兩個單位相除而得一復合單位時,可用下列任一方式表示例: m 或 m / s 或 -1 s ms 9、 特殊導出單位之名稱及符號者,其

4、第一個必須大寫外,其他應用小寫字母 例: Hz Pa W b10、非國際單位可與國際單位及其倍分數並用四、 量測的結果1、 量測的結果(1) 量測的結果必須包括“數值部分”及“單位部份”兩項(2) 若表示同一物理量,因所選用的單位之不同,其數值部份亦不同(3) 數值部分的表示,乃以單位的倍數來表示,因為是估計值,故一定有誤差(4) 能夠“數”出來的量不需要量測,因為它沒有“誤差”其量測的結果仍應有“數值”部分和“單位”部份2、 量測值的意義(1) 一個完整量測結果的“數值部份”是由一組“準確”量測的數字和一個“估計”數字所組合而成。 量測值 = 準確值組 + 一位估計值(2) 準確數值記到量具

5、的“最小刻度”,估計數值則記到最小刻度的“下一位”(3) 估計值只有一位,在估計值後面上任何數字是“毫無意義”的,應該除去(4) 若物體恰好物於刻線上,則必須加上估計數值為“0”3、 平均值的意義(1) 任何量測結果都免不了有誤差,又每次量測結果“不盡相同”,故不可以一次量測值為準,必須以多次量測再求取“平均值”,才更接近真值 平均值 = 多次量測結果的總和 / 量測的次數。(2) 在求取平均值以前,若發現有“明顯錯誤”的數值應捨去不用。(3) “平均值”應介於所有量測數值中的最大值與最小值之間。(4) 平均值的“準確數值的位數”應與量測值相同(後面位數應采四捨五入法調整之)。4、 記錄方式在

6、精密量測時,量測者與記錄者應分由二人分別擔任,且應注意下列事項量測者應注意下列事項:(1) 讀取量測值時應注意“發音正確”。(2) 讀取量測值是否有錯誤,讀後“立即再確認”。(3) 盡可能以“同一量測條件進行量測,如由上而下、由左而右”且以相同速度進行。記錄有且應注意下列事項:(1) 先將“日期、量測者及記錄者姓名、使用量測儀具名稱、天候、溫濕度、量測場所”等先行記錄記藏之。(2) 對於量測者之讀取量測值之發音,必須“正確的復誦”,並於復誦時自行檢查並確認記錄是否有錯誤。(3) 記錄值要正確, “一旦記錄上去後,便不得用任何方法清除記錄值,只能將原記錄用筆劃一線,並在旁注寫正確數值並簽名之”。

7、(4) 記錄用筆絕對禁止用鉛筆。系統誤差 誤 差低精密度隨機誤差重大誤差人為過失儀器誤用氣 流輻 射塵 埃噪 音遲 滯解 析 度濕 度偏 移儀 器環 境觀 測水 平負 載歸 零磨 損壓 力振 動溫 度干 擾讀 取視 差記 憶(5) 特別注意在“量測時是否有異狀發生”,若有應記錄於記錄表之備注欄內。(6) 若需要制成圖表時,先記錄數值,再劃圖表。五、 量測誤差1、 量測誤差的分類 2、 量測誤差的分類的定義六、 塊規認知簡介1、塊規各部份名稱:2、標示: 每一塊規必須標記其公稱尺寸,制造廠商的記號,材質,等級及制造批號,包裝塊規盒上亦需 要標注記號。3、 塊規的形狀:(1) 長方形(2) 正方形

8、(3) 其他特殊形狀4、 塊規的制造程序選擇材料機械初加工成形熱處理粗磨削(機械) 精研磨(人工) 尺寸檢驗分級包裝5、 塊規的材料 5.1、材質條件 (1) 精度高 (2) 材質穩定: 熱膨脹系數要小 (3) 硬度: 塊規的材質經熱處理完成後,硬度要高,耐磨性要高,同時應兼具有耐蝕性。 5.2、塊規的材質 (1) 硬化鋼料 (2) 不銹鋼 (3) 其他特殊材質: 碳化鎢、碳化鉻、陶瓷6、 塊規精度與等級劃分 6.1、使用光學平鏡及光波干涉儀的檢驗,依序檢驗塊規的標稱、尺寸、平行度、真平度,再將塊規加以區分等級。 6.2、依照塊規用途的區分為四種級別: (1) 參考級: 作為基本參考標準或其他

9、級塊規精度的參考標準尺寸。 (2) 校驗級: 作為量具室之參考用塊規,提供高精密量測的儀器校準使用。 (3) 檢驗級: 作為QC用,應用於機具的調整校驗,校驗用之量具 (4) 工作級: 作為工具室或生產線上直接使用的塊規,現場檢驗直接工作用。7、 塊規的組成常依塊規的基準厚度來區分,一般可分為1 mm及2 mm兩種,每一種厚度之塊規依據等級、規格的區別,每盒之片數不同 例: 112片、103片、88片、45片。8、 塊規的組合 8.1、塊規組合的程序有下列要點 (1) 依現有的成套塊規組之規格條件為依據 (2) 消去法: 每選出一個尺寸,將總尺寸消去一數,依尺寸的最小位數起,依序向前選出;當尺

10、寸的整數部份由最大位起,依序向後選取。 (3) 所選取的塊規個數愈小愈好。 若塊規盒組內備有耐磨塊規保護片時,在選用時應將耐磨塊規保護片的厚度列入計算式內,即先將組合尺寸減去兩塊耐磨保護片的厚度,再進行消位組合。 8.2、塊規的扭合與密接性 8.2.1 扭合 塊規的扭合是將前述所選出的數片塊規,應用特殊方法使他們變成一個整體的操作過程稱為扭合。 8.2.2 塊規扭合的方法 (1) 推疊法: 此方法針對長方形一厚一薄的塊規扭合用 (2) 旋轉法: 此方法針對正方形塊規的扭合用; 長方形兩塊厚的塊規 8.2.3 密接: 塊規密接的原因 (1) 大氣壓力的說法 x (2) 材料分子間的吸力 ISO

11、(3) 油膜分子間的吸力 USA 8.2.4 塊規扭合的注意事項 (1) 塊規扭合前,應將塊規徹底清潔。 (2) 量測面切勿用手觸摸,必須戴上細棉質或隔熱麂皮手套,才可以進行塊規扭合密接或其他的工作。 (3) 扭合後的塊規不可以立即使用,必須等待其物理特性穩定之後(約510分鐘),才可以進行量測之工作。(4) 選取適用的塊規組合尺寸後,應立即將塊規盒蓋關閉,將選出的塊規應分別分開放置在清潔的無塵紙或麂皮上,並嚴禁在開啟的塊規盒上進行扭合作業。(5) 數塊規的扭合,應先從尺寸最大的一對塊規先扭合,然後再依尺寸由大而小之順序扭合密接; 分開時則按相反順序為之。(6) 扭合後的塊規,經使用完畢後,應

12、即刻分開,否則時間過久,強行分開易造成塊規的量測表面受損。9、 塊規的附件 9.1、使用塊規附件來轉移尺寸有下列之特點 (1) 使用塊規附件夾持組合,可以防止塊規在使用時不致脫落分散而損傷。 (2) 在尺寸轉移時,用塊規附件來密接塊規,則各塊規間在組合時受力均勻,則能達到原有須要的尺寸精度。 (3) 可按工作空間及工作形狀的方便化,選用適當的塊規附件來組合塊規,使塊規之功能更能發揮。10、塊規的保養與維護(1) 工具: 手套 (2) 功能: A. 防止手紋印在塊規量測面上外 B. 防止手熱的傳導,而引起量測精度的誤差10.2塊規的外觀檢驗 檢查塊規是否留有殘留磁性,若有則應使用消磁器消磁。10

13、.3塊規的收藏 (1) 用細綿質或麂皮或軟質橡皮手套工具接觸塊規,切忌用手直接與塊規接觸。 (2) 對號入座的放入塊規盒中。 (3) 放置於自動控制的空調室內,溫度為20 ±1以內,相對濕度為50%以下。 (4) 在工作區域內或量測室,嚴禁放置食物或邊吃邊工作,因為食物會產生檸檬酸及鹽分,易使儀器腐蝕。10.4 塊規的維護用具器材 (1) 修磨刮傷毛邊的去痕石: 黑色花崗石、天然阿肯色去痕石、泉華石灰石等。 (2) 光學平鏡 (3) 清洗液: 乙醇、丙酮等 (4) 防護油: 凡士林 (5) 其他器材: 軟質麂皮、細棉質手套、無塵紙、棉花棒、放大鏡等。 (6) 其他設備: 消磁器、超音

14、波清洗器等。11、塊規的使用時機 11.1一般使用塊規的時機有下列狀況 (1) 精密儀器,量具等其準確度有需要重新確認時 (2) 在允許極微小尺寸變化的長度須要增加時 (3) 精密物件其準確度需要增加時 (4) 從事高精確度的量測工作,而一般量具與技術無法達到時 (5) 精密儀器之設計與製造時 (6) 盡可能使用塊規附件夾持塊規使用,避免扭合塊規使用或直接使用塊規量測,因為扭合塊規 使用直接使用,容易造成塊規的磨損與刮傷。 (7) 購買塊規須視工作之需要而定,買小套組塊規較好,買一盒大的不如買兩盒小的,不要買精度等級過高的塊規,記住合用即可。12、塊規的精度校驗 12.1校驗周期: 1次 /

15、年 12.2 校驗分類 (1) 一般性校驗,可以在工廠內自行檢驗 (2) 校正周期校驗 12.3一般性塊規校驗項目 (1) 準備工作: 首先必須將塊規面清潔,使塊規表面無油脂,灰塵等,另外,注意校驗塊規場所的溫度必須合於標準的環境。 (2) 外觀檢查: 使用放大鏡仔細檢查塊規面及四周邊角等,是否有刮痕、缺口、毛邊, 因為這些痕跡的存在,會使塊規在扭合密接時傷害另一塊塊規面, 甚至造成扭合密接困難. 去除刮痕的方法參照塊規的維護與保養方法, 或送原廠商整修。(3) 真平度校驗: 將光學平鏡略施壓力壓在待校驗塊規面上,放在單色燈源下,使產生45條理想的干涉條紋為止,由干涉條紋直度或彎曲狀況,就能辨

16、別塊規面的真平度是否正確(4) 平行度校驗: 將相同尺寸的標準塊規與待校驗塊規,一起放置在單色燈源與光學平鏡下面,略施壓力使產生45條干涉條紋以標準塊規的平行度為標準,觀查比較待校驗塊規面的干涉條紋數及次序,即可得知待校驗塊規的平行度。12.4 校驗周期的塊規校驗項目 (1) 首先要建立任何一種量測系統及追溯體系 (2) 電子 機械式比較儀校驗系統 (3) 光波干涉計的校驗方法七、游標卡尺校驗實務1、游標卡尺的種類,構造及各部分名稱(提示: 拿把游標卡尺講各部分名稱)(1) 游標卡尺可以區分為M . CM. CB三種,其它的特殊游標卡尺2、游標卡尺的原理游標卡尺是由本尺或稱主尺及游標尺或稱副尺

17、組合而成的量具,利用本尺刻劃與副尺刻劃來讀取工作物面間的距離3、游標卡尺的刻度形式公制: 五種英制: 三種ISO3599 1976 定出國際規格,最小讀數為0.1、0.05、0.02 mm 三種,主尺1 mm 刻劃。4、游標卡尺的用途(1) M型: 外側量測、內側量測、深度量測、階級量測(2) CM、CB型: 外側與內側量測5、 特殊游標卡尺(1) 量表型游標卡尺(2) 數位電子式游標卡尺(3) 定壓式游標卡尺6、 游標卡尺的使用與維護 6.1使用前游標卡尺的外觀功能檢查(1) 按工件要求之公差與工件形狀及大小,選擇適宜的精度與型式之游標卡尺(2) 將選用之游標卡尺擦拭清洁(3) 檢查副尺是否

18、推移順暢(4) 將本尺與副尺兩測爪閉合密接,檢查本尺與副尺之0刻度線及副尺之最後一條線是否對齊; 附表式游標卡尺則檢視指針是否歸零(5) 舉起游標卡尺對著光源處,檢查兩外側測爪是否閉合良好: 正確的游標卡尺外側爪應無光線透過(6) 同時檢查兩內側測爪,透光處是否成一直線且無重壘現象(7) 再一次移動本尺與副尺,將深度杆置於平板上,向下滑動本尺,使本尺深度基準面平貼於平板面上,然後按(4)、(5)、(6) 之步驟再一次檢查游標卡尺的0刻度線,外測爪,內側爪等是否合於標準6.2使用中的注意事項(1) 將量測工件各部擦拭清潔(2) 將兩測爪夾持工件欲量測處,注意測爪應與工件保持垂直,量具量測軸線與工

19、件量測軸線要平行(3) 測爪夾持工件時,應盡量靠近主尺,並用適當之量測力量夾持,以減少誤差發生(4) 內側量測時,測爪應盡可能深入孔之內部,而測爪應平行且完全的接觸於工件內側,內徑尺寸應量取最大值,槽寬應量取最小值(5) 游標卡尺的深度杆,因杆小容易彎曲應小心使用,量測時要保持深度杆垂直於工件量測面: 深度杆不適宜用來作階級段差量測(6) 階級量測時,主尺端面確實靠於工件肩部面,主尺平貼工件表面,推動副尺使主尺表面確實靠於工件基準面(7) 欲得精密量測結果,應在同一部位實施多次(23次)量測,並加以記錄,然後求取平均值。(8) 若實施大量工件之量測,可以采用電子游標卡尺,連數據處理機,將量測值

20、記錄,列印,並加以統計,分析等工作。6.3使用後注意事項(1) 整支游標卡尺應詳細擦拭,確勿將磨粒等滲入副尺夾縫內。(2) 使用後收藏時,應將主尺與副尺兩測爪分離0.10.2 mm, 不可將副尺固定螺絲鎖定。(3) 對特大型游標卡尺於保管時要注意不可壓傷主尺或傷及測爪。(4) 應建立管理卡片記錄系統,依名稱、等級、最小讀數、使用別、制造資料來源、使用者等詳加記錄,並實施23次 / 年的定期檢驗。(5) 副尺的移動必須是平穩而且順暢,若太鬆或太緊,應調整滑動件上兩個小螺絲,將螺絲輕輕固定,再退鬆1/81/6轉即可。7、游標卡尺量測誤差探討 7.1 游標卡尺構造上的誤差與阿貝定理之關係 (1) 阿

21、貝定理原則( Abbcs ): 當工件量測的軸線與量具標準尺寸線相重合,或成一直線時即可獲得最高精確度。 舉例: 若將刻度置於量測軸線的延長線上,設被量測物直徑為L,主尺刻度R表示主軸讀數,若主軸傾斜 角時,則量測誤差如下:從上圖可知,實測的工件直徑為L,但誤認為就是工件直徑L,又令: 量測誤差為: S則: L+S=RL+S=R R-L=S L-R= -S又因為: L=R(但在許多場合上,量測誤差S均被省略不計) 在許多場合上,量測誤差S均被省略不計7.2 游標卡尺構造上與視差之關係7.3 游標卡尺構造上量測力之關係(1) 量測力(2) 游標卡尺的測爪形狀與厚度8、游標卡尺的校驗 8.1 游標

22、卡尺外觀的檢查(1) 在使用前或定期檢查工作,應檢視內外測爪,測深杆,刻劃等是否有傷痕,變形等不良現象,副尺滑動是否順暢,刻度刻劃是否歸零; 測爪閉合後視空隙是否均勻平齊。8.2 游標卡尺總合精度的校驗8.2.1 游標卡尺的使用率非常高,內外測爪量測面可能磨損,而失去準確性,故必須定期校驗精度,校驗工作應在溫度與濕度之監控下進行,否則會產生誤差。(1) 外側測爪精度校驗: 利用精測塊規夾於外側測爪量測面間,判讀游標卡尺尺寸,是否與精測塊規尺寸相同,如有差數就表示外側測爪總合精度有誤差,由此誤差與下表比較可得游標卡尺所屬等級; 通常校驗時將本尺全長分成57等份來校驗,以判別其各段誤差及累積誤差之

23、範圍。(2) 內側測爪精度校驗: 將塊規利用塊規附件夾持器夾持好,校驗時內測爪量測塊規附件之間格,其結果與外側測爪之方法相同判別。8.3 游標卡尺量測力的校驗游標卡尺應該在全量行程保持滑動順暢,沒有鬆馳或卡住之現象,因此量測力校驗的方法,是采用抗張拉力的方式,將本尺測爪固定,然後藉著彈簧秤拉副尺,當副尺開始滑動的霎那,檢視彈簧秤上指示的拉力大小,再與拉力數表比較是否相符合,若量測力不正確,則調整副尺上銅片固定小螺絲,常無法調整到適當之量測力時,必須更換銅片。附: 游卡尺總合精度表 單位: mm最小讀值0.05 mm0.02 mm等 級1級2級1級2級測 定 長100以下±0.05&#

24、177;0.10±0.02±0.04100<<200±0.05±0.10±0.03±0.06200<<300±0.05±0.10±0.03±0.06300<<400±0.08±0.15±0.04±0.08400<<500±0.10±0.15±0.04±0.08500<<600±0.10±0.15±0.05±0.1060

25、0<<700±0.12±0.18±0.05±0.10700<<800±0.12±0.18±0.06±0.12800<<900±0.15±0.20±0.06±0.12900<<1000±0.15±0.20±0.07±0.14八、分厘卡校驗實務1、分厘卡的原理是根據螺紋的圓周運動,使得主軸沿軸向產生長度移動的原理制成.2、分厘卡的構造2.1 分厘卡的構造依形狀、種類及用途可分類成許多种(1)

26、外側用分厘卡(2) 內側用分厘卡(3) 特殊用途分厘卡2.2 分厘卡的構造(1) 定壓裝置(2) 標準棒(3) 內側用分厘卡一般內分厘卡按用途及構造可分為:A 卡儀型內側分厘卡B 三點接觸式內側分厘卡C 棒形內側分厘卡2.3 分厘卡各部分的名稱(提示: 拿一把分厘卡講各部分名稱)2.3.1 名稱 2.3.2 區別3. 特殊構造裝置的分厘卡(1) 液晶顯示型分厘卡(2) 主軸直進式分厘卡4 一般分厘卡的使用方法4.1 選擇適當的分厘卡(1) 按工件公差大小選擇適當的分厘卡: 一般原則是量具本身的最小讀數,是取工件公差數的1/51/10倍(2) 按工件大小選擇適當的分厘卡: 一般公制分厘卡每隔25

27、 mm一支, 英制分厘卡每隔1” 一支(3) 按工件形狀選擇適當的分厘卡4.2 分厘卡的清潔保養及使用注意事項(1) 保持分厘卡各部位之清潔,無油垢,灰塵等(2) 量測前必須將主軸量測面及固定砧量測面擦拭清潔(3) 量測工件時亦須將工件擦拭清潔(4) 分厘卡不慎摔落地面,應立即停止使用,並予以檢查校正後方可使用(5) 使用後,用清潔的布擦拭油污,再擦拭防銹油,放入塑膠盒或木盒內(6) 特別注意事項,025 mm的外分厘卡不用及收藏時,應將兩個量測砧面分開,並保持23 mm的距離,固定扭不可以上鎖4.3 分厘卡的使用前歸零與調整檢查方法(1) 用擦拭紙或麂皮將分厘卡徹底清潔,尤其是兩個量測砧面(

28、2) 將兩個量測砧面密接,並轉動定壓裝置使之確實密合(3) 檢視外套筒0刻劃線與襯筒中央0標線是否對齊(4) 若0刻劃線未對齊,且誤差未超過±0.01 mm 時,將固定鎖固定主軸,用分厘卡開專用勾頭扳手,勾住襯筒後側之小孔,調整襯筒0刻劃線使之對齊,然後鬆固定鎖,鬆退主軸後再一次使兩個量測砧面密接密合,檢視0刻劃線是否對齊,若對齊則完成歸零調整; 若仍未對齊則重新按前述方法調整為零(5) 若0刻劃線未對齊,且誤差已超±0.01 mm 時,將固定鎖固定主軸,用分厘卡專用勾頭扳手,勾住棘輪彈簧鈕之小孔,鬆開並取下棘輪彈簧鈕,再取下外套筒後,又套回外套筒並使0刻劃線對齊襯筒0刻劃

29、線,然後再裝回棘輪彈簧鈕並確實鎖緊之,然後鬆開固定鈕,鬆退主軸後再一次使兩個量測砧面密接密合,檢視0刻劃線是否對齊,若對齊則完成歸零調整,若仍未對齊則重新按前述(4)之方法完成調整歸零(6) 大于25 mm以上的分厘卡,在歸零調整時,須將標準棒置於兩砧面,再按上面各步驟逐項檢驗完成歸零調整4.4 尺寸精密檢查(1) 若歸零調整歸零仍無法確定分厘卡是否正確無誤差時,則可利用塊規來校驗分厘卡之尺寸(2) 適當尺寸之塊規用分厘卡兩量測砧面夾持,檢視分厘卡襯筒尺寸是否與塊規相等(3) 如仍有誤差,即表示螺紋齒隙增加,此時將主軸螺杆自襯筒取出,利用調整螺帽調整,因此調整螺帽具有斜度螺紋,當鎖緊時螺帽內徑

30、逐漸縮小,以套筒螺杆面減少齒隙(4) 再按歸零調整方法檢視分厘卡是否歸零(5) 此種檢查只能調整螺紋齒隙在±0.002 mm 以下,超出太多者則列為淘汰件(6) 分厘卡主軸與卡架上主軸導孔之間隙,應在0.01 mm以下,超出太多者則列為淘汰件4.5 外側分厘卡量測使用方式(1) 單手拎持(2) 雙手拎持(3) 夾持固定方式5. 分厘卡的量測誤差探討5.1 阿貝原則的量測誤差: 工件與量具必須同時在量測方向的一直線上,有三種方式:(1) 外分厘卡的量測軸線與工件量測軸線未對齊所發生的誤差, 設工件長度為L, 量具實測長為X, 分厘卡測軸偏離工件測軸線之夾角為 , 其誤差為E,則: E=

31、LX=(2) 卡儀式內外分厘卡之量測誤差(3) 棒形內側分厘卡之量測誤差5.2 視差5.3 分厘卡量測時未在Airy 及Besscl 點支持之誤差5.4 溫度變化引起的誤差5.5 量測力所造成的誤差6. 分厘卡的校驗6.1 一般工廠內,每隔34個月實施一次的定期校驗6.2 一般定期校驗又可分為兩種方式:(1) 巡迴校驗(2) 集中校驗6.3 外觀及功能的校驗(1) 各部位的電鍍或涂裝不得脫落生銹, 刻劃刻度線是否模糊不清(2) 各部分的形狀,拋光情況,標示,刻劃刻度等不得有缺點(3) 全部量測範圍過程中螺紋的配合部分應良好,全行程應圓滑順暢,而自動作靈敏(4) 外套筒與內襯筒間之餘隙應均一,轉

32、動時外套筒不得有明顯的偏離現象(5) 外套筒傾斜端面是否能正確的讀取內襯筒上的刻度讀數(6) 定壓裝置的轉動是否平穩圓滑(7) 主軸固定裝置應能確實將主軸鎖緊,不致造成量測誤差6.4 精度的校驗6.4.1 分厘卡量測面的平面度校驗: 一般利用白色光讀取紅色干涉條紋的條紋數,但必須滿足下列三項條件(1) 紅色干涉條紋是以量測面中央為軸心略呈對稱曲線(封閉或擴散曲線)(2) 做為平面度標準之紅色干涉條紋條紋數,並非是指可見之紅色干涉條紋的總條紋數,而是從量測面的中央向圓周擴散的紅色干涉條紋數(3) 干涉條紋數是從內心軸軸線反30°傾斜聚集方向之條紋數一般而言,每條紅色干涉條紋相當於0.32 um 的績數6.4.2 分厘卡量測面的平形度的校驗分厘卡兩砧座量測面間平行度的校驗,一般使用四片不同厚度的光學平鏡校驗,其校驗原理是藉光學干涉條紋的現象. 校驗時的各個不同