多晶硅酸洗废气净化方案

1、如有你有帮助，请购买下载，谢谢!多品硅酸洗高浓度废气净化方案北京汉昌绿源环保科技有限公司2009-07多晶硅料酸洗高浓度废气净化方案一、废气污染源工况硅料酸洗车间需用硝酸和氢氟酸对多晶硅进行清洗， 共分为4部分，分别为 手动生产线、自动生产线、半自动生产线和半成品处理线，前三条生产线用硝酸 和氢氟酸的混合溶液对多晶硅进行酸洗，去除表面杂质。化学反应式为：-3 -页产生的废气总量也非常大,2HNO3+Si=SiO2+NO2 T +NO T +H2O SiO2+4HF=SiF4 T +2H2O由以上反应式得出，多晶硅酸洗废 气主要为NOx和SiF4,由于反应非常 剧烈，气体中还含有大量硝酸雾和氢氟

2、 酸雾。废气挥发呈爆发性，尤其是 NOx,浓度非常高，平均浓度为 10002000mg/m3 , 瞬时浓度可达 50006000mg/m3,气体呈棕红色。前三条生产线每天试剂总的用量：硝酸（HNQ :浓度 65%-68% 氢氟酸（HF）:浓度48%-50% 由于用酸量非常大，平均每天用量7525kg;平均每天用量941kg;以上气体如不经净化或净化不达标将严重污染环境。半成品生产线主要产生硫酸雾、HF和碱性废气，浓度较低、净化要求净化后废气排放应满足大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）二级标准要求，即：平均浓度：氟化物0 9.0mg/m3, NO0 240mg/m;排放总量（20

3、 米）：氟化物0 0.17kg/h, NO x& 1.3kg/h 。三、净化工艺现有氮氧化物和氟化物的净化工艺主要有：液体中和吸收法、还原法和固体 吸附法。液体中和吸收法主要是利用酸碱中和原理对氮氧化物和氟化物进行净化，由于NO不溶于水，所以也有厂家在碱液中加入双氧水来氧化 NO。常用的净化设 备有填料塔、鼓泡塔或筛板塔。该方法的优点为设备较为简单，投资省；缺点是 净化效率不够，设备运行不稳定。虽然有的厂家采用提高单塔吸收塔效率和多塔 串联（上海一家工厂采用7个塔串联）来提高整体效率，但由于氮氧化物的平衡 度问题，净化效率很难达到85%以上。由于多晶硅酸洗废气呈爆发性，瞬时浓度 很高，所以液体

4、中和法很难达到环保要求。 另外多塔串联设备操作难度大，水泵 故障率高。吸收饱和后的废水需再处理。还原法是采用在吸收液中添加还原剂的方法，常用的还原剂为硫代硫酸钠、硫化钠或尿素，将 NOx还原为N2和 H2。设备与中和法基本相同，由于还 原法的反应产物较为干净，所以对水泵 的损害较小，净化塔也不易堵塞。合理 控制反应条件，利用硫化钠法净化氮氧 化物的效率最高可达70%以上，但由于 在溶液中硫化钠过量时有硫化氢产生， 易造成二次污染，而且反应不完的硫化 钠进入酸性废水易发生中毒事故。因此 常用硫代硫酸钠或尿素来还原氮氧化 物。固体吸附法是采用吸附的原理对氮氧化物和氟化物进行吸附吸收，吸附剂为 SD

5、G吸附剂，SDG吸附剂是一种 比表面积较大的固体颗粒状无机物，当被净化气体中的酸气扩散运动到达SDG如有你有帮助，请购买下载，谢谢！吸附剂表面吸附力场时，便被固定在其表面上，然后与其中活性成分发生化学反 应，生成一种新的中性盐物质而存储于 SDG吸附剂结构中。SDG吸附剂对酸气 的净化是一个多功能的综合作用，除了一般的物理吸附外，还有化学吸附，粒子吸附，催化氧化，化学反应等。SDG吸附剂对氮氧化物的净化效率高，就是因 为吸附剂微观结构表面具有催化氧化 NO的作用。氟离子进入吸附剂后便被固定 在吸附剂表面，形成稳定的氟化钙，而不会对环境造成危害。SDG吸附剂曾两次被国家环保总局评为国家最佳实用技

6、术。设备为 SDG吸 附箱。采用干法净化氮氧化物和氟化物的优点为净化效率高，操作简单， 无二次 污染。缺点是当用酸量较大时，吸附剂的消耗量较大。吸附剂性能表吸附剂型号SDG-ISDG-II吸附酸种类NOH2SO、HCL HF等外观色泽黑色灰色外形尺寸（mm（b3X510小3X510堆积比重0.65 0.750.73 0.83处理酸气浓度任意任意初始吸附效率（%）NOH2SOHCLHF95959898吸附容量（%）吸附效率（）25-3595 705095 705098 804098 85床层压降（Pa/mn1.0 1.21.0 1.2耐温性能300C350C使用温度0 50 c0 50 c耐湿性

7、能80C水蒸气80C水蒸气四、我们的净化方案针对多晶硅酸洗废气特点，结合我们在多家多、单晶硅企业的废气处理工程 实践经验和客户运行经验，摸索出一套针对多晶硅酸洗废气的排风净化工艺和设如有你有帮助，请购买下载，谢谢！ 备。酸洗废气采用多级串联吸收方式，半成品线采用干式吸附净化。1、净化工艺流程图（见附图1） 2、净化工艺简介净化流程采用湿法和干法相结合多极净化方式。由通风橱排出的废气首先进 入第一级填料塔，吸收溶液为 3%氢氧化钠+5%硫代硫酸钠溶液，对含氟废气和 氮氧化物进行初步吸收，合理控制气液接触时间，可吸收95始氟废气和60%氧化物废气。经初步吸收后的废气进入 第二级填料塔，吸收溶液为3

8、%氢氧化钠 +5%硫代硫酸钠溶液，对氮氧化物的净 化效率平均为60%在第二级填料塔中安 装高效除湿装置，祛除水汽。脱水后的 氮氧化物废气进入干式吸收塔，吸收塔 内为SDG酸气吸附剂，吸收效率可达 95%第一、二级填料塔中的废水经管道 排入污水处理站，干式吸收塔的吸附剂 饱和后更换，废吸附剂作为无害垃圾可 用于填坑或修路等，无二次污染。该净化工艺结合了干湿法净化氮氧化物的优点，先由湿法处理掉大部分氮氧化物和氟化物， 湿法处理不了的爆发性 高浓度氮氧化物交由干式吸附剂来处理， 该净化工艺可以达到高净化效率、 高运 行稳定性和低运行费用的完美结合。 有干式吸附箱把关，废气排放即使在某个喷 淋塔出现效

9、率下降时也可稳定达标，而不会出现因排放不达标而影响生产的情 况。五、设备参数（见附表） 六、设备稳定运行保证措施为保证净化设备稳定运行，使废气达标排放，采取以下措施：1、增大喷淋塔直径、增加喷淋塔高度，从而增加气液接触面积，增加吸收 效率，降低干式吸收塔负荷；2、第二级喷淋塔中的收水装置为从韩国引进的带槽的收水片增加收水效率,同时防止堵塞;-5 -页如有你有帮助，请购买下载，谢谢！3、水泵采用无压烧结碳化硅机械密封，增加抗磨损能力，水泵一用一备，阀门采用蝶阀；4、风机一用一备；5、增加自动加药设备，保证加药的连续性；6、风机采用变频控制；北京汉昌绿源环保科技有限公司2009 年 7 月部分太阳能行业工程案例：保定天威英利30000风量多晶硅酸洗废气净化装置天威英利是国内最大的多晶硅电池生产商，硅料处理车间承担了全公司硅料（多晶硅料和废电池片）的酸洗工作。硅料酸洗废气中含有大量的NOx 和 HF 废气，废气挥发呈爆发性，采用干湿法结合的废气处理方式，废气排放远低于国家标准。英利新能源225MW 多晶硅电池生产线工艺废气净化装置光为 100MW 多晶硅电池生产线工艺废气净化装置多晶硅电池生产线的清洗、刻蚀、扩散、印刷等工序产生含NOx、 HCL 、 HF、 NH3 和有机废气，尤其是多晶硅电池片清洗工序