ESD知识介绍ppt课件

1、目目 录录ESD知识介绍1.认识静电认识静电2.静电的危害静电的危害3.生产过程中的静电来源生产过程中的静电来源4.静电的防护及检测静电的防护及检测5.常用防静电产品常用防静电产品目目 录录显示屏显示屏吸尘吸尘开门开门触电触电“火星四溅火星四溅”闪电闪电日常生活中有哪些日常生活中有哪些静电现象？静电现象？ 静电无处不在静电无处不在ESD=Electrostatic DischargeESD是20世纪中期以来形成的以研究静电的产生、危害及静电防护等的学科。 See5000VHear4500VTouch3000VComponentDamage5-50V静电静电(Electrostatic)就是物质

2、表面电子不均衡分布引起的一种电荷，通就是物质表面电子不均衡分布引起的一种电荷，通常是由两种物体先接触后再分离而产生的。常是由两种物体先接触后再分离而产生的。 认识静电认识静电-静电概念静电概念摩擦起电摩擦起电电荷传导电荷传导真空离子轰击真空离子轰击感应带电感应带电认识静电认识静电-静电产生的途径静电产生的途径认识静电认识静电-摩擦起电摩擦起电分离速度分离速度42表面的均匀度表面的均匀度3接触压力、磨力接触压力、磨力1接触的程度接触的程度认识静电认识静电-决定摩擦电压的因素决定摩擦电压的因素材料不同摩擦电压明显不同。材料不同摩擦电压明显不同。环境温度湿度对摩擦电压也有显著环境温度湿度对摩擦电压也

3、有显著影响影响. .4清洁动作清洁动作1人体走动人体走动2取放物品取放物品3设备的运动设备的运动认识静电-摩擦起电(常见例子)一个不带电的物体接触带电的物体会通过传导带一个不带电的物体接触带电的物体会通过传导带上相同的电荷上相同的电荷(电荷分享电荷分享)认识静电认识静电-感应带电感应带电+接近静电传递+接地+离开带电体产生电场，电场中的导体因电荷转移而带电认识静电认识静电-真空离子轰击真空离子轰击 真空溅射; 真空预清洗等类似工艺 常见氩离子(Ar+)轰击1313项目项目静电静电直流直流/ /交流电交流电现象现象瞬时高电压瞬时高电压/大电流大电流,小电量小电量持续电荷持续电荷/电压电压,大电大

4、电量量放电时间放电时间瞬间放电（皮秒瞬间放电（皮秒纳秒）纳秒）可持续放电可持续放电能量能量通常情况下能量很小通常情况下能量很小能量更大能量更大人体感觉人体感觉不易感觉，通常情况下不易感觉，通常情况下几千伏以上才能感觉几千伏以上才能感觉36V以上的电压即以上的电压即可对人体构成危害可对人体构成危害 认识静电认识静电-静电和直流静电和直流/交流电区别交流电区别1.认识静电认识静电2.静电危害静电危害3.生产过程中的静电来源生产过程中的静电来源4.静电的防护及检测静电的防护及检测5.常用防静电产品常用防静电产品目目 录录静电危害静电危害-对微电子工业造成的损失对微电子工业造成的损失欧洲调查数据欧洲调

5、查数据美国美国ESD协会调查数据协会调查数据日本调查数据日本调查数据EOS: Electrical Over Stress,EOS: Electrical Over Stress,过电应力过电应力,ESD,ESD是过电应力的一是过电应力的一种形式种形式. .是指元器件承受的电流或电压应力超过其允许的最大是指元器件承受的电流或电压应力超过其允许的最大范围范围 静电在多个领域造成严重危害。石油化工,航空航天,微电子工微电子工业业, 印刷,纺织等.静电危害静电危害-对电子器件对电子器件IC的破坏的破坏即使是相当小的静电放电也可能损坏电子器件即使是相当小的静电放电也可能损坏电子器件 典型症状典型症状:

6、融化或者击穿融化或者击穿静电危害静电危害-硬盘磁头破坏硬盘磁头破坏 Class0 level ESDClass0 level ESD极度敏感元极度敏感元件件: : 硬盘读写磁头硬盘读写磁头,5V,5V静电放电静电放电就可以彻底摧毁它就可以彻底摧毁它. . 典型症状典型症状:短路或者电介质击穿短路或者电介质击穿1 1加速产品老化加速产品老化2 2改变产品性能参数改变产品性能参数3 3损害产品核心部位损害产品核心部位 硬性失效硬性失效(hard damage)和和潜在性失效潜在性失效(latent damage)是静电危害中是静电危害中最重要的两种现象最重要的两种现象; 硬性失效容易判断检测硬性失

7、效容易判断检测; 潜在性失效难以判断潜在性失效难以判断,部分流入下一工序部分流入下一工序/成品成品/消费者手上消费者手上.1.认识静电认识静电2.静电的危害静电的危害3.生产过程中的静电来源生产过程中的静电来源4.静电的防护及检测静电的防护及检测5.常用防静电产品常用防静电产品目目 录录服装软包装及操作工序地板工作表面工作表面芯片载体芯片载体静电源静电源生产过程中的静电来源生产过程中的静电来源1.认识静电认识静电2.静电的危害静电的危害3.生产过程中的静电来源生产过程中的静电来源4.静电防护及检测静电防护及检测5.常用防静电产品常用防静电产品目目 录录静电的防护静电的防护中和静电屏蔽ESD监测

8、 仪器仪表接地 温湿度材料选择建立管理体系建立管理体系培训及宣传培训及宣传静电防护工作是一项长期的系统工程静电防护工作是一项长期的系统工程, 任何环节的失误或疏漏任何环节的失误或疏漏, 都将导致都将导致静电防护工作的失败静电防护工作的失败, 甚至灾难性的后果甚至灾难性的后果.将静电将静电/噪声电流通过接地线或接地装置传导泄放到噪声电流通过接地线或接地装置传导泄放到大地大地, 维持工作站等电位要求维持工作站等电位要求.基基 本本 原原 理理静电防护静电防护-接地接地做法：做法：建立机器设备接地系统建立机器设备接地系统使用静电导电或静电耗散材料并接入使用静电导电或静电耗散材料并接入ESDESD接地

9、系统接地系统人体佩戴手腕带，并接入人体佩戴手腕带，并接入ESDESD接地系统接地系统人体穿防静电衣服及静电鞋人体穿防静电衣服及静电鞋防静电地板防静电地板( (如果必要如果必要) )基本原理基本原理静电防护静电防护-中和（离子化）中和（离子化）利用尖端放电或者利用尖端放电或者 射线射线, 在在空气产生正负离子，中和静空气产生正负离子，中和静电电。使用对象使用对象绝缘体或不易接地的金属导体绝缘体或不易接地的金属导体做法：做法：离子风机、离子风枪、离子棒离子风机、离子风枪、离子棒其他安全考虑：其他安全考虑：出现危险时容易脱开出现危险时容易脱开无腐蚀，无刺激等无腐蚀，无刺激等ESDS器件警示标志器件警

10、示标志ESDS保护标志保护标志 共同接地点标志共同接地点标志静电防护静电防护-ESD标志和标注标志和标注接地点标志接地点标志（一般用于设备）（一般用于设备）可能含高电压的可能含高电压的EPA标志标志 防静电区（防静电区（EPA）标志）标志 静电防护静电防护-ESD标志和标注标志和标注可回收使用标可回收使用标志，常用于包志，常用于包装上装上早期的静电敏感器件标志，早期的静电敏感器件标志，现在还有少数产品在用现在还有少数产品在用警示标带，可警示标带，可用于多种区域用于多种区域静电防护静电防护-ESD标志和标注标志和标注培训大纲与人员培训防静电工艺和设计文件规章制度和操作规程静电防护静电防护-培训及

11、宣传培训及宣传建立管理体系(文件)/(小组)/(支持)定期审核和检查(内部的)/(客户的)/(第三方的)ESD标准更新(来自客户的要求)/(来自产品的要求)(行业的要求)静电防护静电防护-管理体系管理体系静电检测静电检测-ESD测量项目测量项目 人体接地状况人体接地状况; 地板检测及其性能监测地板检测及其性能监测; 工厂整体接地方案监测工厂整体接地方案监测; 机器接地状况机器接地状况; 关键工序噪声电压关键工序噪声电压/电流监测电流监测; 非金属材料检测及其性能监测非金属材料检测及其性能监测; 产品包装材料检测产品包装材料检测; 离子风机评估及其定期监测离子风机评估及其定期监测; 温度湿度监测

12、温度湿度监测.1.认识静电认识静电2.静电的危害静电的危害3.生产过程中的静电来源生产过程中的静电来源4.静电防护及检测静电防护及检测5.常用防静电产品常用防静电产品目目 录录防静电服的技术要求：防静电服的技术要求：布片之间相互导通布片之间相互导通与人体有效接触与人体有效接触覆盖内部衣物覆盖内部衣物离子风机离子风机 离子风机是通过离子风机是通过离子化空气离子化空气, ,产生正、产生正、负离子，中和物体表面的静电，从而达负离子，中和物体表面的静电，从而达到防止并消除静电危害。到防止并消除静电危害。 分类分类: : 直流式和交流式直流式和交流式, , 以及以及 射线等射线等几种几种. .防静电台垫

13、防静电台垫 耗散层表面电阻为耗散层表面电阻为10106 610109 9/sq/sq，导电层表面电阻为导电层表面电阻为10103 310105 5/sq/sq衰减时间为小于衰减时间为小于0.10.1秒秒防静电台垫是用来降低防静电台垫是用来降低/隔离普通桌面对产品隔离普通桌面对产品ESD影响影响;使用时必使用时必须正确可靠接地。须正确可靠接地。屏蔽袋、防潮袋最安全的包装袋屏蔽袋、防潮袋最安全的包装袋导电袋，一般为永久性防静电材料导电袋，一般为永久性防静电材料暂时性防静电材料制成的包装暂时性防静电材料制成的包装袋，需要定期评估袋，需要定期评估注意：防静电包装袋应标注防注意：防静电包装袋应标注防静电

14、标志，以示区别！静电标志，以示区别！防静电产品-静电椅 系统电阻：系统电阻：106108 ESDA(ESD AssociationESDA(ESD Association）美国防静电协会）美国防静电协会, ,是全球最权威的是全球最权威的ESDESD标准制定组织之一标准制定组织之一. .成立成立于于19821982年年. .附录附录: ESD重要技术标准及组织重要技术标准及组织主要指导性标准主要指导性标准: ANSI/ESD S20.20静电防护体系标准静电防护体系标准 ESD ADV 2.0 ESD手册手册IEC(The International Electrotechnical IEC(The International Electrotechnical Commission