场发射环境扫描电镜能谱仪电子束背散射衍射仪配置及技术规格表

1、场发射环境扫描电镜配置及技术规格表附件1 :货物需求一览表项目序号设备名称数量交货地点交货期1场发射环境扫描电镜1台河南理工大学 指定地点按合同要求附件2:设备配置及技术规格表序 号设备名称技术参数功能 要求数 量1场发射环 境扫描电镜仪器设备的主要技术参数1主机1.1分辨率1) 高真空-30 kV 下不低于 1.0 nm (SE)30 kV 下不低于 2.5 nm (BSE)*-1 kV 下不低于 3.0 nm (SE)2) 低真空-30 kV 下不低于 1.4 nm (SE)30 kV 下不低于 2.5 nm (BSE)-3 kV 下不低于 3.0 nm (SE)3) 环境真空(ESEM)

2、 *-30 kV 下不低于 1.4 nm (SE)1.2放大倍数-高真空模式下：14-1,000,000,连续可调 放大倍数误差：w 3%1.3电子光学占分辨肖特基场发射电子枪，具有自动对中和启动电 子枪功能；在显示器中显示全部发射器参数的状态信息； 灯丝寿命优于两年。-加速电压：200 V - 30 kV，连续可调-束流：最大200 nA并连续可调-成像模式：二次电子像与背散射电子像，两者可以任 意比率混合，自动调节和手动调节亮度、对比度。1.4物镜光阑-砌镜光栏能自加热自清洁；无需拆卸镜筒即可更换物 镜光阑；-光阑寿命优于两年。1.5样品室可观察和 检测非均 相有机和 无机材料 样品的表

3、面微观形 貌观察及 成分分析。它可以进 行二次电 子形貌分 析和背散 射电子衬 度成像分 析。能谱分 析能够实 现点分析、 面分析、线 扫描和面 扫描，背散 射电子衍 射分析可 以进行晶 体取向成 像、显微织 构、晶界等 分析。1台-样品台：4轴马达驱动，移动范围：X > 50mm；Y > 50mm； Z>50mm； T:-5+70 ° R=360 连续旋转-样品台移动重复精度：2um （X/Y方向）-样品室尺寸：>250mm；兼容性高，预留EDS、EBSD、 波谱仪以及其他标准扩展接口。1.6检测器-高真空模式，E-T二次电子探头；-氐真空模式，大视场低真空

4、气体二次电子探头 （LFD）-环境真空下模式，气体二次电子探头（GSED）-高灵敏度，低电压固体背散射电子检测器-样品室红外CCD相机1.7图像处理器-图像处理：最大4096 X 3536像素-图像文件格式：TIFF（8位或16位），BMP或JPEG-单窗口或四窗口图像显示，四活动窗口，实时或静态 按彩色或按灰度等级信号混合。-56帧平均或积分，数字动画记录-基于以太网架构的数据传输系统；-十ntel双核控制和操作计算机系统， Windows 7操作系 统；中央处理器：CPU： Intel酷睿i7 4.0GHz。内存：4G; 独立显卡，2G显存；界接口 ：串行、并行、SCSI、USB 3.0

5、接口、网络；硬盘1 TB； DVD刻录；瑕件平台适用于Windows7操作系统-显示器：24寸LCD显示器1.8真空系统涡轮分子泵2501/sec和2个离子泵，两个无油机械泵；-“穿过透镜”的压差真空系统，低真空模式下抽气区 域不少于3个；-样品室真空度：咼真空模式下v 6X 104Pa,低真空模 式下v 10130Pa,环境真空模式下v 104000Pa1.9冷却系统-配有循环水冷却器1.10其他配件或易损件-沼己置相关配件或易损件（备用灯丝+光阑3套）。2附件2.1 X射线能谱仪（EDS）1）探测器-探头类型：电制冷硅漂移（SDD）探测器，采用场效 应管（FET）集成设计的高速SDD芯片，

6、有效探测器面积2> 30mm-能量分辨率：在100,000CPS条件下Mn Ka保证优于 129eV,轻元素分辨率：C-K/57eV, F-K/67eV- 单一处理单元能同时支持两个及多个探测器-测定元素范围：4号元素硼Be到95号元素镅Am-峰背比优于20000:1,谱峰稳定性：1,000cps到 100,000cps Mn Ka峰谱峰漂移小于1eV, 48小时内峰位漂 移小于1.5eV2）能谱仪及图像系统-能谱仪处理单元与计算机采用分立式设计，完整的能 谱定性定量系统，带图像系统，能进行线面扫描；-电子数字图像最大清晰度：8192X 6400;-全谱智能面分布图清晰度4096*409

7、6，单探测器输出最 大计数率大于600,000CPS,可处理最大计数率大于 1,500,000CPS3）智能化能谱分析平台- 一体化集成用户界面，所有应用软件在同一个平台上 打开，支持用户自定义模式及账户管理，支持中、英文等 多种操作界面。-处性分析：可自动标识谱峰，可设定自动标定的元素 范围，可进行谱重构，对重叠峰进行可视化谱峰剥离。疋量分析：可对抛光表面或粗糙表面疋量分析。采用 定量修正技术，可对倾斜样品进行修正，并增强对轻元素 的修正；具备有标样疋量分析及无标样疋量分析方法。4）计算机及其附件部分-计算机工作站，EDS与EBSD共用高级工作站系统， In tel Xeo n E5-260

8、9 （3.10 GH z, 6 MB cache, 4 cores 处理器， Windows 7 64-bit 操作系统，16 GB 内存，1 TB 硬盘，SATA SuperMulti DVD 读写光驱，24” T FT-LCD Monitor ， Microsoft Office 2010办公软件（最低配置）;-H网络打印机：最大打印幅面：A4;打印速度：A4 : 达到14ppm；最高分辨率：600x 600dpi;耗材类型：鼓粉 一体；硒鼓寿命：2000页；首页打印时间：小于10秒；月 打印负荷：达到5000页；进纸盒容量：150页手动进纸器； 内存：2MB。2.2电子束背散射衍射仪（E

9、BSD）系统（可与 EDS实现 一体化）1） EBSD探测器-BSD探头，适用于场发射电镜的高速EBSD探测器， 能与EDS硬件同时使用，高端的高灵敏度 CCD相机，加 速电压大于3 kV，及束流大于500 pA时，可以米集到明显 的衍射花样。30X25mm矩形荧光屏；花样像素分辨率： 640X480X2位；花样采集速度：920花样/秒 8X8binning， 630 花样/秒 4X 4binning；-BSD与EDS形成一体化系统，使用单一软件界面， 以便于材料的成分和晶体结构分析；化样米集速度930 patterns点/秒（8X8 binning）；定成功率，任何扫描速度下，用以多晶镍（N

10、i ）为 标样，测量99%的标定成功率；-諏向精准度，任何扫描速度下，获得优于 0.3度的取 向精准度，并可同时给出数据可用性的量化指标。2）软件、数据库系统-数据库系统：配备足够专业的 EBSD数据库，包括 Bruker自有数据库、ICSD数据库（集成），并兼容所有主 要的第三方数据库（ICDD、ICSD、AMCS、NIST等），支 持用户自定义相数据库等功能；-瑕件功能全面，用户界面直观易用、操作方便，至少 应包含但不限于以下一些功能：无标样自动系统校准、花 样质量分布图、极图和反极图、取向分布图、相图与相鉴 定、数据的再处理；-与能谱联合使用，具备图像采集系统：具有SEM成像功能，可支持

11、多种SEM图像类型，图片尺寸不低于4096 X 4096;具备EBSD花样自由采集，无标样自动系统校准 功能，拥有极图与反极图，取向分布，相区分与鉴定，能 够分析晶界织构，以及EDS和EBSD的同步分析，离线数 据再处理等软件包；标书需详细提供产品功能的软件特点。2.3场发射专用离子溅射仪（英国，用于场发射扫描电镜样 品制备，要求镀层均匀，镀层颗粒小，可进行镀金和镀碳。） 大样品直径60mm，最大样品高度20mm；-镀金速率：35nm/Min ；-电压0.4kV，最大溅射电流40mA，工作真空度7Pa；-項空泵抽率135L /Min。2.4 UPS电源（与电镜配套使用的原装进口美国山特 UPS 电源，保证不