XX蚀刻机评价报告

1、一、蚀刻机品质性能验证的方法及过程1 .蚀刻均匀性测试1.1 板件选取：用底铜厚度2OZ画铜仪测量62um),板厚1.6mm尺寸：500mm*600m板件为实验板件.1.2 测试前,蚀刻药水调整蚀刻药水到工艺限制范围分析工程要求范围实测Cif125-150g/L142 g/LCl-170-200g/L180 g/LPH8.3-8.78.471.3 蚀刻生产参数蚀刻速度压力温度4 m/min上压：2.2下压：2.050 C1.4 测试方法与取点规那么,见附件：触刻均与性渊就叩t1.5 蚀刻均匀性计算方法与判定标准：、食虫刻均匀度 C. O V. =(1-S/Th ) X 100%其中：th (做

2、铜量)=原始铜厚-剩余铜厚Th (平均食虫铜量)=(th 1+th2+ - thNJ) /N (N=121)S (襟准差)= V (th-thi) 2+(th-th 2) 2+ - +(th -th n) 2/(N-1)、判定标准：CO/ 92%合格；2 .蚀刻水平2.1 板件选取：用底铜厚度1OZ面铜仪测量35um),板厚1.6mm尺寸：500mm*600m板件为实验板件.2.2 测试方法工程部制作线宽线距为3mil/3mil、4mil/4mil、5mil/5mil、6mil/6mil、7mil/7mil8mil/8mil的菲林资料通过图形转移来测试新蚀刻机的最小线宽线距蚀刻水平3 .蚀刻因

3、子3.1 板件选取：取底铜1.0OZ板件为实验板件；3.2 测试取点,分别打密集线路和孤立线路的外表铜厚和线宽测定切片X1X23.3 测量方法线路铜厚为h,读取切片线宽上底为Xi,与此同时线宽下底记录为X2,蚀刻因子计 算公式为：蚀刻因子(A) = h/( X 2- X 1)3.4 蚀刻因子的判定标准：1OZ的板彳24 .蚀刻机的规格4.1 蚀刻机的流程是蚀刻氨水洗一两道水洗4.2 蚀刻段为3段,总共3米.二、测试结果1 .蚀刻线均匀性测试结果：蚀刻均匀性肩效长度600*500mm具体数据上喷92%a蚀刻均匀性.xls下喷96.24%整体94.12%2 .蚀刻水平测试结果板厚为1.6mm底铜厚

4、度为1OZ的板件最小线宽线距的蚀刻水平是 5mil/5mil3 .蚀刻因子测试结果上喷速度铜厚(h)上底(X) 一下底(X2)Bit蚀刻因子5mil4m/min0.0320.0520.0650.0132.466mil0.0320.0810.0940.0132.467mil0.0320.1100.1220.0122.668mil0.0320.1720.1840.0122.66平均值2.56下喷速度铜厚(h)上底(X)下底(2)Bit蚀刻因子5mil4m/min0.0320.0580.0710.0132.466mil0.0320.0830.0950.0122.667mil0.0320.1130.1240.0112.98mil0.0320.1750.1860.0112.9平均值2.73三、结论通过以上数据可得出初步结论1. XX蚀刻机的蚀刻均匀性能适应公司后续难度板件的要求,但是从结果来看上喷与下喷的 蚀刻均匀性相差较大,这与蚀刻生产时的压力有很大关系；2. XX蚀刻机的最小线宽线距的蚀刻水平为5mil/5mil ,根