IC制造中清洗技术发展的分析

1、制 造 中 清 洗 技术 发 展 的 分析盛金龙（北京七星华创电子股份有限公司北京 100016 )摘要：概述了半导体制造中清洗技术所面临的挑战及生产中存在的问题，分析了解决问题的途径，讨论了 当前IC制造中关键清洗技术的发展方向。对于国产清洗设备制造业的发展提出了自己的看法。关键词：IC制造，清洗技术，挑战 中图分类号：文献标识码：A文章编号：1003 - 353X （ 2006 ） 03 - 0166 - 04 1引言成为改造和拉动传统产业的强大引擎和技术基以集成电路为核心的电子信息产业已成为我国第一大产业，础。当今世界经济竞争中，拥有自主知识产权的IC已成为经济发展的命脉、国际竞争的筹码

2、和国家安全的保障。集成电路制造过程中清洗硅片表面的污染和杂质是清洗的主要目的，在制造过程中，几乎每道工序都涉及 到清洗，而且集成电路的集成度越高，制造工序越多，所需的清洗工序也越多1。在诸多的清洗工序中,只要其中某一工序达不到要求，则将前功尽弃，导致整批芯片的报废，所以可以毫不夸张地说，没有有效 的清洗技术，便没有集成电路和超大规模集成电路的今天。传统清洗技术主要使用酸、碱、双氧水、甲苯、三氯乙烯、氟利昂等化学试剂，成本高，而且有毒，有腐 蚀性，危害安全与健康并污染环境，特别是氟利昂等ODS物质研究破坏地球臭氧层，危及人类生态环境,是国际上限期禁止生产和使用的物质。多年来，国内外科学家就致力于

3、研究无毒，无腐蚀性的清洗工艺， 但尚未取得突破。随着芯片尺寸加大，工艺线宽减小，从90nm工艺开始，以往在清洗过程中使用的超声波清洗遇到一些问题，如造成半导体器件结构损伤，在65nm及以下工艺，其损伤程度可能会加剧。芯片硕深沟槽结构清 洗时清洗液和漂洗去离子水很难进入结构内部，难以达到清洗目的。高堆叠式和深沟槽式结构清洗后的干I燥过程也是很关键的技术问题。二般小0nm工艺中，要求必须去除所有大于或等于100nm的颗粒，100nm的颗粒。而由于表面边界层的限制，现行清洗技术，如液体或高压（液体）喷射清洗已无法洗去还有如何在后段有效去除光刻胶，同时保证不腐蚀铜导线和不改变低k电介质的电介常数等都是

4、当前清洗技术面临的问题。2现代清洗技术中的关键要求 在未来9065nm节点技术工艺中，除了要考虑清洗后的硅片表面的微粗糙度及自然氧化物清除率等技术 指标外，也要考虑对环境的污染以及清洗的效率其经济效益等。硅片清洗技术评价的主要指标可以归纳为：（1）微粗糙度（RMS ）;（ 2）自然氧化物清除率；（3 ）召属沾污、表面颗粒度以及有机物沾污，其他指标还包括：（4）芯片的破损率；（5）清洗中的再沾污；（6）对环境的污染；（7 ）经济的可接受性（包括设备与运行成本、清洗效率）r金属沾污在硅片上是以范德华引力、共价键以及电子转移等三种表面形式存在的【2 O这种沾污会破坏薄氧化层的完整性，增加漏电流密度，

5、影响MOS器件的稳定性金属离子会增加暗电流，情况为结构缺陷或雾状缺陷。何良恩等人对 300mm硅片表面清洗要求的演变做了总结（表 1） 3表面颗粒度会引起图形缺陷、夕涎前线、影响布线的完整性以及键合强度和表层质量。颗粒的去除与静电 排斥作用有关，所以硅片表面呈正电时易降低颗粒去除效率，甚至出现再沉淀 传统的湿法化学清洗中所需要解决的主要问题有：化学片的纯度粒的产生M属杂质的污染燥技 术的困难、废水废气观理等。寻求解决上述问题的过程中，发现改用气相清洗技术是一个有效途径。随着微电子新材料的使用和微器件特征尺寸的进一步减小，迫切需要一种更具选择性、更环保、更容易控 制的清洁清洗技术，在后道工序中铜

6、引线、焊盘、键合等都需要进行有机污染物的清洗，用湿法清洗也很 难达到目的。3清洗介质的选择在执行晶圆的前、后段工艺过程时，晶圆需要经过无数次的清洗步骤，其次数取决于晶圆的设计和互连的 层数。此外，由于清洗工艺过程不仅要剥离晶圆表面的光刻胶，同时还必须去除复杂的腐蚀残余物质，金 属颗粒以及其他污染物等，所以清洗过程是及其复杂的过程。从湿法清洗的实践中，越来越多出现难于解决的问题时，迫使科技人员探索和寻找替代的技术，除了如增 加超声频率（采用 MHz技术）等补救方法之夕，首选的途径就是选择气相清洗技术来替代（热氧化法、 等离子清洗法等）4 O选择清洗介质，即清洗剂是设备设计、清洗流程r 艺的前提5

7、据现代清洗技术 中的关键要求，结合当前材料科技发展中出现的新观念、新成果，把目光集中到超临界、I超凝态，常压低 温等离子体等介于气、液相的临界状态物质是顺理成章的事。超临界清洗剂【5 气相清洗方法，使晶圆在气相加工过程中可以一直保持在真空是内，避免污染，因而增加了成品率，并降低了成本，气相清洗方法采用了非常重要的CO2，超临界CO2技术是使CO2成为液态，用高压压缩成I一种介于液体和气体之间的流体物质，-超临界状态。这种流体与固体接触时，不带任何表面张力，因此I能渗透到晶圆内部最深的光刻位置，因而可以剥离更小的颗粒。此外，流体的粘度很低以清除掉晶圆 表面的无用固体。采用超临界流体清洗给组合元件

8、图案造成的损伤少并可以抑制对Si基板的侵蚀和不纯物的消费。可对注入离子的光敏抗腐蚀剂掩模用无氧工艺进行剥离。I引进超临界流体清洗技术，清洗方法以不使用液体为主流，预计到2020年，可达到几乎完全不使用液体的超临界流体清洗或者针点清洗成为主要的清洗方法，I超临界流体清洗的革新点在于可以解决现有清洗方法中的两个弊端，即清洗时，损伤晶片、或组合元件和污染环境的问题。超凝态过冷动力学清洗 运用氩和氮的悬浮来清洗，是一种干法气相无感光系统，不会损坏薄膜层，环境的影响小，除了无毒、无 污染性，不易燃等优点外，还具有廉价并易于操作的特点。气雾与晶圆表面污染粒子相撞将动能传递到污染粒子上，当该能量大于污染粒子

9、与晶圆表面的附着能时，污染粒子便脱离晶圆表面，携带被排走。清洗 方法使用的是惰性气体以安全的置于IC生产线的任何地方。此类清洗设备以超凝态过冷动力学为技术核心，可用丁清洗集路关键丿、寸在90nm以下、片径200 300mm晶圆，单片清洗，具有很高CMP后清洗、刻蚀后清洗以及在线电子质量测自动化程度。该清洗工艺的典型插入点为淀积前后清洗、 量后清洗，应对各种与扩散前清洗相关的挑战、前段制造光刻胶剥离和去胶灰化后清洗、后段制造去胶灰 化后清洗和尘埃丟除等厂目前，国际上掌握超凝态过冷动力学清洗技术并应用该技术生产的清洗设备基本 上被FSI公司所垄断。常压低温等离子体清洗【4。等离子清洗有物理清洗和化

10、学清洗（表面改性）两种方式。前者称为RIE方式，后者称为PE方式。将激去除光阻材料，一般利用酸或碱水溶剂、无水有机溶液，或用氧或氟等强氧化元素的射频等离子反应。经. 上述方法处理后，芯片要用高纯度的水进行清洗，再用异丙醇干燥芯片表面个标准规模的芯片厂正常 生产一天，要产生数百万加仑的污水。如果利用常压辉光冷等离子体所产生的活性物质对有机污染和光刻 胶进行清洗是替代湿法化学方法的一种绿色手段，是被人们十分关注的根本治理污染的技术。发到等离子态的活性粒子与表面分子反应，而产物分析进一步解析形成气相残余物而脱离表面 国内在常 压低温等离子体清洗设备的研制是从2003年开始，由中科院光电研究所和中科院

11、微电子研究所联合成立了常压均匀冷等离子体技术研制课题组，在短短的两年时间内，先后成功研制出各种喷口直径和形状的常 压射频冷等离子体喷枪设备，并申请了几个相关设备专利。低温冷凝喷雾技术随着90nm节点技术时代的到来，无论从经济学角度还是从技术发展角度看，单纯依靠损失原料换取硅片 表面洁净的方法必将被淘汰。这种干法清洗技术有效地避免了由兆声清洗等传统清洗技术所造成的硅片表 面物理损伤，并极大地降低了由湿法腐蚀清洗所造成的原材料损失，并且不会改变硅片的表面物理特征以 及化学特性，同时还克服了由于使用低k半导体材料的疏水特性所带来的的清洗困难等难题。4清洗方式的改进 整个半导体行业正在经历着重要的技术

12、转型，传统的批式处理方法已经无法适应湿式清洗应用，制造工艺 过程也需探索其他新型清洗步骤，从而确保重要的器件规格、性能以及可靠性不会受到污染物的影响。此 外，批式湿式处理也无法满足如快速热处理（ RTP ）等工艺的关键扩散和 CVD技术。针点式清洗将全面清洗晶片的清洗方式转换为针点式的技术革新, 制。这种清洗技术可以降低半导体产业的环境负荷。使得清洗技术的作用已经能够达到原子级的表面控针点式清洗是将粒子一点一点地清除的方式，故又被称为针点清洗方式。针点清洗，能够完全清除通过湿式清洗和超临界流体清洗不能完全除去的在晶片上残留的粒子。针点清洗时，用激光清除粒子的激光清-洗或是使用端部尖锐的微小探针

13、除去粒子的纳米针点清洗等。这些技术与超临界流体的清洗相同，它不使I 用药液和纯水。此项工作现在还只限于对除去粒子的原理进行验证的阶段，今后应该将高处理能力的装置 开发和粒子检测技术结合起来进行统合的技术开发。单晶圆处理技术通过使用单晶圆技术可以有提高lOOnm及其以下工艺的成品率。对于更小线宽的300mm晶圆，晶圆的成本太高，清洗晶圆的风险也极高，使用单晶圆技术可使制造商能够在更小规模的生产线上以更少的设备 投入生产出与大型生产线数量相同的芯片。单晶圆处理技术与批式处理系统竞争的关键之处在于产能，即 它必须能够达到要求的湿150200只晶圆的产能。5环境保护与IC清洗 环境问题是个社会性问题，

14、清洗对环境的影响已被提到日程上来，开发完全能减低环境负荷的新技术，可 以说是当前清洗技术迫切需要解决的一项重大课题。H2SO4或HCI , NH40H等的药液和水进行 RCA清洗半导体架构导致的环境污染是半导体制造商大量用 所引起的环境污染。清洗技术中使用的氟利昂等 ODS物质，破坏地球高空的臭氧层，形成度臭氧洞，危害人类生态环境。1987 年通过了关于消耗臭氧层物质的蒙特利尔议定书，规定了消耗臭氧层物质的生产量和消费量限制的进 程，加快了淘汰步伐，要求清洗行业提前到2006年。研究使用于超大规模集成电路的用的新型电子工业清洗剂和替代氟利昂等 ODS物质的清洗剂是当务之急。气相清洗技术中的清洗

15、剂应该探索容易与污染物进行分离再生，重新净化的技术方案，循环使用的清洗剂 必然会减轻环境压力。6清洗设备的国产化道路集成电路制造业专用清洗设备以及相应的清洗工艺技术的研究必须与集成电路技术日新月异的发展相协 调。面对晶圆尺寸的不断扩大与芯片关键尺寸的不断缩小的实际情况，硅片清洗技术必须同步快速发展以 满足芯片制造业对专用设备的要求。同时，新型的专用清洗设备及其相关工艺技术的研究与开发是对下一 代芯片技术的高成品率和高性能特点的重要保证。各清洗设备厂家已经开始在提供面向新一代无损伤和抑制刻蚀损耗新设备、新工艺领域展开了激战。面对半导体设备技术被世界少数发达国家的设备制造商垄断的局势与中国大陆地区半导体行业及微电子产业的迅猛发展形势，过程实施了863计划，国产的硅片研磨清洗机、化学湿台，等离子清洗机、管壳封I装清洗及为代表的设备已进入了半导体芯片制作和后封装全过程。但是行业内对半导体清洗设备的需求不断增加，而现有的半导体清洗技术已经无法满足需求的情况，导致 大量半导体设备依靠进口。2005年中国芯片设备的采购和使用量占全球采购量的25%，其中清洗设备将I占到请