STK周边气流控制

1、STK周边气流控制洁净室STK周边气流控制方案平板显示作为继汽车和大规模集成电路之后的第三个具有全球影响力的新型产业正 在迅速的崛起，也是我国“十一五”和中长期科技发展的重点产业。国内液晶显示器（TFT-LCD ，Short for Th in Film Tran sistor Liquid Crystal Dis play）产业炙手可热。在TFT-LCD组线技术中，除了成膜、曝光、刻蚀等工艺设备外，自动物料搬运系统（AMHS，Shor for Automatic Material Handling System ）起到了非常重要的作用。其包 含一系列组成部分，在不需要人为干预的情况下，这些组

2、成部分可以完成在工厂储存物料 和物料的搬运工作。AMHS的组成部分为：自动导航车（AGV ），高空穿梭车（OHS）， 轨道航车（RGV），传送带和堆料机（Stocker）根据业主提供的图纸，我们发现本厂房采用的是传送带和堆料机（ Stocker）和高空 穿梭车（OHS）相结合的自动物料搬运系统（AMHS ）。在这种自动物料搬运系统中，Stocker 担负了很多的物流传递任务。这种方式因具有更高的搬运效率而被广泛应用在目前的 5代、 6代和更高世代的TFT-LCD的工厂布局中。为了更好的优化Stocker的气流效果，创建更好的洁净室 Stocker搬运环境，提升其搬 运能力及质量。本方案试图通过

3、业主给定的技术资料找到更符合项目实际的气流控制方 案。M-I11!1K£¥hi-；J *IfP hhh- ST E 耳甘- aT -r-hKlI- -二 X9图1 AMHS设备的分布平面图Ml STK设备和厂务相关需步1Mil STK设备和厂务相关需求2 :JP-鼻齒7；二一昭PiWiSL冲uA irrjju-Bi'ero】*歧如&事筈兰，3丰讣叩产I上5TK ft乂 r<04mHJ?r咸闱STSfirm-卒 2 ilHVS叶£過爭iff丄i.-k Laf bj.I： EdH iLZMr!jfchrfkMd jaxa-js"-!ya

4、. q t #11 -vs ftfefeMI HrftWWta TH?-S崗茶送吃0|；監亍 ，JSR*, ：£；?吒S：述 ”1审即百呻即孥屏石-.7S'i基图2 Stocker设备厂务需求根据厂务需求相关资料，为了能更好的了解Stocker内部的气流运动情况流分析软件的模拟内部的流动情况。得到的结果如下：决定用气EWT'4.儿 hJj4K*»Za丄彳2-n旳2 >A»+ J15it+a3兰lPkQ ik+LOCuMOLr? r.rjfilOciCifMflcIlipJt Cfrftlm帕盅x)i( 询尉SFIUEndlSD 任久 0ona

5、. ?姑气流速度分布图? Wd-7-1 斗 xui4砂|十£J "讥1 m.-I JB-i-rI 汽hd?NCorlojFiOMl.*J3VS Fhe-I15 n(?fl. frtns 叶P图4气流速度偏转角度分布图4 Ml4A4!囚严、空；.，和 屮租:X-勲氢.；如英.吨$-亠 27-.'?*- HWaaf gdn尸列他hKFp Mail心帜MVLfm0 t卯1*1I HiGJiA:L爲旷h图5气流速度大小及方向示意图jAj" E.i咔U|P、<S FEf iRFl广？ pbwir. -1R|1 m1 aa-h1 B-l-hKi1 (M1XM14

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8、水平气流的带入，会导致Stocker内部存在一定的气流扰动。这样原本理想状态的垂直单向流洁净室会出 现一些意外的气流偏转角（如图4所示）。如果气流扰动过大就有可能将Stocker以外大空 间的气流带入其运行环境中，出现洁净度不达标从而污染卡夹上玻璃基材的问题。根据设计院提供的图纸，我们发现 Stocker运行区域的洁净度为Class100.1卩m, 此 区域的FFU类型需选用U15 （ULPA风机过滤机组，效率99.9995% （0.12卩m），面风速 0.45m/s，过滤材料：PTFE ）型的滤网，布置率近100%。；_Dlt < -r s I*w f 占, y L ri rTJI 二

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10、尸E 1Ji =1FFf Ltl >-*»*IeumI1 zT r! JIMH十一Ji图9 M1建筑二层洁净室洁净等级区划为了保证Stocker内部的相对正压，其周边的FFU的布置率应尽量的低于75%。且在 实际生产运行的过程中需要尽可能的调整 Stocker区域的FFU的转速高于周边的FFU转速。有鉴于本次洁净室工程需要优先设备厂商进行施工，但是Stocker的隔墙又属于设备厂商的施工范围，洁净包商需要在施工之前拿到设备包商的画线图，这样才有可能更好的 配合设备报上完成界面上的衔接工作。比如Stocker的隔断墙体应尽量坐在T-Grid龙骨的正下方（如详图），如果错开之后将会与 FFU交叉，出现气密无法施工，进而影响到此区域 的洁净度。图10隔墙与FFU吊顶龙骨连接的建议做法根据设备的构造情况，及气流模拟的气流情况，为了使Stocker内部的气流不致过大, STK隔墙内部的高架地板均采