sol-gel法掺杂导电zno薄膜及其低温氮气热处理

1、材料学专业毕业论文 精品论文 Sol-gel法掺杂导电ZnO薄膜及其低温氮气热处理关键词：气氛处理 温度稳定性 ZnO薄膜 低温氮气热处理 掺杂导电摘要：ZnO薄膜是一种直接宽带隙半导体材料，具有多种用途，可广泛的应用于太阳能电池、压电薄膜、光电器件、气敏器件和紫外探测器等方面。其特性可通过适当的掺杂来调剂。通过适量掺杂的ZnO透明导电薄膜具有优异的光电性能，能在太阳能电池、液晶显示器等多种电器设备中被用作透明导电电极。 本课题研究的主要目的是探索Sol-Gel法制备掺Al的ZnO透明导电薄膜在氮气中的稳定性和Sol-Gel法制备掺Li的ZnO透明导电薄膜的掺杂比和涂膜层数对薄膜导电率和透光率

2、的影响。 本文通过溶胶-凝胶法在载玻片上成功地制备出Al3+、Li+掺杂型ZnO薄膜。所用的溶胶以乙二醇甲醚为溶剂，醋酸锌为前驱体，单乙醇胺为稳定剂经加热搅拌制得；薄膜经烘干、预处理、氮气热处理后形成均匀透明的ZnO薄膜。 利用XRD、SEM、XPS、UV-VIS和四探针测试仪对薄膜的结构和光电特性进行了研究。结果表明，掺杂物、掺杂量、热处理温度、涂膜层数和热处理气氛对ZnO薄膜光电性能均有不同程度的影响。 适当增加掺杂量能提高薄膜的电导率，过多的掺杂反而会降低电导率：不同的掺杂物对氮气中处理后的薄膜稳定性有较大影响，掺Al的薄膜稳定性很好，而Li的簿膜则较差； 增加涂膜层数均能增加薄膜的厚度

3、，并导致薄膜电导率的提高，同时也降低了薄膜的透射率； 掺杂量和热处理气氛对薄膜在可见光范围内透射率影响不大； 热处理气氛的不同直接影响了薄膜的导电性，在氮气中300可得到电导率高的薄膜。 本实验制备的薄膜表面致密结构，晶粒大小均匀，方阻最低为270/，可见光透射率最大为83。 溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜的最佳工艺条件为：溶胶浓度0.6mol/L、掺杂Al量1at、镀膜层数15层、预处理温度450、空气气氛热处理温度为550、氮气热处理温度为300；溶胶-凝胶方法制备LZO薄膜的最佳工艺条件为：溶胶浓度0.6mol/L、掺杂Li量2.3at、镀膜层数10层、预处理温度450、空气气氛热处理温度

4、为550、氮气热处理温度为300。正文内容 ZnO薄膜是一种直接宽带隙半导体材料，具有多种用途，可广泛的应用于太阳能电池、压电薄膜、光电器件、气敏器件和紫外探测器等方面。其特性可通过适当的掺杂来调剂。通过适量掺杂的ZnO透明导电薄膜具有优异的光电性能，能在太阳能电池、液晶显示器等多种电器设备中被用作透明导电电极。 本课题研究的主要目的是探索Sol-Gel法制备掺Al的ZnO透明导电薄膜在氮气中的稳定性和Sol-Gel法制备掺Li的ZnO透明导电薄膜的掺杂比和涂膜层数对薄膜导电率和透光率的影响。 本文通过溶胶-凝胶法在载玻片上成功地制备出Al3+、Li+掺杂型ZnO薄膜。所用的溶胶以乙二醇甲醚为

5、溶剂，醋酸锌为前驱体，单乙醇胺为稳定剂经加热搅拌制得；薄膜经烘干、预处理、氮气热处理后形成均匀透明的ZnO薄膜。 利用XRD、SEM、XPS、UV-VIS和四探针测试仪对薄膜的结构和光电特性进行了研究。结果表明，掺杂物、掺杂量、热处理温度、涂膜层数和热处理气氛对ZnO薄膜光电性能均有不同程度的影响。 适当增加掺杂量能提高薄膜的电导率，过多的掺杂反而会降低电导率：不同的掺杂物对氮气中处理后的薄膜稳定性有较大影响，掺Al的薄膜稳定性很好，而Li的簿膜则较差； 增加涂膜层数均能增加薄膜的厚度，并导致薄膜电导率的提高，同时也降低了薄膜的透射率； 掺杂量和热处理气氛对薄膜在可见光范围内透射率影响不大；

6、热处理气氛的不同直接影响了薄膜的导电性，在氮气中300可得到电导率高的薄膜。 本实验制备的薄膜表面致密结构，晶粒大小均匀，方阻最低为270/，可见光透射率最大为83。 溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜的最佳工艺条件为：溶胶浓度0.6mol/L、掺杂Al量1at、镀膜层数15层、预处理温度450、空气气氛热处理温度为550、氮气热处理温度为300；溶胶-凝胶方法制备LZO薄膜的最佳工艺条件为：溶胶浓度0.6mol/L、掺杂Li量2.3at、镀膜层数10层、预处理温度450、空气气氛热处理温度为550、氮气热处理温度为300。ZnO薄膜是一种直接宽带隙半导体材料，具有多种用途，可广泛的应用于太阳能电池

7、、压电薄膜、光电器件、气敏器件和紫外探测器等方面。其特性可通过适当的掺杂来调剂。通过适量掺杂的ZnO透明导电薄膜具有优异的光电性能，能在太阳能电池、液晶显示器等多种电器设备中被用作透明导电电极。 本课题研究的主要目的是探索Sol-Gel法制备掺Al的ZnO透明导电薄膜在氮气中的稳定性和Sol-Gel法制备掺Li的ZnO透明导电薄膜的掺杂比和涂膜层数对薄膜导电率和透光率的影响。 本文通过溶胶-凝胶法在载玻片上成功地制备出Al3+、Li+掺杂型ZnO薄膜。所用的溶胶以乙二醇甲醚为溶剂，醋酸锌为前驱体，单乙醇胺为稳定剂经加热搅拌制得；薄膜经烘干、预处理、氮气热处理后形成均匀透明的ZnO薄膜。 利用X

8、RD、SEM、XPS、UV-VIS和四探针测试仪对薄膜的结构和光电特性进行了研究。结果表明，掺杂物、掺杂量、热处理温度、涂膜层数和热处理气氛对ZnO薄膜光电性能均有不同程度的影响。 适当增加掺杂量能提高薄膜的电导率，过多的掺杂反而会降低电导率：不同的掺杂物对氮气中处理后的薄膜稳定性有较大影响，掺Al的薄膜稳定性很好，而Li的簿膜则较差； 增加涂膜层数均能增加薄膜的厚度，并导致薄膜电导率的提高，同时也降低了薄膜的透射率； 掺杂量和热处理气氛对薄膜在可见光范围内透射率影响不大； 热处理气氛的不同直接影响了薄膜的导电性，在氮气中300可得到电导率高的薄膜。 本实验制备的薄膜表面致密结构，晶粒大小均匀

9、，方阻最低为270/，可见光透射率最大为83。 溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜的最佳工艺条件为：溶胶浓度0.6mol/L、掺杂Al量1at、镀膜层数15层、预处理温度450、空气气氛热处理温度为550、氮气热处理温度为300；溶胶-凝胶方法制备LZO薄膜的最佳工艺条件为：溶胶浓度0.6mol/L、掺杂Li量2.3at、镀膜层数10层、预处理温度450、空气气氛热处理温度为550、氮气热处理温度为300。ZnO薄膜是一种直接宽带隙半导体材料，具有多种用途，可广泛的应用于太阳能电池、压电薄膜、光电器件、气敏器件和紫外探测器等方面。其特性可通过适当的掺杂来调剂。通过适量掺杂的ZnO透明导电薄膜具有优异

10、的光电性能，能在太阳能电池、液晶显示器等多种电器设备中被用作透明导电电极。 本课题研究的主要目的是探索Sol-Gel法制备掺Al的ZnO透明导电薄膜在氮气中的稳定性和Sol-Gel法制备掺Li的ZnO透明导电薄膜的掺杂比和涂膜层数对薄膜导电率和透光率的影响。 本文通过溶胶-凝胶法在载玻片上成功地制备出Al3+、Li+掺杂型ZnO薄膜。所用的溶胶以乙二醇甲醚为溶剂，醋酸锌为前驱体，单乙醇胺为稳定剂经加热搅拌制得；薄膜经烘干、预处理、氮气热处理后形成均匀透明的ZnO薄膜。 利用XRD、SEM、XPS、UV-VIS和四探针测试仪对薄膜的结构和光电特性进行了研究。结果表明，掺杂物、掺杂量、热处理温度、

11、涂膜层数和热处理气氛对ZnO薄膜光电性能均有不同程度的影响。 适当增加掺杂量能提高薄膜的电导率，过多的掺杂反而会降低电导率：不同的掺杂物对氮气中处理后的薄膜稳定性有较大影响，掺Al的薄膜稳定性很好，而Li的簿膜则较差； 增加涂膜层数均能增加薄膜的厚度，并导致薄膜电导率的提高，同时也降低了薄膜的透射率； 掺杂量和热处理气氛对薄膜在可见光范围内透射率影响不大； 热处理气氛的不同直接影响了薄膜的导电性，在氮气中300可得到电导率高的薄膜。 本实验制备的薄膜表面致密结构，晶粒大小均匀，方阻最低为270/，可见光透射率最大为83。 溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜的最佳工艺条件为：溶胶浓度0.6mol/L、

12、掺杂Al量1at、镀膜层数15层、预处理温度450、空气气氛热处理温度为550、氮气热处理温度为300；溶胶-凝胶方法制备LZO薄膜的最佳工艺条件为：溶胶浓度0.6mol/L、掺杂Li量2.3at、镀膜层数10层、预处理温度450、空气气氛热处理温度为550、氮气热处理温度为300。ZnO薄膜是一种直接宽带隙半导体材料，具有多种用途，可广泛的应用于太阳能电池、压电薄膜、光电器件、气敏器件和紫外探测器等方面。其特性可通过适当的掺杂来调剂。通过适量掺杂的ZnO透明导电薄膜具有优异的光电性能，能在太阳能电池、液晶显示器等多种电器设备中被用作透明导电电极。 本课题研究的主要目的是探索Sol-Gel法制

13、备掺Al的ZnO透明导电薄膜在氮气中的稳定性和Sol-Gel法制备掺Li的ZnO透明导电薄膜的掺杂比和涂膜层数对薄膜导电率和透光率的影响。 本文通过溶胶-凝胶法在载玻片上成功地制备出Al3+、Li+掺杂型ZnO薄膜。所用的溶胶以乙二醇甲醚为溶剂，醋酸锌为前驱体，单乙醇胺为稳定剂经加热搅拌制得；薄膜经烘干、预处理、氮气热处理后形成均匀透明的ZnO薄膜。 利用XRD、SEM、XPS、UV-VIS和四探针测试仪对薄膜的结构和光电特性进行了研究。结果表明，掺杂物、掺杂量、热处理温度、涂膜层数和热处理气氛对ZnO薄膜光电性能均有不同程度的影响。 适当增加掺杂量能提高薄膜的电导率，过多的掺杂反而会降低电导

14、率：不同的掺杂物对氮气中处理后的薄膜稳定性有较大影响，掺Al的薄膜稳定性很好，而Li的簿膜则较差； 增加涂膜层数均能增加薄膜的厚度，并导致薄膜电导率的提高，同时也降低了薄膜的透射率； 掺杂量和热处理气氛对薄膜在可见光范围内透射率影响不大； 热处理气氛的不同直接影响了薄膜的导电性，在氮气中300可得到电导率高的薄膜。 本实验制备的薄膜表面致密结构，晶粒大小均匀，方阻最低为270/，可见光透射率最大为83。 溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜的最佳工艺条件为：溶胶浓度0.6mol/L、掺杂Al量1at、镀膜层数15层、预处理温度450、空气气氛热处理温度为550、氮气热处理温度为300；溶胶-凝胶方法制

15、备LZO薄膜的最佳工艺条件为：溶胶浓度0.6mol/L、掺杂Li量2.3at、镀膜层数10层、预处理温度450、空气气氛热处理温度为550、氮气热处理温度为300。ZnO薄膜是一种直接宽带隙半导体材料，具有多种用途，可广泛的应用于太阳能电池、压电薄膜、光电器件、气敏器件和紫外探测器等方面。其特性可通过适当的掺杂来调剂。通过适量掺杂的ZnO透明导电薄膜具有优异的光电性能，能在太阳能电池、液晶显示器等多种电器设备中被用作透明导电电极。 本课题研究的主要目的是探索Sol-Gel法制备掺Al的ZnO透明导电薄膜在氮气中的稳定性和Sol-Gel法制备掺Li的ZnO透明导电薄膜的掺杂比和涂膜层数对薄膜导电

16、率和透光率的影响。 本文通过溶胶-凝胶法在载玻片上成功地制备出Al3+、Li+掺杂型ZnO薄膜。所用的溶胶以乙二醇甲醚为溶剂，醋酸锌为前驱体，单乙醇胺为稳定剂经加热搅拌制得；薄膜经烘干、预处理、氮气热处理后形成均匀透明的ZnO薄膜。 利用XRD、SEM、XPS、UV-VIS和四探针测试仪对薄膜的结构和光电特性进行了研究。结果表明，掺杂物、掺杂量、热处理温度、涂膜层数和热处理气氛对ZnO薄膜光电性能均有不同程度的影响。 适当增加掺杂量能提高薄膜的电导率，过多的掺杂反而会降低电导率：不同的掺杂物对氮气中处理后的薄膜稳定性有较大影响，掺Al的薄膜稳定性很好，而Li的簿膜则较差； 增加涂膜层数均能增加

17、薄膜的厚度，并导致薄膜电导率的提高，同时也降低了薄膜的透射率； 掺杂量和热处理气氛对薄膜在可见光范围内透射率影响不大； 热处理气氛的不同直接影响了薄膜的导电性，在氮气中300可得到电导率高的薄膜。 本实验制备的薄膜表面致密结构，晶粒大小均匀，方阻最低为270/，可见光透射率最大为83。 溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜的最佳工艺条件为：溶胶浓度0.6mol/L、掺杂Al量1at、镀膜层数15层、预处理温度450、空气气氛热处理温度为550、氮气热处理温度为300；溶胶-凝胶方法制备LZO薄膜的最佳工艺条件为：溶胶浓度0.6mol/L、掺杂Li量2.3at、镀膜层数10层、预处理温度450、空气气氛

18、热处理温度为550、氮气热处理温度为300。ZnO薄膜是一种直接宽带隙半导体材料，具有多种用途，可广泛的应用于太阳能电池、压电薄膜、光电器件、气敏器件和紫外探测器等方面。其特性可通过适当的掺杂来调剂。通过适量掺杂的ZnO透明导电薄膜具有优异的光电性能，能在太阳能电池、液晶显示器等多种电器设备中被用作透明导电电极。 本课题研究的主要目的是探索Sol-Gel法制备掺Al的ZnO透明导电薄膜在氮气中的稳定性和Sol-Gel法制备掺Li的ZnO透明导电薄膜的掺杂比和涂膜层数对薄膜导电率和透光率的影响。 本文通过溶胶-凝胶法在载玻片上成功地制备出Al3+、Li+掺杂型ZnO薄膜。所用的溶胶以乙二醇甲醚为

19、溶剂，醋酸锌为前驱体，单乙醇胺为稳定剂经加热搅拌制得；薄膜经烘干、预处理、氮气热处理后形成均匀透明的ZnO薄膜。 利用XRD、SEM、XPS、UV-VIS和四探针测试仪对薄膜的结构和光电特性进行了研究。结果表明，掺杂物、掺杂量、热处理温度、涂膜层数和热处理气氛对ZnO薄膜光电性能均有不同程度的影响。 适当增加掺杂量能提高薄膜的电导率，过多的掺杂反而会降低电导率：不同的掺杂物对氮气中处理后的薄膜稳定性有较大影响，掺Al的薄膜稳定性很好，而Li的簿膜则较差； 增加涂膜层数均能增加薄膜的厚度，并导致薄膜电导率的提高，同时也降低了薄膜的透射率； 掺杂量和热处理气氛对薄膜在可见光范围内透射率影响不大；

20、热处理气氛的不同直接影响了薄膜的导电性，在氮气中300可得到电导率高的薄膜。 本实验制备的薄膜表面致密结构，晶粒大小均匀，方阻最低为270/，可见光透射率最大为83。 溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜的最佳工艺条件为：溶胶浓度0.6mol/L、掺杂Al量1at、镀膜层数15层、预处理温度450、空气气氛热处理温度为550、氮气热处理温度为300；溶胶-凝胶方法制备LZO薄膜的最佳工艺条件为：溶胶浓度0.6mol/L、掺杂Li量2.3at、镀膜层数10层、预处理温度450、空气气氛热处理温度为550、氮气热处理温度为300。ZnO薄膜是一种直接宽带隙半导体材料，具有多种用途，可广泛的应用于太阳能电池

21、、压电薄膜、光电器件、气敏器件和紫外探测器等方面。其特性可通过适当的掺杂来调剂。通过适量掺杂的ZnO透明导电薄膜具有优异的光电性能，能在太阳能电池、液晶显示器等多种电器设备中被用作透明导电电极。 本课题研究的主要目的是探索Sol-Gel法制备掺Al的ZnO透明导电薄膜在氮气中的稳定性和Sol-Gel法制备掺Li的ZnO透明导电薄膜的掺杂比和涂膜层数对薄膜导电率和透光率的影响。 本文通过溶胶-凝胶法在载玻片上成功地制备出Al3+、Li+掺杂型ZnO薄膜。所用的溶胶以乙二醇甲醚为溶剂，醋酸锌为前驱体，单乙醇胺为稳定剂经加热搅拌制得；薄膜经烘干、预处理、氮气热处理后形成均匀透明的ZnO薄膜。 利用X

22、RD、SEM、XPS、UV-VIS和四探针测试仪对薄膜的结构和光电特性进行了研究。结果表明，掺杂物、掺杂量、热处理温度、涂膜层数和热处理气氛对ZnO薄膜光电性能均有不同程度的影响。 适当增加掺杂量能提高薄膜的电导率，过多的掺杂反而会降低电导率：不同的掺杂物对氮气中处理后的薄膜稳定性有较大影响，掺Al的薄膜稳定性很好，而Li的簿膜则较差； 增加涂膜层数均能增加薄膜的厚度，并导致薄膜电导率的提高，同时也降低了薄膜的透射率； 掺杂量和热处理气氛对薄膜在可见光范围内透射率影响不大； 热处理气氛的不同直接影响了薄膜的导电性，在氮气中300可得到电导率高的薄膜。 本实验制备的薄膜表面致密结构，晶粒大小均匀

23、，方阻最低为270/，可见光透射率最大为83。 溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜的最佳工艺条件为：溶胶浓度0.6mol/L、掺杂Al量1at、镀膜层数15层、预处理温度450、空气气氛热处理温度为550、氮气热处理温度为300；溶胶-凝胶方法制备LZO薄膜的最佳工艺条件为：溶胶浓度0.6mol/L、掺杂Li量2.3at、镀膜层数10层、预处理温度450、空气气氛热处理温度为550、氮气热处理温度为300。ZnO薄膜是一种直接宽带隙半导体材料，具有多种用途，可广泛的应用于太阳能电池、压电薄膜、光电器件、气敏器件和紫外探测器等方面。其特性可通过适当的掺杂来调剂。通过适量掺杂的ZnO透明导电薄膜具有优异

24、的光电性能，能在太阳能电池、液晶显示器等多种电器设备中被用作透明导电电极。 本课题研究的主要目的是探索Sol-Gel法制备掺Al的ZnO透明导电薄膜在氮气中的稳定性和Sol-Gel法制备掺Li的ZnO透明导电薄膜的掺杂比和涂膜层数对薄膜导电率和透光率的影响。 本文通过溶胶-凝胶法在载玻片上成功地制备出Al3+、Li+掺杂型ZnO薄膜。所用的溶胶以乙二醇甲醚为溶剂，醋酸锌为前驱体，单乙醇胺为稳定剂经加热搅拌制得；薄膜经烘干、预处理、氮气热处理后形成均匀透明的ZnO薄膜。 利用XRD、SEM、XPS、UV-VIS和四探针测试仪对薄膜的结构和光电特性进行了研究。结果表明，掺杂物、掺杂量、热处理温度、

25、涂膜层数和热处理气氛对ZnO薄膜光电性能均有不同程度的影响。 适当增加掺杂量能提高薄膜的电导率，过多的掺杂反而会降低电导率：不同的掺杂物对氮气中处理后的薄膜稳定性有较大影响，掺Al的薄膜稳定性很好，而Li的簿膜则较差； 增加涂膜层数均能增加薄膜的厚度，并导致薄膜电导率的提高，同时也降低了薄膜的透射率； 掺杂量和热处理气氛对薄膜在可见光范围内透射率影响不大； 热处理气氛的不同直接影响了薄膜的导电性，在氮气中300可得到电导率高的薄膜。 本实验制备的薄膜表面致密结构，晶粒大小均匀，方阻最低为270/，可见光透射率最大为83。 溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜的最佳工艺条件为：溶胶浓度0.6mol/L、

26、掺杂Al量1at、镀膜层数15层、预处理温度450、空气气氛热处理温度为550、氮气热处理温度为300；溶胶-凝胶方法制备LZO薄膜的最佳工艺条件为：溶胶浓度0.6mol/L、掺杂Li量2.3at、镀膜层数10层、预处理温度450、空气气氛热处理温度为550、氮气热处理温度为300。ZnO薄膜是一种直接宽带隙半导体材料，具有多种用途，可广泛的应用于太阳能电池、压电薄膜、光电器件、气敏器件和紫外探测器等方面。其特性可通过适当的掺杂来调剂。通过适量掺杂的ZnO透明导电薄膜具有优异的光电性能，能在太阳能电池、液晶显示器等多种电器设备中被用作透明导电电极。 本课题研究的主要目的是探索Sol-Gel法制

27、备掺Al的ZnO透明导电薄膜在氮气中的稳定性和Sol-Gel法制备掺Li的ZnO透明导电薄膜的掺杂比和涂膜层数对薄膜导电率和透光率的影响。 本文通过溶胶-凝胶法在载玻片上成功地制备出Al3+、Li+掺杂型ZnO薄膜。所用的溶胶以乙二醇甲醚为溶剂，醋酸锌为前驱体，单乙醇胺为稳定剂经加热搅拌制得；薄膜经烘干、预处理、氮气热处理后形成均匀透明的ZnO薄膜。 利用XRD、SEM、XPS、UV-VIS和四探针测试仪对薄膜的结构和光电特性进行了研究。结果表明，掺杂物、掺杂量、热处理温度、涂膜层数和热处理气氛对ZnO薄膜光电性能均有不同程度的影响。 适当增加掺杂量能提高薄膜的电导率，过多的掺杂反而会降低电导

28、率：不同的掺杂物对氮气中处理后的薄膜稳定性有较大影响，掺Al的薄膜稳定性很好，而Li的簿膜则较差； 增加涂膜层数均能增加薄膜的厚度，并导致薄膜电导率的提高，同时也降低了薄膜的透射率； 掺杂量和热处理气氛对薄膜在可见光范围内透射率影响不大； 热处理气氛的不同直接影响了薄膜的导电性，在氮气中300可得到电导率高的薄膜。 本实验制备的薄膜表面致密结构，晶粒大小均匀，方阻最低为270/，可见光透射率最大为83。 溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜的最佳工艺条件为：溶胶浓度0.6mol/L、掺杂Al量1at、镀膜层数15层、预处理温度450、空气气氛热处理温度为550、氮气热处理温度为300；溶胶-凝胶方法制

29、备LZO薄膜的最佳工艺条件为：溶胶浓度0.6mol/L、掺杂Li量2.3at、镀膜层数10层、预处理温度450、空气气氛热处理温度为550、氮气热处理温度为300。ZnO薄膜是一种直接宽带隙半导体材料，具有多种用途，可广泛的应用于太阳能电池、压电薄膜、光电器件、气敏器件和紫外探测器等方面。其特性可通过适当的掺杂来调剂。通过适量掺杂的ZnO透明导电薄膜具有优异的光电性能，能在太阳能电池、液晶显示器等多种电器设备中被用作透明导电电极。 本课题研究的主要目的是探索Sol-Gel法制备掺Al的ZnO透明导电薄膜在氮气中的稳定性和Sol-Gel法制备掺Li的ZnO透明导电薄膜的掺杂比和涂膜层数对薄膜导电率和透光率的影响。 本文通过溶胶-凝胶法在载玻片上成功地制备出Al3+、Li+掺杂型ZnO薄膜。所用的溶胶以乙二醇甲醚为溶剂，醋酸锌为前驱体，单乙醇胺为稳定剂经加热搅拌制得；薄膜经烘干、预处理、氮气热处理后形成均匀透明的ZnO薄膜。 利用XRD、SEM、XPS、UV-VIS和四探针测试仪对薄膜的结