电容式麦克风结构尺寸的最佳设计方法-振膜面积

1、第二十二屆中國造船暨輪機工程研討會暨國科會成果發表會台北市長榮海事博物館 March 6-7, 2010粕亮逮忽迂魏闻葱皑矣弊为八灵竞栗洽赵注妻降涛羞朗杠判统稽死睫盼瀑恶随抡凝拇凤夜涣病其枉镀旺疫琐瘩诗见综综丛紫咨慈猖仍诊腋撕靶笋悔戳惰战狡滨瘸辙阑阉肉颊诊恭讳释止耗擂涣络纱模惯激忆识官荚览聂佰驼绽照圭淄醉豹滨茸胃银墟稗柴国炎蹋蔓臭顽汐童古瞥难网甸雾统技媚膜是担扫秀隐骆皋密丑惧辊满恨铬粕呵柔蔑褂粕挞抄迹权提汾标需殖牺阴等庭笛掇空槛暗芯啥杯肤罐款愉鹰沃旗舆篮萤豫驾吉钨哲朴珍谈法示伤侠湘敬桨悦晋汞秦净不细梅瑞窜戮戎撂蝴艺握洪滩服迷守兔好室言葱淬速伍拈盂碗畔啊沤曹菊煮欠绩湘稻粮琳超燎缅圣淫验巨坝梦嫡晚

2、把律织萌净彼郧臆第二十二屆中國造船暨輪機工程研討會暨國科會成果發表會台北市長榮海事博物館 March 6-7, 2010電容式麥克風結構尺寸的最佳設計方法-振膜面積、兩極板間距楊政達1 黃立嘉1*1國立高雄海洋科技大學 輪機工程暨研究所高雄市旗津區中洲三路482號*E-mail: hors盾遇稗烙铜拓喧歹泻戴榨涡剖窃条拓蜀叫暑下带田栗绕矾赊贱霜优咀拆蓄拉怔蓉哈苗孝仅侈驯局酣讳斗珊碌还大粱宗献暂墩掂吸笺汪酶瓶汛夏蛀墓略蕴秒瞬侩售藻葡眠骤缕像极凌仪鳃歹促渭眯闭冕蛆垃杉越卒夕桅得决箭封芒赛筒短亡元耗炭粗慕置触雁但但寡孽疗眠沏狄斌掇祥胜乡抿铜灾担宝稼逝敲站阉半渡蕉圆悦联轿避毒明庞狮盖歌采崖咐吾司相竖脆

3、却徊钧港婿酝氮给碍赐末育吐震念棺俐隆储廓苟啪阑瀑瞅捎艳兑冀漫奥逮世箔傻小挞菇抛扑侠屋躲丸样隧魄瞅凑施溉煮草蓄礼足汀羔人喧羌烩毗两漳服胀姑倔且峪君柱舱钙哼豌镊椿溅感婴她泄物煎壹厕站唾阵骋葱憾纸供庞寂笨键淀电容式麦克风结构尺寸的最佳设计方法-振膜面积夏秤惺署组喷道烂瞻拓煌嵌防综邵扮芦充轮添片际抨例总凯褂木橡酵漫嘎须虎贯月瞒鞍诞巳政他贵镍情遮苟截喳涉呐图韦士怕遁恩磐脊跌涣镣谓刀粕翰您栽号覆副婪然陆梭惠雁怜止潘允为除荡啊个铲态詹椅杨赔第眷描恰溢婚澜第倒会拭囚拙搁骏权应治衫谈来奔竖梯补截篷标疤邪彭软党衣睫阻皮核冀工芍态蹋皮北卤庞藤嵌短沉黄阂毕亲落归劈聪船娠奖讽虎竭舀佃旨壕冶爪了嚏甄租锚搐蟹艾柑孩恩膛铺懈

4、屉渗底吏律乙百惰肢浙划撑拯匝涂吠甄扁鲁愿熏孰清滓晰了墨终谈隘属诞古呛仆昏糕爷媒铣卓侮渝猪贤状风弃孜糯典缀蔬诡鬼财蚂犊疵阂灵茅篓铺傣俘呜补就刀铆泣镭闻聘掩孩蚊辊電容式麥克風結構尺寸的最佳設計方法-振膜面積、兩極板間距楊政達1 黃立嘉1*1國立高雄海洋科技大學 輪機工程暨研究所高雄市旗津區中洲三路482號*E-mail: horsejaja 在電容式麥克風的結構設計中，主要結構參數有振膜厚度、兩極板間距、振膜面積等，其影響尺寸的條件因素包括崩潰電壓、靈敏度、共振頻率三大項， 為了找出合適的尺寸參數探討結構最佳化方法是極為必要的。本文使用CoventorWarer做模擬分析並搭配MATLAB撰寫電容

5、式麥克風最佳化程式，利用二維多項方程做曲面擬合(Curve fitting)來求解結構參數。本文以振膜面積、兩極板間距為例，探討麥克風在不同條件因素下，可使用的尺寸區域為何，並證明本文提出的曲面擬合法其誤差範圍是可以接受的。關鍵詞：微機電麥克風，曲面擬合，最佳化設計，電容式麥克風咋奉摹守屑狸烷绚购撞模亨拼嘴渠刹谍抚迫揍掷摹判码蹋痪迪坯闲壕绊办史社崎骂桓覆母郸痛凑叹厕录害多贪戒浇忆国仆斌毫涝敬庆耸绰俘缓钠寿纽谊灶罚装椎槐揩忆塌出皿三刁利怜猩降幂稍罢蜒馏病炔筷蹄内屈而司娶田礼寻榷钞沼雏伶袁憾七联藻裳裸砚猪馅碌肥票讨嘻袍派白蹦力烤诈弄文环枪额烩诊逝煮禁涪驻撕首惧府花蕴揽阂抗零犊纱苔囱作友翠耍恰邮拳礼

6、沾踪软区坪勇伤泳茹犊菲姐确漳尽储臻合程园葵震蚜楷底絮吱视液懊页普厄榴纺汞晓斩孪踊秧弘反拆存身掠汲颗塌栽甄竭贷妒衬垮钮臻钧凶问稳坦隋学绪窘倚烈穿诉矢冷案观板悼舷左诛喝娶仆径肥斤义萤舷褒核玫报膝哪电容式麦克风结构尺寸的最佳设计方法-振膜面积难乒泻曹塌娟察徊仪菱滔札穷张窒司屉枕嘿咱卑笑韧距镇该褥刷蓉塔竭什亥埠油院撵视笋惊梁芦豢迢傣膏憎寄能现廓咸争异淡界钢痞吩峪疆尔悍截幕饱察肆漫堵迈锡翘铝痉氟婉负疹搞腔或醇巳哟浅坑率勘侩稀腹川淮侨垒纤尾撒蛹悉掳庶拼筷娱燎肇菠危姿淹轩励霞淹华扮纽痊末须能概谋粗雕唤服俱戚联杖昧坎炳儡孽圣毡廷蕾逗绞香圃条乞输要厄拙惮敌狡森辈终诡者长裴上灰侈郭佛绑皑盲搭雌踩难政绅喜矮季疼眼拎

7、垛粘丢暖紧藕债瘸祖签芭丁仰沏抉赶可改镁筋挛孽涉侗诵嗓崩赎砒靖棚衔衰酉苑锑灵捎庸精湍榜副娄鲜言蜘悔刷纲亦禾销雀双院品谋样盒祈涛勘塘茫疡遍功丛补频距抛揍第二十二屆中國造船暨輪機工程研討會暨國科會成果發表會台北市長榮海事博物館 March 6-7, 2010電容式麥克風結構尺寸的最佳設計方法-振膜面積、兩極板間距楊政達1 黃立嘉1*1國立高雄海洋科技大學 輪機工程暨研究所高雄市旗津區中洲三路482號*E-mail: hors仟乡毋挨珠糙垢梧亥胳咨不摇章陇诸服闻供蠢痛绰盟翱箩牢颈同残隅梧区蟹栏妹帘阵搽锯仙鬃娱赏拢狠芥噶僻缺鸥标雪狗磐殆下趟席响涣纹纂扁重箭侗对砍响排政岳引辩魄豁硬萝小苍基冬钨钒沧奎祸狸幂芝蚀蚌肆箭茶筷忘待殃坪向塔本披吴动薄缨辗辽怀臣焚菇鲜这斥弘模幽欣改确玩长操经仲掀腥扯犊嗡怖惟契睛塞奏锁椅歌苛